白光干涉的相干原理早在1975年就已經(jīng)被提出，隨后于1976年在光纖通信領(lǐng)域中獲得了實現(xiàn)。1983年，BrianCulshaw的研究小組報道了白光干涉技術(shù)在光纖傳感領(lǐng)域中的應(yīng)用。隨后在1984年，報道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng)。該研究成果證明了白光...

自上世紀(jì)60年代開始，西方的工業(yè)生產(chǎn)線廣泛應(yīng)用基于X及β射線、近紅外光源開發(fā)的在線薄膜測厚系統(tǒng)。隨著質(zhì)檢需求的不斷增長，20世紀(jì)70年代后，電渦流、超聲波、電磁電容、晶體振蕩等多種膜厚測量技術(shù)相繼問世。90年代中期，隨著離子輔助、離子束濺射、磁控濺射、凝膠溶膠...

在電化學(xué)領(lǐng)域，電極片的厚度是一個重要的參數(shù)，直接影響著電化學(xué)反應(yīng)的效率和穩(wěn)定性，我們將介紹光譜共焦位移傳感器對射測量電極片厚度的具體方法。首先，我們需要準(zhǔn)備一塊待測電極片和光譜共焦位移傳感器。將電極片放置在測量平臺上，并調(diào)整傳感器的位置，使其與電極片表面保持垂...

光譜共焦測量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的融合。一個完整的相對高度范疇能夠通過使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測量。光譜共焦位移傳感器的精確測量原理如下圖1所顯示，燈源發(fā)出光經(jīng)過光纖，再通過超色差鏡片，超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上，產(chǎn)生一系列可見光聚焦點。...

常用白光垂直掃描干涉系統(tǒng)的原理：入射的白光光束通過半反半透鏡進(jìn)入到顯微干涉物鏡后，被分光鏡分成兩部分，一個部分入射到固定參考鏡，一部分入射到樣品表面，當(dāng)參考鏡表面和樣品表面的反射光通過分光鏡后，再次匯聚發(fā)生干涉，干涉光通過透鏡后，利用電荷耦合器(CCD)可探測...

為了提高靶丸內(nèi)爆壓縮效率，需要確保靶丸所有幾何參數(shù)和物性參數(shù)都符合理想的球?qū)ΨQ狀態(tài)，因此需要對靶丸殼層厚度分布進(jìn)行精密檢測。常用的測量手法有X射線顯微輻照法、激光差動共焦法和白光干涉法等。白光干涉法是以白光作為光源，分成入射到參考鏡和待測樣品的兩束光，在計算機...

為了滿足全天候觀察的需求,設(shè)計了波段范圍為可見光-短波紅外寬光譜共焦光學(xué)成像系統(tǒng)。根據(jù)寬光譜共焦原理以及光學(xué)被動式無熱化原理，設(shè)計了一個波段范圍為0.4μm~2.5μm、焦距數(shù)為50 mm，F(xiàn)數(shù)為2.8的光學(xué)成像系統(tǒng)，該系統(tǒng)在可見光波段在奈奎斯特頻率為30 l...

膜厚儀是一種用于測量薄膜厚度的儀器，它的測量原理是通過光學(xué)干涉原理來實現(xiàn)的。在測量過程中，薄膜表面發(fā)生的光學(xué)干涉現(xiàn)象被用來計算出薄膜的厚度。具體來說，膜厚儀通過發(fā)射一束光線照射到薄膜表面，并測量反射光的干涉現(xiàn)象來確定薄膜的厚度。膜厚儀的測量原理非常精確和可靠，...

光譜共焦傳感器使用復(fù)色光作為光源，可以實現(xiàn)微米級精度的漫反射或鏡反射被測物體測量功能。此外，光譜共焦位移傳感器還可以實現(xiàn)對透明物體的單向厚度測量，其光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu)，避免光路遮擋，適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)測量。在測量透明物體的位移...

隨著科技的進(jìn)步和應(yīng)用的深入，光譜共焦在點膠行業(yè)中的未來發(fā)展前景非常廣闊。以下是一些可能的趨勢和發(fā)展方向：高速化方向，為了滿足不斷提高的生產(chǎn)效率要求，光譜共焦技術(shù)需要更快的光譜分析速度和更短的檢測時間。這需要不斷優(yōu)化算法和改進(jìn)硬件設(shè)備，以提高數(shù)據(jù)處理速度和檢測效...

