光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組,每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長對應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí),樣品表面會聚焦后的光反射回去,這些反射回來的光再經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進(jìn)入控制箱中的單色儀。因此 只有位于樣品表面的焦點(diǎn)位置才能聚焦在狹縫上,單色儀將該波長的光分離出來,由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達(dá)到較高分辨率,滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共焦技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域可以用于材料表面和內(nèi)部的成像和分析。高精度光譜共焦使用方法
光譜共焦傳感器是專為需要高精度測量任務(wù)而設(shè)計(jì)的,通常應(yīng)用于研發(fā)任務(wù)、實(shí)驗(yàn)室和醫(yī)療、半導(dǎo)體制造、玻璃生產(chǎn)和塑料加工。除了對高反射、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測量以外,這些傳感器還可用于測量深色、漫反射材料、以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y量。傳感器還受益于較大的間隔距離(高達(dá)100毫米),從而為用戶在使用傳感器的各種應(yīng)用方面提供更大的靈活性。另外,傳感器的傾斜角度已顯著增加,這在測量表面特征的變化時(shí)帶來更好的性能 。怎樣選擇光譜共焦檢測光譜共焦技術(shù)的應(yīng)用可以提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。
硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測量速度,以及±60°的測量角度,能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度,所以我們這次用單探頭在二維運(yùn)動(dòng)平臺上進(jìn)行掃描測量 。柵線測量方法:首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個(gè)區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記如圖1,用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量,柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運(yùn)動(dòng)平臺掃描測量(由于柵線不是一個(gè)平整面,自身有一定的曲率,對測量區(qū)域的選擇隨機(jī)性影響較大)
在容器玻璃生產(chǎn)過程中,圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征,需要進(jìn)行檢查。任何有缺陷的容器都會被判定為不合格產(chǎn)品并返回到玻璃熔體中 。為了實(shí)現(xiàn)快速的非接觸式測量,并確保不損壞瓶子,需要高處理速度。對于這種測量任務(wù),光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個(gè)點(diǎn)上同步測量并通過EtherCAT接口實(shí)時(shí)輸出數(shù)據(jù),厚度校準(zhǔn)功能允許在傳感器的整個(gè)測量范圍內(nèi)進(jìn)行精確的厚度測量。此外,自動(dòng)曝光控制可以實(shí)現(xiàn)對不同玻璃顏色的測量的穩(wěn)定性。光譜共焦技術(shù)的應(yīng)用將有助于推動(dòng)中國科技創(chuàng)新的發(fā)展。
客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設(shè)備來檢查對齊情況,每個(gè)組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,耗時(shí)太久。因此,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機(jī)器,以減少校準(zhǔn)檢查所需的時(shí)間?,F(xiàn)在,我們使用機(jī)器人搬運(yùn)系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動(dòng)裝配機(jī)中。為了避免由于移動(dòng)機(jī)器人的振動(dòng)引起的任何測量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨(dú)的框架和支架上,盡管仍然靠近要測量的部件。該機(jī)器現(xiàn)已經(jīng)通過測試和驗(yàn)證 。激光位移傳感器可分為點(diǎn)、線兩種。高頻光譜共焦廠家哪家好
光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)亞微米級別的位移和形變測量,具有高精度和高分辨率的特點(diǎn)。高精度光譜共焦使用方法
光譜共焦位移傳感器是一種用于測量物體表面形貌和位移的先進(jìn)傳感器技術(shù)。它能夠通過光譜共焦原理實(shí)現(xiàn)高精度的位移測量,廣泛應(yīng)用于工業(yè)制造 、科學(xué)研究和醫(yī)療診斷等領(lǐng)域。本文將介紹光譜共焦位移傳感器的工作原理、測試場景和解決方案。光譜共焦位移傳感器的工作原理是基于光學(xué)共焦原理。當(dāng)激光光束照射到物體表面時(shí),光束會在物體表面反射并聚焦到傳感器的探測器上。通過分析反射光的光譜信息,傳感器可以精確計(jì)算出物體表面的形貌和位移信息。光譜共焦位移傳感器具有高分辨率、高靈敏度和無接觸測量等優(yōu)點(diǎn),能夠?qū)崿F(xiàn)微納米級的位移測量,適用于各種復(fù)雜表面的測量需求。在工業(yè)制造領(lǐng)域,光譜共焦位移傳感器被廣泛應(yīng)用于精密加工、三維打印、自動(dòng)化裝配等場景。它能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測零件表面的形貌和位移變化,確保加工質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性。在科學(xué)研究領(lǐng)域,光譜共焦位移傳感器可以用于納米材料的表面形貌分析、生物細(xì)胞的變形測量等領(lǐng)域。在醫(yī)療診斷領(lǐng)域,光譜共焦位移傳感器可以用于眼科手術(shù)中的角膜形態(tài)測量、皮膚病變的表面形貌分析等應(yīng)用。針對光譜共焦位移傳感器在不同場景下的測試需求,有針對性的解決方案是至關(guān)重要的。高精度光譜共焦使用方法