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無(wú)論是醫(yī)療設(shè)備、智能手機(jī)還是機(jī)床,幾乎每個(gè)電子設(shè)備內(nèi)部都有一塊PCB板。這些設(shè)備正被要求變得更高效、更小、更快,而開發(fā)周期卻越來越短。這也意味著電路板必須通過使用高度集成的組件變得更加強(qiáng)大。除了不斷增長(zhǎng)的封裝密度之外,單個(gè)組件和開關(guān)的小型化是滿足所需性能的關(guān)鍵...
在半導(dǎo)體行業(yè)中,激光位移傳感器是一種非常重要的工具。半導(dǎo)體芯片是現(xiàn)代電子設(shè)備中基礎(chǔ)的組成部分,因此制造高質(zhì)量的半導(dǎo)體芯片對(duì)于電子工業(yè)來說至關(guān)重要。然而,由于半導(dǎo)體芯片尺寸非常小,其制造和生產(chǎn)過程需要高度精確的控制和測(cè)量。激光位移傳感器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片的生...
光譜共焦位移傳感器基本原理如圖1所示,由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過色散鏡頭進(jìn)行色散,將位移信息轉(zhuǎn)換成波長(zhǎng)信息,使用光譜儀進(jìn)行光譜分解得出波長(zhǎng)的變化信息,再反解得出被測(cè)位移。其中色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長(zhǎng)和位移的一一映...
激光位移傳感器是一種應(yīng)用普遍的非接觸式測(cè)量設(shè)備,其主要用于非標(biāo)檢測(cè)設(shè)備中。國(guó)內(nèi)所使用的激光測(cè)量?jī)x器幾乎完全依賴于國(guó)外進(jìn)口。該傳感器具有同步功能,可用于差動(dòng)測(cè)厚、測(cè)長(zhǎng)等,特別適用于工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)。激光位移傳感器具有良好的測(cè)量性能,可用于在線測(cè)量位移、三維尺寸、厚...
激光位移傳感器用于重要結(jié)構(gòu)高精度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)效果良好,傳感器壽命至少可達(dá)3~5年,維修工作量也較小。對(duì)于精度要求不高且量程較大的場(chǎng)合,采用常規(guī)巖土工程傳感器更為經(jīng)濟(jì)。從各條線路加裝監(jiān)控系統(tǒng)實(shí)踐看,國(guó)外主要品牌激光位移傳感器質(zhì)量相近,選擇重點(diǎn)是根據(jù)監(jiān)測(cè)對(duì)象的變形范圍...
激光位移傳感器在鋰電極片測(cè)厚行業(yè)應(yīng)用范圍廣。其采用的激光光點(diǎn)呈橢圓形,長(zhǎng)軸直徑遠(yuǎn)大于正負(fù)極材料顆粒,在測(cè)量時(shí)能起到厚度平均的作用,不會(huì)因?yàn)闃O片表面的顆粒太大導(dǎo)致測(cè)量過程中出現(xiàn)極小范圍內(nèi)的波峰和波谷。因此,采用該激光位移傳感器做測(cè)厚儀用于測(cè)量鋰電池正負(fù)極極片厚度...
隨著城市化進(jìn)程的加快和人口的增加,軌道交通已經(jīng)成為城市中不可或缺的一部分。軌道交通的安全和運(yùn)營(yíng)對(duì)于現(xiàn)代城市的運(yùn)轉(zhuǎn)至關(guān)重要。而激光位移傳感器的高精度和高靈敏度使其在軌道交通領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用,它能夠快速準(zhǔn)確地測(cè)量列車的位置和運(yùn)動(dòng)狀態(tài),為軌道交通的安全和運(yùn)營(yíng)提供了...
高像素傳感器設(shè)計(jì)方案取決于的光對(duì)焦水平,要求嚴(yán)格圖象室內(nèi)空間NA的眼鏡片。另一方面,光譜共焦位移傳感器的屏幕分辨率通常采用光譜抗壓強(qiáng)度的全半寬來精確測(cè)量。高NA能夠降低半寬,提高分辨率。因而,在設(shè)計(jì)超色差攝像鏡頭時(shí),NA應(yīng)盡可能高的。高圖象室內(nèi)空間NA能提高傳...
采用峰峰值法處理光譜數(shù)據(jù)時(shí),被測(cè)光程差的分辨率取決于光譜儀或CCD的分辨率。我們只需獲得相鄰的兩干涉峰值處的波長(zhǎng)信息即可得出光程差,不必關(guān)心此波長(zhǎng)處的光強(qiáng)大小,從而降低數(shù)據(jù)處理的難度。也可以利用多組相鄰的干涉光譜極值對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)來分別求出光程差,然后再求平均值作...
