白光掃描干涉法能免除色光相移干涉術(shù)測量的局限性。白光掃描干涉法采用白光作為光源，白光作為一種寬光譜的光源，相干長度較短，因此發(fā)生干涉的位置只能在很小的空間范圍內(nèi)。而且在白光干涉時(shí)，有一個(gè)確切的零點(diǎn)位置。測量光和參考光的光程相等時(shí)，所有波段的光都會發(fā)生相長干涉，...

表面粗糙度測量方法具體流程如下:(1)待測工件定位。將待測工件平穩(wěn)置于坐標(biāo)測量機(jī)測量平臺上，調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)紅寶石測針測量其空間位置和姿態(tài)，為按測量工藝要求確定測量位置提供數(shù)據(jù)。(2)輪廓掃描。測量機(jī)測量臂更換掛載光譜共焦傳感器的光學(xué)探頭，驅(qū)動探頭運(yùn)動至工件測量位置，...

光具有傳播的特性，不同波列在相遇的區(qū)域，振動將相互疊加，是各列光波獨(dú)自在該點(diǎn)所引起的振動矢量和。兩束光要發(fā)生干涉，應(yīng)必須滿足三個(gè)相干條件，即：頻率一致、振動方向一致、相位差穩(wěn)定一致。發(fā)生干涉的兩束光在一些地方振動加強(qiáng)，而在另一些地方振動減弱，產(chǎn)生規(guī)則的明暗交替...

在點(diǎn)膠工藝中生成的膠水小球目前只能通過視覺系統(tǒng)檢驗(yàn)。在生產(chǎn)中必須保證點(diǎn)膠路線是連貫和穩(wěn)定的，而通過色散共焦測量傳感器系統(tǒng)就能夠控制許多質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)中的很多參數(shù)。膠水小球相對于其他結(jié)構(gòu)必須安置在正中間。在點(diǎn)膠起始和結(jié)束的異常的材料積聚能被檢測出來。色散共焦測量就連缺...

電子產(chǎn)品生產(chǎn)中的質(zhì)量控制在PCB生產(chǎn)的質(zhì)量控制中，傳感器的放置使其可以從上方測量PCB。一個(gè)橫移系統(tǒng)引導(dǎo)他們穿過PCB及其高度集成的組件。它們直接在生產(chǎn)線上檢測動態(tài)過程。對PCB進(jìn)行可靠測量的另一個(gè)重要先決條件是可以測量從金屬到塑料的不同材料，采用光量自適應(yīng)算...

白光干涉在零光程差處，出現(xiàn)零級干涉條紋，隨著光程差的增加，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移，疊加的整體效果使條紋對比度下降。測量精度高，可以實(shí)現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的抗干擾能力強(qiáng)，動態(tài)范圍大，具有快速檢測和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn)。普通...

光譜法是以光的干涉效應(yīng)為基礎(chǔ)的一種薄膜厚度測量方法，分為反射法和透射法兩類[12]。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會引起多光束干涉效應(yīng)，不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的，并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度之間是一一對應(yīng)關(guān)系。因此，根據(jù)這一光譜特...

為限度提高靶丸內(nèi)爆壓縮效率，期望靶丸所有幾何參數(shù)、物性參數(shù)均為理想球?qū)ΨQ狀態(tài)。因此，需要對靶丸殼層厚度分布進(jìn)行精密的檢測。靶丸殼層厚度常用的測量手法有X射線顯微輻照法、激光差動共焦法、白光干涉法等。下面分別介紹了各個(gè)方法的特點(diǎn)與不足，以及各種測量方法的應(yīng)用領(lǐng)域...

激光位移傳感器在鋰電極片測厚行業(yè)應(yīng)用范圍廣。其采用的激光光點(diǎn)呈橢圓形，長軸直徑遠(yuǎn)大于正負(fù)極材料顆粒，在測量時(shí)能起到厚度平均的作用，不會因?yàn)闃O片表面的顆粒太大導(dǎo)致測量過程中出現(xiàn)極小范圍內(nèi)的波峰和波谷。因此，采用該激光位移傳感器做測厚儀用于測量鋰電池正負(fù)極極片厚度...

激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用中，具有非常重要的作用。例如，在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于實(shí)時(shí)監(jiān)測風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片的位移，從而及時(shí)發(fā)現(xiàn)葉片的形變和振動情況，保證發(fā)電機(jī)的正常運(yùn)行。此外，在新能源汽車領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于測量電池、電機(jī)等關(guān)鍵...

