本文溫所研究的鍺膜厚度約300nm,導(dǎo)致其白光干涉輸出光譜只有一個(gè)干涉峰,此時(shí)常規(guī)基于相鄰干涉峰間距解調(diào)的方案(如峰峰值法等)將不再適用。為此,我們提出了一種基于單峰值波長移動(dòng)的白光干涉測(cè)量方案,并設(shè)計(jì)搭建了膜厚測(cè)量系統(tǒng)。溫度測(cè)量實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,峰值波長與溫度變...
白光干涉法和激光光源相比具有短相干長度的特點(diǎn),使得兩束光只有在光程差非常小的情況下才能發(fā)生干涉,因此不會(huì)產(chǎn)生干擾條紋。同時(shí),白光干涉產(chǎn)生的干涉條紋具有明顯的零光程差位置,避免了干涉級(jí)次不確定的問題。本文基于白光干涉原理對(duì)單層透明薄膜厚度測(cè)量進(jìn)行了研究,特別...
無論是醫(yī)療設(shè)備、智能手機(jī)還是機(jī)床,幾乎每個(gè)電子設(shè)備內(nèi)部都有一塊PCB板。這些設(shè)備正被要求變得更高效、更小、更快,而開發(fā)周期卻越來越短。這也意味著電路板必須通過使用高度集成的組件變得更加強(qiáng)大。除了不斷增長的封裝密度之外,單個(gè)組件和開關(guān)的小型化是滿足所需性能的關(guān)鍵...
隨著科技的不斷發(fā)展,對(duì)微小位移的測(cè)量需求也越來越高。尤其是在納米科技領(lǐng)域,微小位移的測(cè)量對(duì)于研究物質(zhì)的性質(zhì)和行為至關(guān)重要。而激光位移傳感器作為一種高精度、高靈敏度的位移測(cè)量工具,被應(yīng)用于微小位移的測(cè)量。在納米科技中,激光位移傳感器可以用于測(cè)量納米級(jí)別的位移,例...
激光位移傳感器在精密制造行業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。如在汽車制造中,激光位移傳感器可以用于測(cè)量車身的變形和尺寸,確保汽車的質(zhì)量和安全性能。在航空航天制造中,激光位移傳感器可以用于測(cè)量航空器件的尺寸和變形,以及機(jī)翼的形狀和彎曲度。在微電子制造中,激光位移傳...
在塑料薄膜和透明材料薄厚測(cè)量方面,研究人員探討了光譜共焦傳感器在全透明平板電腦平整度測(cè)量中由于不同折射率引入的測(cè)量誤差并進(jìn)行了補(bǔ)償,在機(jī)器視覺技術(shù)方面利用光譜共焦傳感器檢測(cè)透明材料的薄厚及弧形玻璃曲面的薄厚。在外表粗糙度測(cè)量方面,研究人員闡述了不同方式測(cè)量外表...
激光位移傳感器在對(duì)射測(cè)量測(cè)厚方面有著廣泛的應(yīng)用。其安裝方法主要包括以下幾個(gè)方面。首先是激光位移傳感器的安裝位置,通常是選擇在被測(cè)物體的兩側(cè),以保證測(cè)量精度和穩(wěn)定性。其次是安裝時(shí)需要注意兩個(gè)激光位移傳感器之間的距離和同軸度,以確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。同時(shí),還需要注...
光譜共焦傳感器使用復(fù)色光作為光源,可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)精度的漫反射或鏡反射被測(cè)物體測(cè)量功能。此外,光譜共焦位移傳感器還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)透明物體的單向厚度測(cè)量,其光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu),避免光路遮擋,適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)測(cè)量。在測(cè)量透明物體的位移...
為了滿足全天候觀察的需求,設(shè)計(jì)了波段范圍為可見光-短波紅外寬光譜共焦光學(xué)成像系統(tǒng)。根據(jù)寬光譜共焦原理以及光學(xué)被動(dòng)式無熱化原理,設(shè)計(jì)了一個(gè)波段范圍為0.4μm~2.5μm、焦距數(shù)為50 mm,F(xiàn)數(shù)為2.8的光學(xué)成像系統(tǒng),該系統(tǒng)在可見光波段在奈奎斯特頻率為30 l...
光譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其高精度、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角、快速測(cè)量方式、實(shí)時(shí)性高、對(duì)被測(cè)表面狀況要求低、以及高分辨率的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),迅速成為工業(yè)測(cè)量的熱門傳感器,在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測(cè)量、3C電子等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用。本次測(cè)量場(chǎng)景使用...