激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測(cè)量速度快、精度高、測(cè)量光斑小、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測(cè)量特點(diǎn),因此在微位移測(cè)量領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。其測(cè)量原理是利用激光單色和準(zhǔn)直特性,將垂直入射測(cè)距面上的激光點(diǎn)通過光學(xué)系統(tǒng)將其縮小的實(shí)像成像在接收光敏面上。激光位移傳感...
激光位移傳感器的重復(fù)精度是指在相同條件下,位移傳感器進(jìn)行多次測(cè)量所得到的結(jié)果的離散程度。重復(fù)精度參數(shù)是評(píng)估位移傳感器性能的重要指標(biāo),通常使用標(biāo)準(zhǔn)偏差來表示。要測(cè)試激光位移傳感器的重復(fù)精度,需要在相同的測(cè)量條件下進(jìn)行多次測(cè)量,并將結(jié)果進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,計(jì)算出標(biāo)準(zhǔn)偏差...
論文所研究的鍺膜厚度約300nm,導(dǎo)致其白光干涉輸出光譜只有一個(gè)干涉峰,此時(shí)常規(guī)基于相鄰干涉峰間距解調(diào)的方案(如峰峰值法等)將不再適用。為此,我們提出了一種基于單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的白光干涉測(cè)量方案,并設(shè)計(jì)搭建了膜厚測(cè)量系統(tǒng)。溫度測(cè)量實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,峰值波長(zhǎng)與溫度變化...
硅片柵線的厚度測(cè)量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測(cè)量速度,以及±60°的測(cè)量角度,能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、...
玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一,一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板,各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應(yīng)用。玻璃基板的品質(zhì)對(duì)控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數(shù)據(jù)都是有關(guān)鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個(gè)基本上構(gòu)件。這是一種表層...
在操作高精度光譜共焦傳感器時(shí),有一些重要的注意事項(xiàng)需要遵守。首先,需要確保設(shè)備處于穩(wěn)定的環(huán)境中,避免外部振動(dòng)或干擾對(duì)傳感器的影響。其次,在使用過程中要注意保持設(shè)備的清潔和維護(hù),避免灰塵或污垢影響傳感器的準(zhǔn)確性。另外,操作人員需要嚴(yán)格按照設(shè)備說明書中的操作步驟進(jìn)...
激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用。在太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于對(duì)太陽(yáng)能電池板進(jìn)行高精度的位移測(cè)量,以確保電池板的穩(wěn)定性和可靠性。在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于對(duì)風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片的位移進(jìn)行測(cè)量,以確定葉片的形變和振動(dòng)情況,從而提高發(fā)電效...
激光位移傳感器在管道測(cè)量等行業(yè)應(yīng)用方面具有普遍的用途。在管道測(cè)量中,激光位移傳感器可用于非接觸式測(cè)量管道的內(nèi)徑、壁厚、長(zhǎng)度等參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)管道質(zhì)量的檢測(cè)和控制。傳感器的工作原理是利用光學(xué)三角法原理,通過將激光發(fā)射光束投射到被測(cè)物體表面,接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)...
薄膜作為重要元件,通常使用金屬、合金、化合物、聚合物等作為其主要基材,品類涵蓋光學(xué)膜、電隔膜、阻隔膜、保護(hù)膜、裝飾膜等多種功能性薄膜,廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光學(xué)、電子、醫(yī)療、能源、建材等技術(shù)領(lǐng)域。常用薄膜的厚度范圍從納米級(jí)到微米級(jí)不等。納米和亞微米級(jí)薄膜主要是...
為了提高加工檢測(cè)效率,實(shí)現(xiàn)尺寸形位公差與微觀輪廓的同平臺(tái)測(cè)量,提出一種基于光譜共焦位移傳感器在現(xiàn)場(chǎng)坐標(biāo)測(cè)量平臺(tái)上集成表面粗糙度測(cè)量的方法。搭建實(shí)驗(yàn)測(cè)量系統(tǒng)且在Lab VIEW平臺(tái)上開發(fā)系統(tǒng)的硬件通訊控制模塊,并配套了高斯輪廓濾波處理及表面粗糙度的評(píng)價(jià)環(huán)境,建立...
激光位移傳感器的線性精度參數(shù)可以定義為其在所測(cè)量位移范圍內(nèi)的誤差。該參數(shù)可以通過一定的測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)量和評(píng)估。為了保證測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性,通常需要使用高精度的標(biāo)準(zhǔn)位移傳感器或其他測(cè)量設(shè)備作為參照,以確保測(cè)試系統(tǒng)的可重復(fù)性和精度。測(cè)試方法可以采用多種方式,如標(biāo)準(zhǔn)偏...
靶丸內(nèi)表面輪廓是激光核聚變靶丸的關(guān)鍵參數(shù),需要精密檢測(cè)。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內(nèi)表面輪廓測(cè)量基本原理,建立了靶丸內(nèi)表面輪廓的白光共焦光譜測(cè)量方法。此外,搭建了靶丸內(nèi)表面輪廓測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置,建立了基于靶丸光學(xué)圖像的輔助調(diào)心方法,實(shí)現(xiàn)了靶...