光學(xué)測厚方法集光學(xué)、機(jī)械、電子、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)為一體，以其光波長為測量基準(zhǔn)，從原理上保證了納米級的測量精度。同時(shí)，光學(xué)測厚作為非接觸式的測量方法，被廣泛應(yīng)用于精密元件表面形貌及厚度的無損測量。其中，薄膜厚度光學(xué)測量方法按光吸收、透反射、偏振和干涉等光學(xué)原理...

薄膜作為一種特殊的微結(jié)構(gòu)，近年來在電子學(xué)、摩擦學(xué)、現(xiàn)代光學(xué)得到了廣泛的應(yīng)用，薄膜的測試技術(shù)變得越來越重要。尤其是在厚度這一特定方向上，尺寸很小，基本上都是微觀可測量。因此，在微納測量領(lǐng)域中，薄膜厚度的測試是一個(gè)非常重要而且很實(shí)用的研究方向。在工業(yè)生產(chǎn)中，薄膜的...

隨著城市化進(jìn)程的加快和人口的增加，軌道交通已經(jīng)成為城市中不可或缺的一部分。軌道交通的安全和運(yùn)營對于現(xiàn)代城市的運(yùn)轉(zhuǎn)至關(guān)重要。而激光位移傳感器的高精度和高靈敏度使其在軌道交通領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用，它能夠快速準(zhǔn)確地測量列車的位置和運(yùn)動狀態(tài)，為軌道交通的安全...

光譜共焦測量原理通過使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光。工廠校準(zhǔn)為每個(gè)波長分配了一定的偏差（特定距離）。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長才能用于測量。從目標(biāo)表面反射的這種光通過共焦孔徑到...

傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中一種低精度的信號解調(diào)方法。早是由G.F.Fernando和T.Liu等人提出，用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào)。因此，該解調(diào)方案的原理是通過傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差，進(jìn)而得到待測物理量的信息。傅里葉變換解調(diào)...

安裝過程中需要注意保護(hù)傳感器光學(xué)部件。激光位移傳感器的測量原理是通過激光束對測量目標(biāo)進(jìn)行照射，并通過接收反射光信號來計(jì)算位移。因此，在安裝過程中，應(yīng)特別注意保護(hù)傳感器的光學(xué)部件，避免碰撞和污染。在安裝完成后，還應(yīng)定期清潔光學(xué)部件，以確保傳感器的測量精度和穩(wěn)定性...

白光干涉頻域解調(diào)顧名思義是在頻域分析解調(diào)信號，測量裝置與時(shí)域解調(diào)裝置幾乎相同，只需把光強(qiáng)測量裝置換為光譜儀或者是CCD，接收到的信號是光強(qiáng)隨著光波長的分布。由于時(shí)域解調(diào)中接收到的信號是一定范圍內(nèi)所有波長的光強(qiáng)疊加，因此將頻譜信號中各個(gè)波長的光強(qiáng)疊加，即可得到與...

干涉法作為面掃描方式可以一次性對薄膜局域內(nèi)的厚度進(jìn)行解算，適用于對面型整體形貌特征要求較高的測量對象。干涉法算法在于相位信息的提取，借助多種復(fù)合算法通常可以達(dá)到納米級的測量準(zhǔn)確度。然而主動干涉法對條紋穩(wěn)定性不佳，光學(xué)元件表面的不清潔、光照度不均勻、光源不穩(wěn)定、...

在半導(dǎo)體行業(yè)中，激光位移傳感器被用于測量晶圓鍵合的方式，以確保鍵合的質(zhì)量和精度。晶圓鍵合是將兩個(gè)不同材料的表面連接在一起的過程，通常使用熱壓鍵合或焊接鍵合的方式。在這個(gè)過程中，激光位移傳感器可以用來測量鍵合的間隙和壓力，以確保鍵合的質(zhì)量和精度。激光位移傳感器的...

激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用范圍廣。在太陽能光伏領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于對太陽能電池板進(jìn)行高精度的位移測量，以確保電池板的穩(wěn)定性和可靠性。在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于對風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片的位移進(jìn)行測量，以確定葉片的形變和振動情況，從而提高...

基于白光干涉光譜單峰值波長移動的鍺膜厚度測量方案研究：在對比研究目前常用的白光干涉測量方案的基礎(chǔ)上，我們發(fā)現(xiàn)當(dāng)兩干涉光束的光程差非常小導(dǎo)致其干涉光譜只有一個(gè)干涉峰時(shí)，常用的基于兩相鄰干涉峰間距的解調(diào)方案不再適用。為此，我們提出了適用于極小光程差的基于干...