我們智能能設(shè)備的進(jìn)化日新月異,人們的追求越來越個(gè)性化。愈發(fā)復(fù)雜的形狀意味著,對(duì)點(diǎn)膠設(shè)備提出更高的要求,需要應(yīng)對(duì)更高的點(diǎn)膠精度!更靈活的點(diǎn)膠角度!目前手機(jī)中板和屏幕模組貼合時(shí),需要在中板上面點(diǎn)一圈透明的UV膠,這種膠由于白色反光的原因,只能使用光譜共焦傳感器進(jìn)行...
在特殊領(lǐng)域,裝備的精密定位和運(yùn)動(dòng)控制是至關(guān)重要的。為了確保武器裝備的高精度和高可靠性,需要使用高精度的測(cè)量和控制系統(tǒng)。激光位移傳感器作為一種高精度、高靈敏度的傳感器,已經(jīng)成為武器裝備制造和維護(hù)中必不可少的工具。激光位移傳感器可以測(cè)量武器裝備的位置和位移,以及其...
位移傳感器測(cè)量頻率是指在一定時(shí)間內(nèi)測(cè)量到的位移次數(shù)。激光位移傳感器測(cè)量頻率的定義是單位時(shí)間內(nèi)測(cè)量到的位移次數(shù)。通常,激光位移傳感器的測(cè)量頻率與其采樣率相關(guān),采樣率越高,測(cè)量頻率越高。測(cè)量頻率是激光位移傳感器重要的性能參數(shù)之一,其測(cè)試方法主要包括兩種...
激光位移傳感器在手機(jī)組裝行業(yè)中也有著廣泛的應(yīng)用。在手機(jī)制造過程中,需要對(duì)各個(gè)組件進(jìn)行精確的測(cè)量,以確保其質(zhì)量和可靠性。其中,激光位移傳感器可以應(yīng)用于段差測(cè)量。通過將激光發(fā)射光束投射到被測(cè)組件表面,利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,從而獲取被測(cè)...
在激光慣性約束聚變(ICF)物理實(shí)驗(yàn)中,靶丸殼層折射率、厚度以及其分布參數(shù)是非常關(guān)鍵的參數(shù)。因此,實(shí)現(xiàn)對(duì)靶丸殼層折射率、厚度及其分布的精密測(cè)量對(duì)精密ICF物理實(shí)驗(yàn)研究非常重要。由于靶丸尺寸微小、結(jié)構(gòu)特殊、測(cè)量精度要求高,因此如何實(shí)現(xiàn)對(duì)靶丸殼層折射率及其厚度分布...
可以使用光譜分析方法來確定靶丸折射率和厚度。極值法和包絡(luò)法、全光譜擬合法是通過分析膜的反射或透射光譜曲線來計(jì)算膜厚度和折射率的方法。極值法測(cè)量膜厚度是根據(jù)薄膜反射或透射光譜曲線上的波峰的位置來計(jì)算的。對(duì)于弱色散介質(zhì),折射率為恒定值,通過極大值點(diǎn)的位置可求得膜的...
光譜共焦傳感器是一種新型高精度傳感器,其測(cè)量精度可達(dá)到0.02%。相比于光柵尺、容柵、電感式變壓器偏移傳感器等傳感器,它在偏移測(cè)量方面具有更加明顯的優(yōu)勢(shì)。由于它的高精度特性,光譜共焦傳感器在幾何量高精度測(cè)量方面得到了廣泛應(yīng)用,如漫反射光和平面反射面的偏移測(cè)量、...
由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對(duì)系統(tǒng)的測(cè)量量程和精度的需求不盡相同,因而多種測(cè)量方法各有優(yōu)缺,難以一概而論。按照薄膜厚度的增加,適用的測(cè)量方式分別為橢圓偏振法、分光光度法、共聚焦法和干涉法。對(duì)于小于1μm的較薄薄膜,白光干涉輪廓儀的測(cè)量精度較低,分光光度法和橢圓偏振...
光譜共焦傳感器通過使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面上來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。每個(gè)波長都有一定的偏差(特定距離)進(jìn)行工廠校準(zhǔn)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長才能用于測(cè)量。經(jīng)過共焦孔徑從目標(biāo)表面反射回來的光進(jìn)...
白光干涉法和激光光源相比具有短相干長度的特點(diǎn),使得兩束光只有在光程差非常小的情況下才能發(fā)生干涉,因此不會(huì)產(chǎn)生干擾條紋。同時(shí),白光干涉產(chǎn)生的干涉條紋具有明顯的零光程差位置,避免了干涉級(jí)次不確定的問題。本文基于白光干涉原理對(duì)單層透明薄膜厚度測(cè)量進(jìn)行了研究,特別...
