激光位移傳感器在精密制造行業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。如在汽車制造中，激光位移傳感器可以用于測(cè)量車身的變形和尺寸，確保汽車的質(zhì)量和安全性能。在航空航天制造中，激光位移傳感器可以用于測(cè)量航空器件的尺寸和變形，以及機(jī)翼的形狀和彎曲度。在微電子制造中，激光位移傳感器可以用于...

本章主要介紹了基于白光反射光譜和白光垂直掃描干涉聯(lián)用的靶丸殼層折射率測(cè)量方法。該方法利用白光反射光譜測(cè)量靶丸殼層光學(xué)厚度，利用白光垂直掃描干涉技術(shù)測(cè)量光線通過(guò)靶丸殼層后的光程增量，二者聯(lián)立即可求得靶丸折射率和厚度數(shù)據(jù)。在實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理方面，為解決白光干涉光譜中波...

隨著環(huán)保意識(shí)的不斷提高，新能源行業(yè)的發(fā)展正越來(lái)越受到人們的關(guān)注。在新能源領(lǐng)域中，鋰電池是一種重要的電池類型，它具有高能量密度、長(zhǎng)壽命和低自放電率等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于電動(dòng)汽車、電動(dòng)工具、家用電器等領(lǐng)域。然而，鋰電池的生產(chǎn)過(guò)程需要高精度的測(cè)量和控制，...

隨著環(huán)保意識(shí)的不斷提高，新能源行業(yè)的發(fā)展正越來(lái)越受到人們的關(guān)注。在新能源領(lǐng)域中，鋰電池是一種重要的電池類型，它具有高能量密度、長(zhǎng)壽命和低自放電率等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于電動(dòng)汽車、電動(dòng)工具、家用電器等領(lǐng)域。然而，鋰電池的生產(chǎn)過(guò)程需要高精度的測(cè)量和控制，以確保產(chǎn)品的...

為了分析白光反射光譜的測(cè)量范圍，開(kāi)展了不同壁厚的靶丸殼層白光反射光譜測(cè)量實(shí)驗(yàn)。圖是不同殼層厚度靶丸的白光反射光譜測(cè)量曲線，如圖所示，對(duì)于殼層厚度30μm的靶丸，其白光反射光譜各譜峰非常密集、干涉級(jí)次數(shù)值大；此外，由于靶丸殼層的吸收，壁厚較大的靶丸信...

白光干涉的分析方法利用白光干涉感知空間位置的變化，從而得到被測(cè)物體的信息。它是在單色光相移干涉術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的。單色光相移干涉術(shù)利用光路使參考光和被測(cè)表面的反射光發(fā)生干涉，再使用相移的方法調(diào)制相位，利用干涉場(chǎng)中光強(qiáng)的變化計(jì)算出其每個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的初始相位，但是這...

在汽車領(lǐng)域，激光位移傳感器不僅可以用于汽車零部件的精密加工，還可以用于汽車零部件的測(cè)量。在汽車制造過(guò)程中，激光位移傳感器可以幫助制造商精確測(cè)量汽車零部件的位置和運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，以確保這些零部件符合設(shè)計(jì)要求。例如，在汽車制造中，激光位移傳感器可以用于測(cè)量車...

論文所研究的鍺膜厚度約300nm，導(dǎo)致其白光干涉輸出光譜只有一個(gè)干涉峰，此時(shí)常規(guī)基于相鄰干涉峰間距解調(diào)的方案（如峰峰值法等）將不再適用。為此，我們提出了一種基于單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的白光干涉測(cè)量方案，并設(shè)計(jì)搭建了膜厚測(cè)量系統(tǒng)。溫度測(cè)量實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，峰值波長(zhǎng)與溫度變化...

激光位移傳感器是一種高精度、高速響應(yīng)、非接觸、無(wú)測(cè)量力、測(cè)量范圍大的傳感器，被廣泛應(yīng)用于精密檢測(cè)、逆向工程等領(lǐng)域。在零部件的復(fù)雜曲面檢測(cè)中，激光位移傳感器可以替代常規(guī)接觸式傳感器，提高了檢測(cè)效率。然而，激光位移傳感器的測(cè)量精度會(huì)受到系統(tǒng)自身非線性誤差、物面粗糙...

白光干涉時(shí)域解調(diào)方案需要借助機(jī)械掃描部件帶動(dòng)干涉儀的反射鏡移動(dòng)，補(bǔ)償光程差，實(shí)現(xiàn)對(duì)信號(hào)的解調(diào)[44-45]。系統(tǒng)基本結(jié)構(gòu)如圖2-1所示。光纖白光干涉儀的兩輸出臂分別作為參考臂和測(cè)量臂，作用是將待測(cè)的物理量轉(zhuǎn)換為干涉儀兩臂的光程差變化。測(cè)量臂因待測(cè)物理量而增加了...

