光譜共焦傳感器結(jié)合了高精度和高速度的現(xiàn)代技術(shù)，在工業(yè) 4.0 的高要求下，這些多功能距離和位移傳感器非常適合使用。在工業(yè) 4.0 的世界中，傳感器必須進(jìn)行高速測量并提供高精度結(jié)果，以確保可靠的質(zhì)量保證。由于光學(xué)測量技術(shù)是非接觸式的，它們在生產(chǎn)和檢測過程中變得越...

實(shí)際中，光譜共焦位移傳感器可用于許多方面。它采用獨(dú)特的光譜共焦測量原理，利用單探頭可以實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃等透明材料的單向精確厚度測量，可有效監(jiān)控藥劑盤和鋁塑泡罩包裝的填充量，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率的精確表面掃描。該傳感器可以單向測量試劑瓶的壁厚，并且對(duì)瓶壁沒有壓力，通過設(shè)計(jì)...

物體的表面形貌可以通過測量距離來確定，光譜共焦傳感器可以用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測量對(duì)象包含不同類型的材料時(shí)，盡管距離值保持不變，但反射率會(huì)突出材料之間的差異。劃痕和不平整會(huì)影響反射率并變得可見。系統(tǒng)會(huì)創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像，只...

在激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中，靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)是靶丸制備工藝改進(jìn)和仿真模擬核聚變實(shí)驗(yàn)過程的基礎(chǔ)，因此如何對(duì)靶丸多個(gè)參數(shù)進(jìn)行高精度、同步、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中的關(guān)鍵問題。以上各種薄膜厚度及折射率的測量方法各有利弊，但針對(duì)本文實(shí)驗(yàn)，仍然無...

白光干涉時(shí)域解調(diào)方案通過機(jī)械掃描部件驅(qū)動(dòng)干涉儀的反射鏡移動(dòng)，補(bǔ)償光程差，實(shí)現(xiàn)對(duì)信號(hào)的解調(diào)。該系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)如圖2-1所示。光纖白光干涉儀的兩個(gè)輸出臂分別作為參考臂和測量臂，用于將待測的物理量轉(zhuǎn)換為干涉儀兩臂的光程差變化。測量臂因待測物理量的變化而增加未知光...

在初始相位為零的情況下，當(dāng)被測光與參考光之間的光程差為零時(shí)，光強(qiáng)度將達(dá)到最大值。為了探測兩個(gè)光束之間的零光程差位置，需要使用精密Z向運(yùn)動(dòng)臺(tái)帶動(dòng)干涉鏡頭作垂直掃描運(yùn)動(dòng)，或移動(dòng)載物臺(tái)。在垂直掃描過程中，可以用探測器記錄下干涉光強(qiáng)，得到白光干涉信號(hào)強(qiáng)度與Z向掃描位置...

光譜共焦傳感器是一種新型高精度傳感器，其測量精度可達(dá)到0.02%。相比于光柵尺、容柵、電感式變壓器偏移傳感器等傳感器，它在偏移測量方面具有更加明顯的優(yōu)勢。由于它的高精度特性，光譜共焦傳感器在幾何量高精度測量方面得到了廣泛應(yīng)用，如漫反射光和平面反射面的偏移測量、...

本章介紹了基于白光反射光譜和白光垂直掃描干涉聯(lián)用的靶丸殼層折射率測量方法。該方法利用白光反射光譜測量靶丸殼層光學(xué)厚度，利用白光垂直掃描干涉技術(shù)測量光線通過靶丸殼層后的光程增量，結(jié)合起來即可得到靶丸的折射率和厚度數(shù)據(jù)。在實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理方面，為解決白光干涉光譜中波峰...

薄膜在現(xiàn)代光學(xué)、電子、醫(yī)療、能源和建材等技術(shù)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，可以提高器件性能。但是由于薄膜制備工藝和生產(chǎn)環(huán)境等因素的影響，成品薄膜存在厚度分布不均和表面粗糙度大等問題，導(dǎo)致其光學(xué)和物理性能無法達(dá)到設(shè)計(jì)要求，嚴(yán)重影響其性能和應(yīng)用。因此，需要開發(fā)出精度高、體積小...

