在激光慣性約束核聚變實驗中,靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)對靶丸制備工藝改進和仿真模擬核聚變實驗過程至關(guān)重要。然而,如何對靶丸多個參數(shù)進行同步、高精度、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實驗中的關(guān)鍵問題。雖然已有多種薄膜厚度及折射率的測量方法,但仍然無法滿足激光核聚...
在激光慣性約束核聚變實驗中,靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)是靶丸制備工藝改進和仿真模擬核聚變實驗過程的基礎(chǔ),因此如何對靶丸多個參數(shù)進行高精度、同步、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實驗中的關(guān)鍵問題。以上各種薄膜厚度及折射率的測量方法各有利弊,但針對本文實驗,仍然無...
自1986年E.Wolf證明了相關(guān)誘導(dǎo)光譜的變化以來,人們開始在理論和實驗上進行探討和研究。結(jié)果表明,動態(tài)的光譜位移可以產(chǎn)生新的濾波器,可應(yīng)用于光學(xué)信號處理和加密領(lǐng)域。本文提出的基于白光干涉光譜單峰值波長移動的解調(diào)方案,可應(yīng)用于當(dāng)兩光程差非常小導(dǎo)致干涉光譜只有...
物體的表面形貌可以通過測量距離來確定,光譜共焦傳感器可以用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測量對象包含不同類型的材料時,盡管距離值保持不變,但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射率并變得可見。系統(tǒng)會創(chuàng)建目標(biāo)及其精細結(jié)構(gòu)的精確圖像,只...
差動共焦拉曼光譜測試方法是一種通過激光激發(fā)樣品產(chǎn)生拉曼散射信號,并利用差動共焦顯微鏡提高空間分辨率、抑制激光背景和表面散射等干擾信號的非接觸式拉曼光譜測試方法。該方法將樣品放置于差動共焦顯微鏡中,利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點對樣品進行局部激發(fā),產(chǎn)生拉曼散...
采用對比測試方法,首先對基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核,為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數(shù)據(jù)進行了偏移。結(jié)果得出,二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外...
激光位移傳感器的技術(shù)發(fā)展路線始于上世紀(jì),經(jīng)過多年的研究和發(fā)展,如今已成為非接觸測量領(lǐng)域的重要手段。其主要應(yīng)用是測量被測物體的位移,具有結(jié)構(gòu)小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點,被廣泛應(yīng)用于微位移測量領(lǐng)域。在激光位移...
光纖白光干涉測量使用的是寬譜光源。在選擇光源時,需要重點考慮光源的輸出光功率和中心波長的穩(wěn)定性。由于本文所設(shè)計的解調(diào)系統(tǒng)是通過測量干涉峰值的中心波長移動來實現(xiàn)的,因此光源中心波長的穩(wěn)定性對實驗結(jié)果會產(chǎn)生很大的影響。實驗中我們選擇使用由INPHENIX公司生產(chǎn)的...
線性色散設(shè)計的光譜共焦測量技術(shù)是一種利用光譜信息進行空間分辨的光學(xué)技術(shù)。該技術(shù)利用傳統(tǒng)共焦顯微鏡中的探測光路,再加入一個光柵分光鏡或干涉儀等光譜儀器,實現(xiàn)對樣品的空間和光譜信息的同時采集和處理。該技術(shù)的主要特點在于,采用具有線性色散特性的透鏡組合,將樣品掃描后...
采用激光三角法測量易拉罐罐蓋開啟口壓痕的殘余厚度時,要求不僅能測量生產(chǎn)線上易拉罐罐蓋開啟口刻痕的殘余厚度,而且還要對易拉蓋模具的磨損情況進行評估。此時,激光三角法的測量精度除了會受到散斑的影響外,還會受到精細結(jié)構(gòu)對測量精度的影響。激光三角法測量的重要假定是發(fā)射...