靶丸殼層折射率、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變（ICF）物理實(shí)驗(yàn)中非常關(guān)鍵的參數(shù)，精密測(cè)量靶丸殼層折射率、厚度及其分布對(duì)ICF精密物理實(shí)驗(yàn)研究具有非常重要的意義。由于靶丸尺寸微?。▉喓撩琢考?jí)）、結(jié)構(gòu)特殊（球形結(jié)構(gòu)）、測(cè)量精度要求高，如何實(shí)現(xiàn)靶丸殼層折射率及...

薄膜作為一種特殊的微結(jié)構(gòu)，近年來(lái)在電子學(xué)、摩擦學(xué)、現(xiàn)代光學(xué)得到了廣泛的應(yīng)用，薄膜的測(cè)試技術(shù)變得越來(lái)越重要。尤其是在厚度這一特定方向上，尺寸很小，基本上都是微觀可測(cè)量。因此，在微納測(cè)量領(lǐng)域中，薄膜厚度的測(cè)試是一個(gè)非常重要而且很實(shí)用的研究方向。在工業(yè)生產(chǎn)中，薄膜的...

在初始相位為零的情況下，當(dāng)被測(cè)光與參考光之間的光程差為零時(shí)，光強(qiáng)度將達(dá)到最大值。為探測(cè)兩個(gè)光束之間的零光程差位置，需要精密Z向運(yùn)動(dòng)臺(tái)帶動(dòng)干涉鏡頭作垂直掃描運(yùn)動(dòng)或移動(dòng)載物臺(tái)，垂直掃描過(guò)程中，用探測(cè)器記錄下干涉光強(qiáng)，可得白光干涉信號(hào)強(qiáng)度與Z向掃描位置（兩光束光程差...

激光位移傳感器可以幫助制造商在生產(chǎn)過(guò)程中及時(shí)發(fā)現(xiàn)和解決問(wèn)題，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。例如，在半導(dǎo)體制造中，激光位移傳感器可以用于檢測(cè)芯片的厚度和變形，確保芯片的質(zhì)量和性能。在制藥行業(yè)中，激光位移傳感器可以用于檢測(cè)藥品的質(zhì)量和成分，確保藥品的有效性和安全性。激光位移...

第三視覺(jué)定位包括分別布置在多自由度鍵合頭300和貼裝臺(tái)單元401上的激光位移傳感器360、403，它們相互配合并用于對(duì)鍵合頭所拾取芯片和基板各自相對(duì)于XY平面的傾角進(jìn)行精確測(cè)量及定位；第四視覺(jué)定位系統(tǒng)包括布置在多自由度鍵合頭上并由相機(jī)351和平面鏡352共同組...

光學(xué)測(cè)厚方法集光學(xué)、機(jī)械、電子、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)為一體，以其光波長(zhǎng)為測(cè)量基準(zhǔn)，從原理上保證了納米級(jí)的測(cè)量精度。同時(shí)，光學(xué)測(cè)厚作為非接觸式的測(cè)量方法，被廣泛應(yīng)用于精密元件表面形貌及厚度的無(wú)損測(cè)量。其中，薄膜厚度光學(xué)測(cè)量方法按光吸收、透反射、偏振和干涉等光學(xué)原理...

隨著環(huán)保意識(shí)的不斷提高，新能源行業(yè)的發(fā)展正越來(lái)越受到人們的關(guān)注。在新能源領(lǐng)域中，鋰電池是一種重要的電池類型，它具有高能量密度、長(zhǎng)壽命和低自放電率等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于電動(dòng)汽車、電動(dòng)工具、家用電器等領(lǐng)域。然而，鋰電池的生產(chǎn)過(guò)程需要高精度的測(cè)量和控制，以確保產(chǎn)品的...

自1986年E.Wolf證明了相關(guān)誘導(dǎo)光譜的變化以來(lái)，人們?cè)诶碚摵蛯?shí)驗(yàn)上展開(kāi)了討論和研究。結(jié)果表明，動(dòng)態(tài)的光譜位移可以產(chǎn)生新的濾波器，應(yīng)用于光學(xué)信號(hào)處理和加密領(lǐng)域。在論文中，我們提出的基于白光干涉光譜單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的解調(diào)方案，可以用于當(dāng)光程差非常小導(dǎo)致其干涉光...

論文主要以半導(dǎo)體鍺和貴金屬金兩種材料為對(duì)象，研究了白光干涉法、表面等離子體共振法和外差干涉法實(shí)現(xiàn)納米級(jí)薄膜厚度準(zhǔn)確測(cè)量的可行性。由于不同材料薄膜的特性不同，所適用的測(cè)量方法也不同。半導(dǎo)體鍺膜具有折射率高，在通信波段（1550nm附近）不透明的特點(diǎn)，選擇采用白光...

道路是交通運(yùn)輸?shù)闹匾M成部分，其平整度和幾何形狀對(duì)行車安全、行車舒適性、車輛燃油經(jīng)濟(jì)性等方面都有著重要影響。為了確保道路的安全和舒適，需要對(duì)道路的平整度和幾何形狀進(jìn)行定期檢測(cè)和維護(hù)。而激光位移傳感器在道路檢測(cè)領(lǐng)域中的應(yīng)用，為道路的檢測(cè)和維護(hù)提供了更加準(zhǔn)確和高效...

