白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個(gè)重要方向,此項(xiàng)技術(shù)主要是利用光譜儀將對(duì)條紋的測量轉(zhuǎn)變成為對(duì)不同波長光譜的測量。通過分析被測物體的光譜特性,就能夠得到相應(yīng)的長度信息和形貌信息。相比于白光掃描干涉術(shù),它不需要大量的掃描過程,因此提高了測量效率,而且也減小了...
表面粗糙度測量方法具體流程如下 :(1)待測工件定位。將待測工件平穩(wěn)置于坐標(biāo)測量機(jī)測量平臺(tái)上,調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)紅寶石測針測量其空間位置和姿態(tài),為按測量工藝要求確定測量位置提供數(shù)據(jù)。(2)輪廓掃描。測量機(jī)測量臂更換掛載光譜共焦傳感器的光學(xué)探頭,驅(qū)動(dòng)探頭運(yùn)動(dòng)至工件測量位置...
這篇文章介紹了一種具有1毫米縱向色差的超色差攝像鏡頭,它具有0.4436的圖像室內(nèi)空間NA和0.991的線性相關(guān)系數(shù)R2,其構(gòu)造達(dá)到了原始設(shè)計(jì)要求并顯示出了良好的光學(xué)性能。實(shí)現(xiàn)線性散射需要考慮一些關(guān)鍵條件 ,并可以采用不同的優(yōu)化方法來改進(jìn)設(shè)計(jì)。首先,線性散射的...
對(duì)同一靶丸相同位置進(jìn)行白光垂直掃描干涉,建立靶丸的垂直掃描干涉裝置,通過控制光學(xué)輪廓儀的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)干涉物鏡在垂直方向上的移動(dòng),從而測量到光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達(dá)基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差,顯然,當(dāng)一束平行光穿過靶丸后,偏離靶丸中心越遠(yuǎn)的光...
譜共焦位移傳感器,作為一種高度精密的光學(xué)測量儀器 ,擔(dān)負(fù)著重要的測量任務(wù)。其主要應(yīng)用領(lǐng)域包括工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究和質(zhì)量控制等,其中對(duì)金屬內(nèi)壁輪廓的準(zhǔn)確測量至關(guān)重要。在工業(yè)制造中,特別是汽車行業(yè)的發(fā)動(dòng)機(jī)制造領(lǐng)域,氣缸內(nèi)壁的精度直接關(guān)系到發(fā)動(dòng)機(jī)性能和可靠性。因此,采...
激光位移傳感器在手機(jī)組裝行業(yè)中也有著廣泛的應(yīng)用。在手機(jī)制造過程中,需要對(duì)各個(gè)組件進(jìn)行精確的測量,以確保其質(zhì)量和可靠性。其中,激光位移傳感器可以應(yīng)用于段差測量。通過將激光發(fā)射光束投射到被測組件表面,利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,從而獲取被測...
光譜共焦位移傳感器是一種用于測量物體表面形貌的先進(jìn)技術(shù)。在工業(yè)生產(chǎn)中,玻璃瓶是一種常見的包裝容器,其厚度對(duì)于產(chǎn)品的質(zhì)量和安全性至關(guān)重要。因此,精確測量玻璃瓶厚度的方法對(duì)于生產(chǎn)過程至關(guān)重要。本文將介紹一種利用光譜共焦位移傳感器測量玻璃瓶厚度的具體方法。首先,我們...
在工業(yè)領(lǐng)域 ,光譜共焦傳感器的應(yīng)用可以幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)更高精度的加工,提高產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。首先,高精度光譜共焦傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)加工表面形貌的j精確測量。在精加工過程中,產(chǎn)品的表面形貌對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量有著至關(guān)重要的影響。傳統(tǒng)的測量方法往往需要接觸式測量,不僅測量精...
靶丸殼層折射率 、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變(ICF)物理實(shí)驗(yàn)中非常關(guān)鍵的參數(shù),精密測量靶丸殼層折射率、厚度及其分布對(duì)ICF精密物理實(shí)驗(yàn)研究具有非常重要的意義。由于靶丸尺寸微?。▉喓撩琢考?jí))、結(jié)構(gòu)特殊(球形結(jié)構(gòu))、測量精度要求高,如何實(shí)現(xiàn)靶丸殼層折射率...
安裝過程中需要注意保護(hù)傳感器光學(xué)部件。激光位移傳感器的測量原理是通過激光束對(duì)測量目標(biāo)進(jìn)行照射,并通過接收反射光信號(hào)來計(jì)算位移。因此,在安裝過程中,應(yīng)特別注意保護(hù)傳感器的光學(xué)部件,避免碰撞和污染。在安裝完成后,還應(yīng)定期清潔光學(xué)部件,以確保傳感器的測量精度和穩(wěn)定性...
光譜共焦傳感器專為需要高精度的測量任務(wù)而設(shè)計(jì),通常是研發(fā)任務(wù)、實(shí)驗(yàn)室和醫(yī)療、半導(dǎo)體制造、玻璃生產(chǎn)和塑料加工。除了對(duì)高反射、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測量外 ,這些傳感器還可用于測量深色、漫射材料,以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y量。傳感器還受益于較大的間隔距離(...
白光干涉的相干原理早在1975年就被提出,并在1976年實(shí)現(xiàn)了在光纖通信領(lǐng)域中的應(yīng)用。1983年,Brian Culshaw的研究小組報(bào)道了白光干涉技術(shù)在光纖傳感領(lǐng)域中的應(yīng)用。隨后在1984年,報(bào)道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng)。這項(xiàng)研究成果證明了白光...
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組,每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí),樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去,這些反射回...