隨著科技的不斷發(fā)展，對微小位移的測量需求也越來越高。尤其是在納米科技領(lǐng)域，微小位移的測量對于研究物質(zhì)的性質(zhì)和行為至關(guān)重要。而激光位移傳感器作為一種高精度、高靈敏度的位移測量工具，被應(yīng)用于微小位移的測量。在納米科技中，激光位移傳感器可以用于測量納米級別的位移，例...

與激光光源相比以白光的寬光譜光源由于具有短相干長度的特點(diǎn)使得兩光束只有在光程差極小的情況下才能發(fā)生干涉因此不會產(chǎn)生干擾條紋。同時(shí)由于白光干涉產(chǎn)生的干涉條紋具有明顯的零光程差位置避免了干涉級次不確定的問題。本文以白光干涉原理為理論基礎(chǔ)對單層透明薄膜厚度測量尤其對...

共焦測量方法由于具有高精度的三維成像能力，已經(jīng)大量用于表面輪廓與三維精細(xì)結(jié)構(gòu)的精密測量。本文通過分析白光共焦光譜的基本原理，建立了透明靶丸內(nèi)表面圓周輪廓測量校準(zhǔn)模型;同時(shí)，基于白光共焦光譜并結(jié)合精密旋轉(zhuǎn)軸系，建立了靶丸內(nèi)表面圓周輪廓精密測量系統(tǒng)和靶丸圓心精密定...

激光位移傳感器在鋰電極片測厚行業(yè)應(yīng)用。其采用的激光光點(diǎn)呈橢圓形，長軸直徑遠(yuǎn)大于正負(fù)極材料顆粒，在測量時(shí)能起到厚度平均的作用，不會因?yàn)闃O片表面的顆粒太大導(dǎo)致測量過程中出現(xiàn)極小范圍內(nèi)的波峰和波谷。因此，采用該激光位移傳感器做測厚儀用于測量鋰電池正負(fù)極極片厚度是合適...

針對靶丸自身獨(dú)特的特點(diǎn)及極端實(shí)驗(yàn)條件需求，使得靶丸參數(shù)的測試工作變得異常復(fù)雜。如何精確地測定靶丸的光學(xué)參數(shù)，一直是激光聚變研究者非常關(guān)注的課題。由于光學(xué)測量方法具有無損、非接觸、測量效率高、操作簡便等優(yōu)越性，靶丸參數(shù)測量通常采用光學(xué)測量方式。常用的光學(xué)參數(shù)測量...

白光干涉頻域解調(diào)顧名思義是在頻域分析解調(diào)信號，測量裝置與時(shí)域解調(diào)裝置幾乎相同，只需把光強(qiáng)測量裝置換為光譜儀或者是CCD，接收到的信號是光強(qiáng)隨著光波長的分布。由于時(shí)域解調(diào)中接收到的信號是一定范圍內(nèi)所有波長的光強(qiáng)疊加，因此將頻譜信號中各個(gè)波長的光強(qiáng)疊加，即可得到與...

激光位移傳感器是一種常見的工業(yè)生產(chǎn)中使用的精密測量設(shè)備。它通過使用激光束來測量目標(biāo)物體與傳感器之間的距離，并將其轉(zhuǎn)化為電信號輸出。激光位移傳感器具有高精度和快速響應(yīng)的特點(diǎn)，可以在工業(yè)生產(chǎn)過程中廣泛應(yīng)用。例如，在自動化裝配線中，激光位移傳感器可以用于測量零件的尺...

在點(diǎn)膠工藝中生成的膠水小球目前只能通過視覺系統(tǒng)檢驗(yàn)。在生產(chǎn)中必須保證點(diǎn)膠路線是連貫和穩(wěn)定的，而通過色散共焦測量傳感器系統(tǒng)就能夠控制許多質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)中的很多參數(shù)。膠水小球相對于其他結(jié)構(gòu)必須安置在正中間。在點(diǎn)膠起始和結(jié)束的異常的材料積聚能被檢測出來。色散共焦測量就連缺...

自上世紀(jì)60年代起，利用X及β射線、近紅外光源開發(fā)的在線薄膜測厚系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于西方先進(jìn)國家的工業(yè)生產(chǎn)線中。20世紀(jì)70年代后，為滿足日益增長的質(zhì)檢需求，電渦流、電磁電容、超聲波、晶體振蕩等多種膜厚測量技術(shù)相繼問世。90年代中期，隨著離子輔助、離子束...