激光位移傳感器的光斑尺寸參數(shù)是指激光束所形成的光斑在被測(cè)物體表面的實(shí)際直徑大小。光斑尺寸對(duì)位移傳感器的測(cè)量精度和分辨率具有重要影響。因此，對(duì)光斑尺寸的測(cè)試是激光位移傳感器研究中的一個(gè)重要方面。測(cè)試方法主要是通過(guò)接收散射光信號(hào)計(jì)算光斑直徑大小，或者通過(guò)對(duì)被測(cè)物體...

位移傳感器測(cè)量頻率是指在一定時(shí)間內(nèi)測(cè)量到的位移次數(shù)。激光位移傳感器測(cè)量頻率的定義是單位時(shí)間內(nèi)測(cè)量到的位移次數(shù)。通常，激光位移傳感器的測(cè)量頻率與其采樣率相關(guān)，采樣率越高，測(cè)量頻率越高。測(cè)量頻率是激光位移傳感器重要的性能參數(shù)之一，其測(cè)試方法主要包括兩種...

隨著城市化進(jìn)程的加快和人口的增加，軌道交通已經(jīng)成為城市中不可或缺的一部分。軌道交通的安全和運(yùn)營(yíng)對(duì)于現(xiàn)代城市的運(yùn)轉(zhuǎn)至關(guān)重要。而激光位移傳感器的高精度和高靈敏度使其在軌道交通領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用，它能夠快速準(zhǔn)確地測(cè)量列車的位置和運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，為軌道交通的安全和運(yùn)營(yíng)提供了...

利用包絡(luò)線法計(jì)算薄膜的光學(xué)常數(shù)和厚度，但目前看來(lái)包絡(luò)法還存在很多不足，包絡(luò)線法需要產(chǎn)生干涉波動(dòng)，要求在測(cè)量波段內(nèi)存在多個(gè)干涉極值點(diǎn)，且干涉極值點(diǎn)足夠多，精度才高。理想的包絡(luò)線是根據(jù)聯(lián)合透射曲線的切點(diǎn)建立的，在沒(méi)有正確方法建立包絡(luò)線時(shí)，通常使用拋物線插值法建立，...

激光位移傳感器具有同步功能，可以用于差動(dòng)測(cè)厚、測(cè)長(zhǎng)等，特別適用于工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)。激光位移傳感器以其的測(cè)量性能實(shí)現(xiàn)非接觸在線測(cè)量位移、三維尺寸、厚度、表面輪廓、物體形變、振動(dòng)、液位、工件分揀和各種大型構(gòu)件如橋梁、飛機(jī)和艦船骨架、機(jī)床導(dǎo)軌的定位安裝、動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)重要構(gòu)...

薄膜作為一種特殊的微結(jié)構(gòu)，近年來(lái)在電子學(xué)、摩擦學(xué)、現(xiàn)代光學(xué)得到了廣泛的應(yīng)用，薄膜的測(cè)試技術(shù)變得越來(lái)越重要。尤其是在厚度這一特定方向上，尺寸很小，基本上都是微觀可測(cè)量。因此，在微納測(cè)量領(lǐng)域中，薄膜厚度的測(cè)試是一個(gè)非常重要而且很實(shí)用的研究方向。在工業(yè)生產(chǎn)中，薄膜的...

激光位移傳感器在精密制造行業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。如在汽車制造中，激光位移傳感器可以用于測(cè)量車身的變形和尺寸，確保汽車的質(zhì)量和安全性能。在航空航天制造中，激光位移傳感器可以用于測(cè)量航空器件的尺寸和變形，以及機(jī)翼的形狀和彎曲度。在微電子制造中，激光位移傳感器可以用于...

薄膜作為重要元件，通常使用金屬、合金、化合物、聚合物等作為其主要基材，品類涵蓋光學(xué)膜、電隔膜、阻隔膜、保護(hù)膜、裝飾膜等多種功能性薄膜，廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光學(xué)、電子、醫(yī)療、能源、建材等技術(shù)領(lǐng)域。常用薄膜的厚度范圍從納米級(jí)到微米級(jí)不等。納米和亞微米級(jí)薄膜主要是...

由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對(duì)系統(tǒng)的測(cè)量量程和精度的需求不盡相同，因而多種測(cè)量方法各有優(yōu)缺，難以一概而論。將上述各測(cè)量特點(diǎn)總結(jié)如表1-1所示，按照薄膜厚度的增加，適用的測(cè)量方式分別為橢圓偏振法、分光光度法、共聚焦法和干涉法。對(duì)于小于1μm的較薄薄膜，白光干涉輪廓儀...

光譜共焦位移傳感器原理，由光源、透鏡組、控制箱等組成。光源發(fā)出1束白光，透鏡組先將白光發(fā)散成一系列波長(zhǎng)不同的單色光，然后經(jīng)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成1個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組，每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)1個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品處于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí)，樣品表面將聚焦后的光反射回去。這些...