根據(jù)以上分析可知,白光干涉時(shí)域解調(diào)方案的優(yōu)點(diǎn)是:①能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)量;②抗干擾能力強(qiáng),系統(tǒng)的分辨率與光源輸出功率的波動(dòng),光源的波長(zhǎng)漂移以及外界環(huán)境對(duì)光纖的擾動(dòng)等因素?zé)o關(guān);③測(cè)量精度與零級(jí)干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關(guān);④結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本較低。但是,時(shí)域解調(diào)方法...
白光干涉的相干原理早在1975年就已經(jīng)被提出,隨后于1976年在光纖通信領(lǐng)域中獲得了實(shí)現(xiàn)。1983年,BrianCulshaw的研究小組報(bào)道了白光干涉技術(shù)在光纖傳感領(lǐng)域中的應(yīng)用。隨后在1984年,報(bào)道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng)。該研究成果證明了白光...
精密幾何量計(jì)量測(cè)試中光譜共焦技術(shù)的應(yīng)用十分重要,其能夠讓光譜共焦技術(shù)的應(yīng)用效率得到提升。在進(jìn)行應(yīng)用的過程中,其首先需要對(duì)光譜共焦技術(shù)的原理進(jìn)行分析,然后對(duì)其計(jì)量的傳感器進(jìn)行綜合性的應(yīng)用。從而獲取較為準(zhǔn)確的測(cè)量數(shù)據(jù)。讓光譜共焦技術(shù)的應(yīng)用效果發(fā)揮出來。光譜共焦位移...
白光干涉測(cè)量技術(shù),也被稱為光學(xué)低相干干涉測(cè)量技術(shù),使用的是低相干的寬譜光源,例如超輻射發(fā)光二極管、發(fā)光二極管等。同所有的光學(xué)干涉原理一樣,白光干涉同樣是通過觀察干涉圖樣的變化來分析干涉光程差的變化,進(jìn)而通過各種解調(diào)方案實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)物理量的測(cè)量。采用寬譜光源的優(yōu)點(diǎn)...
液晶玻璃基板品質(zhì)管控要求嚴(yán)格、設(shè)備精度要求高,傳統(tǒng)的接觸式測(cè)厚裝置因其測(cè)量精度差、測(cè)量頻次有限而無(wú)法形成連續(xù)測(cè)量、接觸式測(cè)量裝置損耗快,需頻繁定期更換等不足,已無(wú)法滿足當(dāng)前生產(chǎn)要求。激光測(cè)厚裝置的應(yīng)用有效彌補(bǔ)了接觸式測(cè)厚裝置的不足,從效率、精度、準(zhǔn)度、連續(xù)性、...
白光掃描干涉法能免除色光相移干涉術(shù)測(cè)量的局限性。白光掃描干涉法采用白光作為光源,白光作為一種寬光譜的光源,相干長(zhǎng)度較短,因此發(fā)生干涉的位置只能在很小的空間范圍內(nèi)。而且在白光干涉時(shí),有一個(gè)確切的零點(diǎn)位置。測(cè)量光和參考光的光程相等時(shí),所有波段的光都會(huì)發(fā)生相長(zhǎng)干涉,...
針對(duì)微米級(jí)工業(yè)薄膜厚度測(cè)量,研究了基于寬光譜干涉的反射式法測(cè)量方法。根據(jù)薄膜干涉及光譜共聚焦原理,綜合考慮成本、穩(wěn)定性、體積等因素要求,研制了滿足工業(yè)應(yīng)用的小型薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)。根據(jù)波長(zhǎng)分辨下的薄膜反射干涉光譜模型,結(jié)合經(jīng)典模態(tài)分解和非均勻傅里葉變...
在點(diǎn)膠工藝中生成的膠水小球目前只能通過視覺系統(tǒng)檢驗(yàn)。在生產(chǎn)中必須保證點(diǎn)膠路線是連貫和穩(wěn)定的,而通過色散共焦測(cè)量傳感器系統(tǒng)就能夠控制許多質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)中的很多參數(shù)。膠水小球相對(duì)于其他結(jié)構(gòu)必須安置在正中間。在點(diǎn)膠起始和結(jié)束的異常的材料積聚能被檢測(cè)出來。色散共焦測(cè)量就連缺...
表面粗糙度測(cè)量方法具體流程如下:(1)待測(cè)工件定位。將待測(cè)工件平穩(wěn)置于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量平臺(tái)上,調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)紅寶石測(cè)針測(cè)量其空間位置和姿態(tài),為按測(cè)量工藝要求確定測(cè)量位置提供數(shù)據(jù)。(2)輪廓掃描。測(cè)量機(jī)測(cè)量臂更換掛載光譜共焦傳感器的光學(xué)探頭,驅(qū)動(dòng)探頭運(yùn)動(dòng)至工件測(cè)量位置,...