光譜法是以光的干涉效應為基礎的一種薄膜厚度測量方法 ，分為反射法和透射法兩類[12]。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會引起多光束干涉效應，不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的，并且在全光譜范圍內與厚度之間是一一對應關系。因此，根據(jù)這一光譜...

靶丸內表面輪廓是激光核聚變靶丸的關鍵參數(shù)，需要精密檢測。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內表面輪廓測量基本原理，建立了靶丸內表面輪廓的白光共焦光譜測量方法。此外，搭建了靶丸內表面輪廓測量實驗裝置，建立了基于靶丸光學圖像的輔助調心方法，實現(xiàn)了靶...

光譜共焦傳感器結合了高精度和高速度的現(xiàn)代技術，在工業(yè) 4.0 的高要求下，這些多功能距離和位移傳感器非常適合使用。在工業(yè) 4.0 的世界中，傳感器必須進行高速測量并提供高精度結果，以確?？煽康馁|量保證。由于光學測量技術是非接觸式的，它們在生產和檢測過程中變得越...

白光干涉測量技術，也稱為光學低相干干涉測量技術，使用的是低相干的寬譜光源，如超輻射發(fā)光二極管、發(fā)光二極管等。與所有光學干涉原理一樣，白光干涉也是通過觀察干涉圖案變化來分析干涉光程差變化，并通過各種解調方案實現(xiàn)對待測物理量的測量。采用寬譜光源的優(yōu)點是，由于白光光...

由于不同性質和形態(tài)的薄膜對系統(tǒng)的測量量程和精度的需求不盡相同，因而多種測量方法各有優(yōu)缺，難以一概而論。按照薄膜厚度的增加，適用的測量方式分別為橢圓偏振法、分光光度法、共聚焦法和干涉法。對于小于1μm的較薄薄膜，白光干涉輪廓儀的測量精度較低，分光光度法和橢圓偏振...

液晶玻璃基板品質管控要求嚴格、設備精度要求高，傳統(tǒng)的接觸式測厚裝置因其測量精度差、測量頻次有限而無法形成連續(xù)測量、接觸式測量裝置損耗快，需頻繁定期更換等不足 ，已無法滿足當前生產要求。激光測厚裝置的應用有效彌補了接觸式測厚裝置的不足，從效率、精度、準度、連續(xù)性...

共焦測量方法由于具有高精度的三維成像能力 ，已經大量用于表面輪廓與三維精細結構的精密測量。本文通過分析白光共焦光譜的基本原理，建立了透明靶丸內表面圓周輪廓測量校準模型;同時，基于白光共焦光譜并結合精密旋轉軸系，建立了靶丸內表面圓周輪廓精密測量系統(tǒng)和靶丸圓心精密...

常用白光垂直掃描干涉系統(tǒng)的原理：入射的白光光束通過半反半透鏡進入到顯微干涉物鏡后，被分光鏡分成兩部分，一個部分入射到固定參考鏡，一部分入射到樣品表面，當參考鏡表面和樣品表面的反射光通過分光鏡后，再次匯聚發(fā)生干涉，干涉光通過透鏡后，利用電荷耦合器(CCD)可探測...

膜厚儀是一種可以用于精確測量光學薄膜厚度的儀器，是光學薄膜制備和表征中不可或缺的工具。在光學薄膜領域，薄膜的厚度直接影響到薄膜的光學性能和應用效果。因此，準確測量薄膜厚度對于研究和生產具有重要意義。膜厚儀測量光學薄膜的具體方法通常包括以下幾個步驟：樣品準備：首...

在容器玻璃生產過程中，圓度和壁厚是重要的質量特征，需要進行檢查。任何有缺陷的容器都會被判定為不合格產品并返回到玻璃熔體中。為了實現(xiàn)快速的非接觸式測量，并確保不損壞瓶子，需要高處理速度。對于這種測量任務，光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個點上同步測量并...

譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學測量儀器，主要應用于工業(yè)生產、科學研究和質量控制等領域。特別是在工業(yè)制造中，比如汽車工業(yè)的發(fā)動機制造領域，氣缸內壁的精度對發(fā)動機的性能和可靠性有著直接的影響。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)非接觸式測量，提供高精度和高分辨率的數(shù)據(jù)，...

光譜共焦傳感器使用復色光作為光源 ，可以實現(xiàn)微米級精度的漫反射或鏡反射被測物體測量功能。此外，光譜共焦位移傳感器還可以實現(xiàn)對透明物體的單向厚度測量，其光源和接收光鏡為同軸結構，避免光路遮擋，適用于直徑4.5mm及以上的孔和凹槽的內部結構測量。在測量透明物體的位...

隨后安裝在貼裝臺單元上的激光位移傳感器403檢測鍵合頭370上拾取的芯片的傾角，結合兩位移傳感器360和403的初始角度差值，利用調平機構340對芯片做出與貼裝臺401上貼裝位間的平行調整；其調平的具體實現(xiàn)過程如下：音圈電機343動作，從而實現(xiàn)音圈模組341產...

激光位移傳感器的分辨率是指它能夠測量到的小位移量，通常用微米或納米表示。分辨率是激光位移傳感器性能指標之一，決定了其測量精度和可靠性。分辨率的測試方法一般為將被測物體移動一個已知的小位移，然后測量激光位移傳感器輸出的信號變化量，即為分辨率。在測試分辨率時，需要...