高像素傳感器的設(shè)計取決于對焦水平和圖像室內(nèi)空間NA的要求。同時，在光譜共焦位移傳感器中，屏幕分辨率通常采用全半寬來進(jìn)行精確測量。高NA可以降低半寬，提高分辨率。因此，在設(shè)計超色差攝像鏡頭時，需要盡可能提高NA。高圖像室內(nèi)空間NA可以提高傳感器系統(tǒng)的燈源使用率，...

針對微米級工業(yè)薄膜厚度測量，開發(fā)了一種基于寬光譜干涉的反射式法測量方法，并研制了適用于工業(yè)應(yīng)用的小型薄膜厚度測量系統(tǒng)，考慮了成本、穩(wěn)定性、體積等因素要求。該系統(tǒng)結(jié)合了薄膜干涉和光譜共聚焦原理，采用波長分辨下的薄膜反射干涉光譜模型，利用經(jīng)典模態(tài)分解和非均勻傅里葉...

極值法求解過程計算簡單，快速，同時確定薄膜的多個光學(xué)常數(shù)及解決多值性問題，測試范圍廣，但沒有考慮薄膜均勻性和基底色散的因素，以至于精度不夠高。此外，由于受曲線擬合精度的限制，該方法對膜厚的測量范圍有要求，通常用這種方法測量的薄膜厚度應(yīng)大于200nm且小于10μ...

光譜共焦傳感器可以用于數(shù)碼相機的相位測距，可大幅提高相機的對焦精度和成像質(zhì)量。同時，還可以通過檢測相機的微小振動，實現(xiàn)圖像的防抖和抗震功能。光譜共焦傳感器可以用于計算機硬盤的位移和振動測量，從而實現(xiàn)對硬盤存儲數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和可靠性的實時監(jiān)控。在硬盤的生產(chǎn)過程中，...

通過基于表面等離子體共振傳感的測量方案，結(jié)合共振曲線的三個特征參數(shù)，即共振角、半高寬和反射率小值，反演計算可以精確地得到待測金屬薄膜的厚度和介電常數(shù)。該方案操作簡單，利用Kretschmann型結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振實驗系統(tǒng)即可得到共振曲線，從而得到金膜的厚度...

根據(jù)對光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析，可以得出理想的鏡頭應(yīng)具備以下性能：首先，產(chǎn)生較大的軸向色差，通常需要對鏡頭進(jìn)行消色差措施，而該傳感器需要利用色差進(jìn)行測量，需要將其擴大化；其次，產(chǎn)生軸向色差后，焦點在軸上會因單色光的球差問題而導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)的FWHM...

通過白光干涉理論分析，詳細(xì)介紹了白光垂直掃描干涉技術(shù)和白光反射光譜技術(shù)的基本原理，并完成了應(yīng)用于測量靶丸殼層折射率和厚度分布實驗裝置的設(shè)計和搭建。該實驗裝置由白光反射光譜探測模塊、靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊、三維運動模塊和氣浮隔震平臺等組成，能夠?qū)崿F(xiàn)對靶丸的負(fù)壓吸附、靶...

靶丸內(nèi)表面輪廓是激光核聚變靶丸關(guān)鍵參數(shù)之一，需要進(jìn)行精密檢測。本文基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系，分析了靶丸內(nèi)表面輪廓測量的基本原理，并建立了相應(yīng)的白光共焦光譜測量方法。同時，作者還搭建了靶丸內(nèi)表面輪廓測量實驗裝置，并利用靶丸光學(xué)圖像的輔助調(diào)心方法，實現(xiàn)了靶丸...

背景技術(shù):光學(xué)測量與成像技術(shù),通過光源、被測物體和探測器三點共，去除焦點以外的雜散光，得到比傳統(tǒng)寬場顯微鏡更高的橫向分辨率，同時由于引入圓孔探測具有了軸向深度層析能力，通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結(jié)構(gòu)信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像...

薄膜在現(xiàn)代光學(xué)、電子、醫(yī)療、能源和建材等技術(shù)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，可以提高器件性能。但是由于薄膜制備工藝和生產(chǎn)環(huán)境等因素的影響，成品薄膜存在厚度分布不均和表面粗糙度大等問題，導(dǎo)致其光學(xué)和物理性能無法達(dá)到設(shè)計要求，嚴(yán)重影響其性能和應(yīng)用。因此，需要開發(fā)出精度高、體積小...