光譜共焦測量原理是使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面上。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。每個(gè)波長都有一定的偏差(特定距離)進(jìn)行工廠校準(zhǔn)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長才能用于測量。通過共焦孔徑反射到目標(biāo)表面的光會(huì)被光譜儀檢...
裝備的精密定位和運(yùn)動(dòng)控制是至關(guān)重要的。為了確保武器裝備的高精度和高可靠性,需要使用高精度的測量和控制系統(tǒng)。激光位移傳感器作為一種高精度、高靈敏度的傳感器,已經(jīng)成為武器裝備制造和維護(hù)中必不可少的工具。激光位移傳感器可以測量武器裝備的位置和位移,以及其運(yùn)動(dòng)狀態(tài)、速...
激光位移傳感器在鋰電極片測厚行業(yè)應(yīng)用 。其采用的激光光點(diǎn)呈橢圓形,長軸直徑遠(yuǎn)大于正負(fù)極材料顆粒,在測量時(shí)能起到厚度平均的作用,不會(huì)因?yàn)闃O片表面的顆粒太大導(dǎo)致測量過程中出現(xiàn)極小范圍內(nèi)的波峰和波谷 。因此,采用該激光位移傳感器做測厚儀用于測量鋰電池正負(fù)極極片厚度是...
譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學(xué)測量儀器,主要應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究和質(zhì)量控制等領(lǐng)域。特別是在工業(yè)制造中,比如汽車工業(yè)的發(fā)動(dòng)機(jī)制造領(lǐng)域,氣缸內(nèi)壁的精度對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)的性能和可靠性有著直接的影響。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)非接觸式測量,提供高精度和高分辨率的數(shù)據(jù),...
本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測量方法,適用于一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測量要求。該方法利用三坐標(biāo)測量機(jī)平臺(tái)對(duì)零件進(jìn)行輪廓掃描,并記錄測量掃描位置的空間橫坐標(biāo),然后根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系,將微觀高度信息和采樣點(diǎn)組合成...
第三視覺定位包括分別布置在多自由度鍵合頭 300和貼裝臺(tái)單元401上的激光位移傳感器360、403,它們相互配合并用于對(duì)鍵合頭所拾取芯片和基板各自相對(duì)于XY平面的傾角進(jìn)行精確測量及定位;第四視覺定位系統(tǒng)包括布置在多自由度鍵合頭上并由相機(jī)351和平面鏡352共同...
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組 ,每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí),樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去,這些反射...
極值法求解過程計(jì)算簡單,速度快,同時(shí)能確定薄膜的多個(gè)光學(xué)常數(shù)并解決多值性問題,測試范圍廣,但沒有考慮薄膜均勻性和基底色散的因素,因此精度不夠高。此外,由于受曲線擬合精度的限制,該方法對(duì)膜厚的測量范圍有要求,通常用于測量薄膜厚度大于200納米且小于10微米的情況...
本章主要介紹了基于白光反射光譜和白光垂直掃描干涉聯(lián)用的靶丸殼層折射率測量方法 。該方法利用白光反射光譜測量靶丸殼層光學(xué)厚度,利用白光垂直掃描干涉技術(shù)測量光線通過靶丸殼層后的光程增量,二者聯(lián)立即可求得靶丸折射率和厚度數(shù)據(jù)。在實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理方面,為解決白光干涉光譜中...
激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用中,具有非常重要的作用。例如,在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于實(shí)時(shí)監(jiān)測風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片的位移,從而及時(shí)發(fā)現(xiàn)葉片的形變和振動(dòng)情況 ,保證發(fā)電機(jī)的正常運(yùn)行。此外,在新能源汽車領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于測量電池、電機(jī)等關(guān)...
液晶玻璃基板品質(zhì)管控要求嚴(yán)格、設(shè)備精度要求高,傳統(tǒng)的接觸式測厚裝置因其測量精度差、測量頻次有限而無法形成連續(xù)測量、接觸式測量裝置損耗快,需頻繁定期更換等不足 ,已無法滿足當(dāng)前生產(chǎn)要求。激光測厚裝置的應(yīng)用有效彌補(bǔ)了接觸式測厚裝置的不足,從效率、精度、準(zhǔn)度、連續(xù)性...
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組,每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí),樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去 ,這些反射...
激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用范圍廣。在太陽能光伏領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于對(duì)太陽能電池板進(jìn)行高精度的位移測量,以確保電池板的穩(wěn)定性和可靠性。在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于對(duì)風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片的位移進(jìn)行測量,以確定葉片的形變和振動(dòng)情況,從而提高...
光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器,因?yàn)槠錅y量精度高,對(duì)于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強(qiáng)的抵抗能力等特點(diǎn),應(yīng)用前景十分大量。文章通過對(duì)原理的分析,設(shè)計(jì)了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃,采用正負(fù)透鏡組分離結(jié)構(gòu)組合形成鏡頭組,使用凹凸透鏡補(bǔ)...
激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧 、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測量特點(diǎn),因此在微位移測量領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。其測量原理是利用激光單色和準(zhǔn)直特性,將垂直入射測距面上的激光點(diǎn)通過光學(xué)系統(tǒng)將其縮小的實(shí)像成像在接收光敏面上。激光位移傳感器由激光發(fā)...
在硅片柵線的厚度測量過程中,創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02%的線性精度,10kHz的測量速度和±60°的測量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多...
在對(duì)目前常用的白光干涉測量方案進(jìn)行比較研究后發(fā)現(xiàn),當(dāng)兩個(gè)干涉光束的光程差非常小導(dǎo)致干涉光譜只有一個(gè)峰時(shí),基于相鄰干涉峰間距的解調(diào)方案不再適用。因此,我們提出了一種基于干涉光譜單峰值波長移動(dòng)的測量方案,適用于極小光程差。這種方案利用干涉光譜的峰值波長會(huì)隨光程差變...