激光位移傳感器 在工業(yè)生產中具有重要的作用，其應用主要是用于非標的檢測設備中。國內所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進口。因此，激光位移傳感器的研究和生產具有非常重要的意義 ，可以提高國內工業(yè)生產的自主創(chuàng)新能力和技術水平。激光位移傳感器的系統(tǒng)特點及研究...

白光干涉在零光程差處 ，出現(xiàn)零級干涉條紋，隨著光程差的增加，光源譜寬范圍內的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移，疊加的整體效果使條紋對比度下降。測量精度高，可以實現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的抗干擾能力強，動態(tài)范圍大，具有快速檢測和結構緊湊等優(yōu)點。普...

薄膜作為改善器件性能的重要途徑，被廣泛應用于現(xiàn)代光學 、電子 、醫(yī)療、能源、建材等技術領域。受薄膜制備工藝及生產環(huán)境影響，成品薄膜存在厚度分布不均、表面粗糙度大等問題，導致其光學及物理性能達不到設計要求，嚴重影響成品的性能及應用。隨著薄膜生產技術的迅速發(fā)展，...

對光譜共焦位移傳感器原理進行理解與分析得出，想得到的理想鏡頭應該具備以下性能：首先需要其產生較大的軸向色差，通常需要對鏡頭進行消色差措施，而對于此傳感器需要利用其色差進行測量，并且還需將其擴大化，其次產生軸向色差后在軸上的焦點會由于單色光球差的問題導致光譜曲線...

壓縮機在承受載荷時會發(fā)生微小變形，變形的大小將直接影響零部件之間的裝配以及余隙容積等，因此準確測試結構的變形對結構設計驗證至關重要。測試與分析結構微變形的方法有很多種[1-8]，傳統(tǒng)常用的是千分表（如圖1所示）測試，通過機械探針接觸被測物體表面，讀取表盤的指針...

激光位移傳感器在道路檢測領域中應用很廣，可以迅速、準確地測量道路表面的高度和形狀，對道路表面的高度差和幾何形狀進行高精度的測量和分析。其非接觸式的測量方式不會對道路表面造成任何損傷，并且能夠實時監(jiān)測和數(shù)據(jù)記錄，提供更加完整和準確的數(shù)據(jù)支持。通過激光位移傳感器進...

薄膜作為重要元件 ，通常使用金屬、合金、化合物、聚合物等作為其主要基材，品類涵蓋光學膜、電隔膜、阻隔膜、保護膜、裝飾膜等多種功能性薄膜，廣泛應用于現(xiàn)代光學、電子、醫(yī)療、能源、建材等技術領域。常用薄膜的厚度范圍從納米級到微米級不等。納米和亞微米級薄膜主要是基于干...

隨著科技的進步和應用的深入，光譜共焦在點膠行業(yè)中的未來發(fā)展將更加廣闊。以下是一些可能的趨勢和發(fā)展方向：高速化：為了滿足不斷提高的生產效率要求，光譜共焦技術需要更快的光譜分析速度和更短的檢測時間。這需要不斷優(yōu)化算法和改進硬件設備，以提高數(shù)據(jù)處理速度和檢測效率。智...

隨著社會不斷的發(fā)展，我們智能設備的進化越發(fā)迅速，愈發(fā)精密的設備意味著，對點膠設備提出更高的要求，需要應對更高的點膠精度。更靈活的點膠角度。目前手機中板和屏幕模組貼合時，需要在中板上點一圈透明的UV膠，這種膠由于白色反光的原因，只能使用光譜共焦傳感器進行完美測量...

隨著工業(yè)快速的發(fā)展 ，對精密測量技術的要求越來越高，位移測量技術作為幾何量精密測量的基礎，不僅需要超高測量精度，而且需要對環(huán)境和材料的大量適應性，并且逐步趨于實時、無損檢測。與傳統(tǒng)接觸式測量方法相比，光譜共焦位移傳感器具有高速度，高精度，高適應性等明顯優(yōu)勢。本...

激光位移傳感器具有結構小巧 、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點，因此在微位移測量領域得到廣泛應用。其測量原理是利用激光單色和準直特性，將垂直入射測距面上的激光點通過光學系統(tǒng)將其縮小的實像成像在接收光敏面上。激光位移傳感器由激光發(fā)...

目前，應用的顯微干涉方式主要有Mirau顯微干涉和Michelson顯微干涉兩張方式。在Mirau型顯微干涉結構，在該結構中物鏡和被測樣品之間有兩塊平板，一個是涂覆有高反射膜的平板作為參考鏡，另一塊涂覆半透半反射膜的平板作為分光棱鏡，由于參考鏡位于物鏡和被測樣...

光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光，通過同軸聚焦在一定范圍內形成一個連續(xù)的焦點組，每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內時，樣品表面會聚焦后的光反射回去，這些反射回...

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現(xiàn)0.025 μm的重復精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度，能夠適應鏡面、透明、半透明、...

光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發(fā)展而來的技術，在測量過程中無需軸向掃描，直接由波長對應軸向距離信息，因此可以大幅提高測量速度。基于光譜共焦技術的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達到納米級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求...

光譜擬合法易于測量具有應用領域 ，由于使用了迭代算法，因此該方法的優(yōu)缺點在很大程度上取決于所選擇的算法。隨著各種全局優(yōu)化算法的引入，遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數(shù)的測量。其缺點是不夠實用，該方法需要一個較好的薄膜的光學模型(包括色散系數(shù)、吸收系數(shù)...