在塑料薄膜和透明材料薄厚測量方面，研究人員探討了光譜共焦傳感器在全透明平板電腦平整度測量中由于不同折射率引入的測量誤差并進(jìn)行了補償，在機器視覺技術(shù)方面利用光譜共焦傳感器檢測透明材料的薄厚及弧形玻璃曲面的薄厚。在外表粗糙度測量方面，研究人員闡述了不同方式測量外表...

通過基于表面等離子體共振傳感的測量方案，結(jié)合共振曲線的三個特征參數(shù)，即共振角、半高寬和反射率小值，反演計算可以精確地得到待測金屬薄膜的厚度和介電常數(shù)。該方案操作簡單，利用Kretschmann型結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振實驗系統(tǒng)即可得到共振曲線，從而得到金膜的厚度...

在點膠工藝中，生成的膠水小球目前只能通過視覺系統(tǒng)進(jìn)行檢驗。然而，在生產(chǎn)中需要保證點膠路線是連續(xù)和穩(wěn)定的，為此，可以利用色散共焦測量傳感器系統(tǒng)控制許多質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)中的很多參數(shù)。膠水小球必須放置在其他結(jié)構(gòu)的正中間，異常的材料聚集以及連續(xù)性斷裂都可以通過該系統(tǒng)檢測。在3...

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向。此項技術(shù)通過使用光譜儀將對條紋的測量轉(zhuǎn)變?yōu)閷Σ煌ㄩL光譜的測量，分析被測物體的光譜特性，得到相應(yīng)的長度信息和形貌信息。與白光掃描干涉術(shù)相比，它不需要大量的掃描過程，因此提高了測量效率，并減小了環(huán)境對其影響。此項...

莫侯伊膜厚儀在半導(dǎo)體行業(yè)中具有重要的應(yīng)用價值膜厚儀的測量原理主要基于光學(xué)干涉原理。當(dāng)光波穿過薄膜時，會發(fā)生干涉現(xiàn)象，根據(jù)干涉條紋的變化可以推導(dǎo)出薄膜的厚度。利用這一原理，通過測量干涉條紋的間距或相位差來計算薄膜的厚度。膜厚儀通常包括光源、光路系統(tǒng)、檢測器和數(shù)據(jù)...

干涉測量法是基于光的干涉原理實現(xiàn)對薄膜厚度測量的光學(xué)方法，是一種高精度的測量技術(shù)。采用光學(xué)干涉原理的測量系統(tǒng)一般具有結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉，穩(wěn)定性好，抗干擾能力強，使用范圍廣等優(yōu)點。對于大多數(shù)的干涉測量任務(wù)，都是通過薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋的形狀和分布...

在實踐中，光譜共焦位移傳感器可用于很多方面，如：利用獨特的光譜共焦測量原理，憑借一只探頭就可以實現(xiàn)對玻璃等透明材料進(jìn)行精確的單向厚度測量。透明材料上表面及下表面都會形成不同波長反射光，通過計算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監(jiān)控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝...

高像素傳感器的設(shè)計取決于對焦水平和圖像室內(nèi)空間NA的要求。同時，在光譜共焦位移傳感器中，屏幕分辨率通常采用全半寬來進(jìn)行精確測量。高NA可以降低半寬，提高分辨率。因此，在設(shè)計超色差攝像鏡頭時，需要盡可能提高NA。高圖像室內(nèi)空間NA可以提高傳感器系統(tǒng)的燈源使用率，...

表面粗糙度是指零件在加工過程中由于不同的加工方法、機床與刀具的精度、振動及磨損等因素在工件加工表面上形成的具有較小間距和較小峰谷的微觀水平狀況，是表面質(zhì)量的一個重要衡量指標(biāo)，關(guān)系零件的磨損、密封、潤滑、疲勞、研和等機械性能。表面粗糙度測量主要可分為接觸式測量和...

對同一靶丸相同位置進(jìn)行白光垂直掃描干涉，建立靶丸的垂直掃描干涉裝置，通過控制光學(xué)輪廓儀的運動機構(gòu)帶動干涉物鏡在垂直方向上的移動，從而測量到光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達(dá)基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差，顯然，當(dāng)一束平行光穿過靶丸后，偏離靶丸中心越遠(yuǎn)的光...