光譜共焦位移傳感器是一種用于測量物體表面形貌的高精度傳感器。在手機制造過程中,段差是一個重要的參數(shù),它決定了手機鏡頭的質(zhì)量和性能。因此,測量手機段差的具體方法是手機制造過程中的關(guān)鍵步驟之一。光譜共焦位移傳感器測量手機段差的具體方法可以分為以下幾個步驟。首先,需...
根據(jù)對光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析,可以得出理想的鏡頭應(yīng)具備以下性能:首先,產(chǎn)生較大的軸向色差,通常需要對鏡頭進行消色差措施,而該傳感器需要利用色差進行測量,需要將其擴大化;其次,產(chǎn)生軸向色差后,焦點在軸上會因單色光的球差問題而導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)的FWHM...
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個連續(xù)的焦點組,每個焦點的單色光波長對應(yīng)一個軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點范圍內(nèi)時,樣品表面會聚焦后的光反射回去,這些反射回...
光譜共焦位移傳感器是一種基于共焦顯微鏡和掃描式激光干涉儀的非接觸式位移傳感器。 它的工作原理是將樣品表面反射的激光束和參考激光束進行干涉,利用干涉條紋的位移以及光譜的相關(guān)變化實現(xiàn)對樣品表面形貌和性質(zhì)的高精度測量。 該傳感器可以實現(xiàn)微米級甚至亞微米級的位移測量精...
高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測量精度。它能夠?qū)崿F(xiàn)納米級的位移測量,對于晶圓表面微小變化的檢測具有極大的優(yōu)勢。在半導(dǎo)體行業(yè)中,晶圓的表面質(zhì)量對于芯片的制造具有至關(guān)重要的影響,因此需要一種能夠jing'q精確測量晶圓表面位移的傳感器來保證芯片的質(zhì)量。其次,...
激光三角法測量原理可有效應(yīng)用于三維曲面的非接觸精密測量,測量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計處理結(jié)果直接關(guān)系到測量精度的提高,同時也與測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、被測物體特性及環(huán)境條件等因素有關(guān)。從激光三角法的測量機理出發(fā),針對易拉罐罐蓋開啟口壓痕殘余厚度測量中影響測量的關(guān)鍵問題進行分析和研...
三坐標(biāo)測量機是加工現(xiàn)場常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測設(shè)備,其具有通用性強,精確可靠等優(yōu)點。本文面向一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測量要求,提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度在線測量的方法,利用工業(yè)現(xiàn)場常用的三坐標(biāo)測量機平臺執(zhí)行輪...
在電化學(xué)領(lǐng)域,電極片的厚度是一個重要的參數(shù),直接影響著電化學(xué)反應(yīng)的效率和穩(wěn)定性,我們將介紹光譜共焦位移傳感器對射測量電極片厚度的具體方法。首先,我們需要準(zhǔn)備一塊待測電極片和光譜共焦位移傳感器。將電極片放置在測量平臺上,并調(diào)整傳感器的位置,使其與電極片表面保持垂...
干涉測量法是一種基于光的干涉原理實現(xiàn)對薄膜厚度測量的光學(xué)方法,是一種高精度的測量技術(shù),其采用光學(xué)干涉原理的測量系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、穩(wěn)定性高、抗干擾能力強、使用范圍廣等優(yōu)點。對于大多數(shù)干涉測量任務(wù),都是通過分析薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋的形狀和...
共焦位移傳感器是利用共焦原理和軸向色像差現(xiàn)象對測量對象的位移進行測量的光學(xué)測量裝置,共焦原理是指將從形成光源的像的成像面上接收到的光以縮小光圈的方式形成為反射光,軸向色像差現(xiàn)象是在光源的像中發(fā)生光軸方向上的顏色漂移的現(xiàn)象。共焦位移傳感器由作為點光源的使從光源出...
該文主要研究了以半導(dǎo)體鍺和貴金屬金兩種材料為對象,實現(xiàn)納米級薄膜厚度準(zhǔn)確測量的可行性,主要涉及三種方法,分別是白光干涉法、表面等離子體共振法和外差干涉法。由于不同材料薄膜的特性不同,所適用的測量方法也不同。對于折射率高,在通信波段(1550nm附近)不透明的半...