目前，應(yīng)用的顯微干涉方式主要有Mirau顯微干涉和Michelson顯微干涉兩張方式。在Mirau型顯微干涉結(jié)構(gòu)，在該結(jié)構(gòu)中物鏡和被測樣品之間有兩塊平板，一個(gè)是涂覆有高反射膜的平板作為參考鏡，另一塊涂覆半透半反射膜的平板作為分光棱鏡，由于參考鏡位于物鏡和被測樣...

激光三角法測量原理可有效應(yīng)用于三維曲面的非接觸精密測量，測量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)處理結(jié)果直接關(guān)系到測量精度的提高，同時(shí)也與測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、被測物體特性及環(huán)境條件等因素有關(guān)。從激光三角法的測量機(jī)理出發(fā)，針對(duì)易拉罐罐蓋開啟口壓痕殘余厚度測量中影響測量的關(guān)鍵問題進(jìn)行分析和研...

激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測量特點(diǎn)，因此在微位移測量領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。其測量原理是利用激光單色和準(zhǔn)直特性，將垂直入射測距面上的激光點(diǎn)通過光學(xué)系統(tǒng)將其縮小的實(shí)像成像在接收光敏面上。激光位移傳感器由激光發(fā)射...

白光干涉在零光程差處，出現(xiàn)零級(jí)干涉條紋（在零級(jí)處，各波長光的干涉亮條紋都重合，因而零級(jí)條紋呈白色），隨著光程差的增加，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移，疊加的整體效果使條紋對(duì)比度下降。測量精度高，可以實(shí)現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的...

在半導(dǎo)體行業(yè)中，激光位移傳感器是一種非常重要的工具。半導(dǎo)體芯片是現(xiàn)代電子設(shè)備中基礎(chǔ)的組成部分，因此制造高質(zhì)量的半導(dǎo)體芯片對(duì)于電子工業(yè)來說至關(guān)重要。然而，由于半導(dǎo)體芯片尺寸非常小，其制造和生產(chǎn)過程需要高度精確的控制和測量。激光位移傳感器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片的生...

在半導(dǎo)體行業(yè)中，激光位移傳感器是一種非常重要的工具。半導(dǎo)體芯片是現(xiàn)代電子設(shè)備中基礎(chǔ)的組成部分，因此制造高質(zhì)量的半導(dǎo)體芯片對(duì)于電子工業(yè)來說至關(guān)重要。然而，由于半導(dǎo)體芯片尺寸非常小，其制造和生產(chǎn)過程需要高度精確的控制和測量。激光位移傳感器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片的生...

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個(gè)重要方向。此項(xiàng)技術(shù)通過使用光譜儀將對(duì)條紋的測量轉(zhuǎn)變?yōu)閷?duì)不同波長光譜的測量，分析被測物體的光譜特性，得到相應(yīng)的長度信息和形貌信息。與白光掃描干涉術(shù)相比，它不需要大量的掃描過程，因此提高了測量效率，并減小了環(huán)境對(duì)其影響。此項(xiàng)...

Michelson干涉物鏡，準(zhǔn)直透鏡將白光縮束準(zhǔn)直后垂直照射到待測晶圓上，反射光之間相互發(fā)生干涉，經(jīng)準(zhǔn)直鏡后干涉光強(qiáng)進(jìn)入光纖耦合單元，完成干涉部分。光纖傳輸?shù)母缮嫘盘?hào)進(jìn)入光譜儀，計(jì)算機(jī)定時(shí)從光譜儀中采集光譜信號(hào)，獲取諸如光強(qiáng)、反射率等信息，計(jì)算機(jī)對(duì)這些信息進(jìn)行...

基于白光干涉光譜單峰值波長移動(dòng)的鍺膜厚度測量方案研究：在對(duì)比研究目前常用的白光干涉測量方案的基礎(chǔ)上，我們發(fā)現(xiàn)當(dāng)兩干涉光束的光程差非常小導(dǎo)致其干涉光譜只有一個(gè)干涉峰時(shí)，常用的基于兩相鄰干涉峰間距的解調(diào)方案不再適用。為此，我們提出了適用于極小光程差并基于干涉光譜...

激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理，通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展，激光位移傳感器已成為非接觸測量領(lǐng)域的重要手段，并可以通過與計(jì)算機(jī)及應(yīng)用軟件配合實(shí)現(xiàn)測量...

激光位移傳感器在管道測量等行業(yè)應(yīng)用方面具有普遍的用途。在管道測量中，激光位移傳感器可用于非接觸式測量管道的內(nèi)徑、壁厚、長度等參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)管道質(zhì)量的檢測和控制。傳感器的工作原理是利用光學(xué)三角法原理，通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)...