在操作高精度光譜共焦傳感器時(shí),有一些重要的注意事項(xiàng)需要遵守。首先,需要確保設(shè)備處于穩(wěn)定的環(huán)境中,避免外部振動(dòng)或干擾對(duì)傳感器的影響。其次,在使用過程中要注意保持設(shè)備的清潔和維護(hù),避免灰塵或污垢影響傳感器的準(zhǔn)確性。另外,操作人員需要嚴(yán)格按照設(shè)備說明書中的操作步驟進(jìn)...
客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測(cè)量設(shè)備來檢查對(duì)齊情況,每個(gè)組件大約需要十分鐘才能完成必要的對(duì)齊檢查,耗時(shí)太久。因此,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測(cè)試和組裝機(jī)器,以減少校準(zhǔn)檢查所需的時(shí)間?,F(xiàn)在,我們使用機(jī)器人搬運(yùn)系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動(dòng)裝配機(jī)中...
為了分析白光反射光譜的測(cè)量范圍,進(jìn)行了不同壁厚的靶丸殼層白光反射光譜測(cè)量實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,對(duì)于殼層厚度為30μm的靶丸,其白光反射光譜各譜峰非常密集,干涉級(jí)次數(shù)值大;此外,由于靶丸殼層的吸收,壁厚較大的靶丸信號(hào)強(qiáng)度相對(duì)較弱。隨著靶丸殼層厚度的進(jìn)一步增加,其白...
激光位移傳感器的光斑尺寸參數(shù)是指激光束所形成的光斑在被測(cè)物體表面的實(shí)際直徑大小。光斑尺寸對(duì)位移傳感器的測(cè)量精度和分辨率具有重要影響。因此,對(duì)光斑尺寸的測(cè)試是激光位移傳感器研究中的一個(gè)重要方面。測(cè)試方法主要是通過接收散射光信號(hào)計(jì)算光斑直徑大小,或者通過對(duì)被測(cè)物體...
光斑尺寸參數(shù)的測(cè)試方法是通過接收散射光信號(hào)計(jì)算光斑直徑大小。在測(cè)試中,需要將激光束投射到被測(cè)物體表面,然后接收散射光信號(hào)并計(jì)算光斑直徑大小。另外,也可以對(duì)被測(cè)物體表面進(jìn)行切割并利用顯微鏡觀察光斑直徑大小的方法進(jìn)行測(cè)試。這些測(cè)試方法可以有效地對(duì)光斑尺寸進(jìn)行精確測(cè)...
安裝完成后,還需要進(jìn)行校準(zhǔn)和測(cè)試。校準(zhǔn)是保證激光位移傳感器測(cè)量精度的重要環(huán)節(jié)。在校準(zhǔn)過程中,應(yīng)按照廠家提供的操作指南進(jìn)行,確保傳感器的測(cè)量結(jié)果與實(shí)際值一致。另外,還應(yīng)進(jìn)行一系列的功能測(cè)試,以驗(yàn)證傳感器的性能和穩(wěn)定性。高精度激光位移傳感器的安裝操作是確保其性能和...
激光位移傳感器在3C領(lǐng)域的應(yīng)用越來越。在手機(jī)領(lǐng)域,激光位移傳感器被用于實(shí)現(xiàn)段差測(cè)量等功能,可以通過測(cè)量光源到物體的距離來實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦或景深控制等功能,提高了手機(jī)拍照的精度和質(zhì)量。同時(shí),激光位移傳感器還可以用于實(shí)現(xiàn)手勢(shì)識(shí)別等功能,例如通過手指在手機(jī)屏幕上的移動(dòng)來...
安裝過程中需要注意保護(hù)傳感器光學(xué)部件。激光位移傳感器的測(cè)量原理是通過激光束對(duì)測(cè)量目標(biāo)進(jìn)行照射,并通過接收反射光信號(hào)來計(jì)算位移。因此,在安裝過程中,應(yīng)特別注意保護(hù)傳感器的光學(xué)部件,避免碰撞和污染。在安裝完成后,還應(yīng)定期清潔光學(xué)部件,以確保傳感器的測(cè)量精度和穩(wěn)定性...
激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測(cè)物體表面,接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,從而獲取被測(cè)物體空間位置信息。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同,激光傳感器可分為點(diǎn)、線兩種。點(diǎn)激光位移傳感器在一個(gè)采樣周期內(nèi)只能獲得被測(cè)量的一維信息,使用時(shí)通常依托于三...
目前,應(yīng)用的顯微干涉方式主要有Mirau顯微干涉和Michelson顯微干涉兩張方式。在Mirau型顯微干涉結(jié)構(gòu),在該結(jié)構(gòu)中物鏡和被測(cè)樣品之間有兩塊平板,一個(gè)是涂覆有高反射膜的平板作為參考鏡,另一塊涂覆半透半反射膜的平板作為分光棱鏡,由于參考鏡位于物鏡和被測(cè)樣...