光譜共焦傳感器結(jié)合了高精度和高速度的現(xiàn)代技術(shù),在工業(yè) 4.0 的高要求下,這些多功能距離和位移傳感器非常適合使用。在工業(yè) 4.0 的世界中,傳感器必須進行高速測量并提供高精度結(jié)果,以確??煽康馁|(zhì)量保證。由于光學(xué)測量技術(shù)是非接觸式的,它們在生產(chǎn)和檢測過程中變得越...
光譜共焦測量原理通過使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。工廠校準(zhǔn)為每個波長分配了一定的偏差(特定距離)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長才能用于測量。從目標(biāo)表面反射的這種光通過共焦孔徑到...
自上世紀(jì)60年代開始,西方的工業(yè)生產(chǎn)線廣泛應(yīng)用基于X及β射線、近紅外光源開發(fā)的在線薄膜測厚系統(tǒng)。隨著質(zhì)檢需求的不斷增長,20世紀(jì)70年代后,電渦流、超聲波、電磁電容、晶體振蕩等多種膜厚測量技術(shù)相繼問世。90年代中期,隨著離子輔助、離子束濺射、磁控濺射、凝膠溶膠...
光譜共焦傳感器結(jié)合了高精度和高速度的現(xiàn)代技術(shù),在工業(yè) 4.0 的高要求下,這些多功能距離和位移傳感器非常適合使用。在工業(yè) 4.0 的世界中,傳感器必須進行高速測量并提供高精度結(jié)果,以確??煽康馁|(zhì)量保證。由于光學(xué)測量技術(shù)是非接觸式的,它們在生產(chǎn)和檢測過程中變得越...
在容器玻璃生產(chǎn)過程中,圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征,需要進行檢查。任何有缺陷的容器都會被判定為不合格產(chǎn)品并返回到玻璃熔體中。為了實現(xiàn)快速的非接觸式測量,并確保不損壞瓶子,需要高處理速度。對于這種測量任務(wù),光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個點上同步測量并...
為了提高靶丸內(nèi)爆壓縮效率,需要確保靶丸所有幾何參數(shù)和物性參數(shù)都符合理想的球?qū)ΨQ狀態(tài),因此需要對靶丸殼層厚度分布進行精密檢測。常用的測量手法有X射線顯微輻照法、激光差動共焦法和白光干涉法等。白光干涉法是以白光作為光源,分成入射到參考鏡和待測樣品的兩束光,在計算機...
光譜共焦傳感器是專為需要高精度測量任務(wù)而設(shè)計的,通常應(yīng)用于研發(fā)任務(wù)、實驗室和醫(yī)療、半導(dǎo)體制造、玻璃生產(chǎn)和塑料加工。除了對高反射、有光澤的金屬部件進行距離測量以外,這些傳感器還可用于測量深色、漫反射材料、以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y量。傳感器還受益于較大的間...
道路是交通運輸?shù)闹匾M成部分,其平整度和幾何形狀對行車安全、行車舒適性、車輛燃油經(jīng)濟性等方面都有著重要影響。為了確保道路的安全和舒適,需要對道路的平整度和幾何形狀進行定期檢測和維護。而激光位移傳感器在道路檢測領(lǐng)域中的應(yīng)用,為道路的檢測和維護提供了更加準(zhǔn)確和高效...
實際中,光譜共焦位移傳感器可用于許多方面。它采用獨特的光譜共焦測量原理,利用單探頭可以實現(xiàn)對玻璃等透明材料的單向精確厚度測量,可有效監(jiān)控藥劑盤和鋁塑泡罩包裝的填充量,實現(xiàn)納米級分辨率的精確表面掃描。該傳感器可以單向測量試劑瓶的壁厚,并且對瓶壁沒有壓力,通過設(shè)計...