光譜共焦位移傳感器是一種可用于測量工件形貌的高精度傳感器。它利用光學(xué)原理和共焦技術(shù)，對(duì)工件表面形貌進(jìn)行非接觸式測量，具有測量速度快、精度高、適用范圍廣d的優(yōu)點(diǎn)。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測量工件形貌的具體方法。首先，光譜共焦位移傳感器需要在測量前進(jìn)行校準(zhǔn)。校...

隨著環(huán)保意識(shí)的不斷提高，新能源行業(yè)的發(fā)展正越來越受到人們的關(guān)注。在新能源領(lǐng)域中，鋰電池是一種重要的電池類型，它具有高能量密度、長壽命和低自放電率等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于電動(dòng)汽車、電動(dòng)工具、家用電器等領(lǐng)域。然而，鋰電池的生產(chǎn)過程需要高精度的測量和控制，...

客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設(shè)備來檢查對(duì)齊情況，每個(gè)組件大約需要十分鐘才能完成必要的對(duì)齊檢查，耗時(shí)太久。因此，客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機(jī)器，以減少校準(zhǔn)檢查所需的時(shí)間。現(xiàn)在，我們使用機(jī)器人搬運(yùn)系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動(dòng)裝配機(jī)中...

采用對(duì)比測試方法，首先對(duì)基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測量精度進(jìn)行了考核，為了便于比較，將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移。結(jié)果得出，二者的低階輪廓整體相似，局部的輪廓信息存在一定的偏差，原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外...

激光位移傳感器的測量原理：激光發(fā)射器發(fā)出一束平行光，經(jīng)會(huì)聚透鏡聚焦在被測物體表面，產(chǎn)生漫反射光線，部分光線通過接收透鏡成像在CCD光敏面上。當(dāng)被測物體沿著光束的入射方向移動(dòng)時(shí)，物體表面的散射光斑相對(duì)于成像物鏡的位置發(fā)生了改變，相應(yīng)地在光敏器件上的像點(diǎn)位置也發(fā)生...

光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進(jìn)行測量，提供有關(guān)負(fù)載表面形貌的2D和高度測量數(shù)據(jù)。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進(jìn)行厚度測量，并且只需要使用一個(gè)傳感器從工件的一側(cè)進(jìn)行測量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器，因采用同軸光，所以光譜共...

在汽車領(lǐng)域，激光位移傳感器不僅可以用于汽車零部件的精密加工，還可以用于汽車零部件的測量。在汽車制造過程中，激光位移傳感器可以幫助制造商精確測量汽車零部件的位置和運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，以確保這些零部件符合設(shè)計(jì)要求。例如，在汽車制造中，激光位移傳感器可以用于測量車...

針對(duì)微米級(jí)工業(yè)薄膜厚度測量，開發(fā)了一種基于寬光譜干涉的反射式法測量方法，并研制了適用于工業(yè)應(yīng)用的小型薄膜厚度測量系統(tǒng)，考慮了成本、穩(wěn)定性、體積等因素要求。該系統(tǒng)結(jié)合了薄膜干涉和光譜共聚焦原理，采用波長分辨下的薄膜反射干涉光譜模型，利用經(jīng)典模態(tài)分解和非均勻傅里葉...

激光三角法測量原理可有效應(yīng)用于三維曲面的非接觸精密測量，測量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)處理結(jié)果直接關(guān)系到測量精度的提高，同時(shí)也與測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、被測物體特性及環(huán)境條件等因素有關(guān)。從激光三角法的測量機(jī)理出發(fā)，針對(duì)易拉罐罐蓋開啟口壓痕殘余厚度測量中影響測量的關(guān)鍵問題進(jìn)行分析和研...

電子產(chǎn)品生產(chǎn)中的質(zhì)量控制在PCB生產(chǎn)的質(zhì)量控制中，傳感器的放置使其可以從上方測量PCB。一個(gè)橫移系統(tǒng)引導(dǎo)他們穿過PCB及其高度集成的組件。它們直接在生產(chǎn)線上檢測動(dòng)態(tài)過程。對(duì)PCB進(jìn)行可靠測量的另一個(gè)重要先決條件是可以測量從金屬到塑料的不同材料，采用光量自適應(yīng)算...