光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個連續(xù)的焦點組,每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內(nèi)時,樣品表面會聚焦后的光反射回去,這些反射回來的光再經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此 只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上,單色儀將該波長的光分離出來,由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率,滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對不同材料的位移測量,包括金屬、陶瓷、塑料等!高性能光譜共焦供應
光譜共焦測量原理通過使用多透鏡光學系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。工廠校準為每個波長分配了一定的偏差(特定距離)。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。從目標表面反射的這種光通過共焦孔徑到達光譜儀,該光譜儀檢測并處理光譜變化。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用共焦原理進行測量。共焦測量提供納米分辨率并且?guī)缀跖c目標材料分開運行。在傳感器的測量范圍內(nèi)實現(xiàn)了一個非常小的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔的內(nèi)表面,以及測量窄孔、小間隙和空腔 。高性能光譜共焦使用方法光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的微小變形進行精確測量,對于研究材料的性能具有重要意義;
光譜共焦技術(shù)主要包括成像、位置確認和檢測三個步驟。首先,使用顯微鏡對樣品進行成像,并將圖像傳遞給計算機處理。然后通過算法對圖像進行位置確認,以確定樣品的空間位置。之后,通過對樣品的光譜信息分析,實現(xiàn)對其成分的檢測。在點膠行業(yè)中,光譜共焦技術(shù)可以準確地檢測點膠的位置和尺寸,確保點膠的質(zhì)量和精度。同時,通過對點膠的光譜分析,可以了解到點膠的成分和性質(zhì),從而優(yōu)化點膠工藝 。該技術(shù)在點膠行業(yè)中的應用有以下幾個方面:提高點膠質(zhì)量,光譜共焦技術(shù)可以檢測點膠的位置和尺寸,避免漏點或點膠過多等問題。同時,由于其高精度的檢測能力,可以確保點膠的精確度和一致性。提高點膠效率,通過光譜共焦技術(shù)對點膠的檢測,可以減少后續(xù)處理的步驟和時間,從而提高生產(chǎn)效率。此外,該技術(shù)還可以避免因點膠不良而導致的返工和維修問題。優(yōu)化點膠工藝,通過對點膠的光譜分析,可以了解其成分和性質(zhì),從而針對不同的材料和需求優(yōu)化點膠工藝。例如,根據(jù)點膠的光譜特征選擇合適的膠水類型、粘合劑強度以及固化溫度等參數(shù)。
光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來的技術(shù),在測量過程中無需軸向掃描,直接由波長對應軸向距離信息,因此可以大幅提高測量速度?;诠庾V共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器,精度理論上可達到納米級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高,因此迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,大量應用于精密定位,薄膜厚度測量、微觀輪廓精密測量等領(lǐng)域。本文介紹了光譜共焦技術(shù)的原理,并列舉了光譜共焦傳感器在幾何量計量測試中的典型應用。同時,對共焦技術(shù)在未來精密測量的進一步應用進行了探討,并展望了其發(fā)展前景。光譜共焦技術(shù)可以在醫(yī)學診斷中發(fā)揮重要作用;
在塑料薄膜和透明材料薄厚測量方面,研究人員探討了光譜共焦傳感器在全透明平板電腦平整度測量中由于不同折射率引入的測量誤差并進行了補償,在機器視覺技術(shù)方面利用光譜共焦傳感器檢測透明材料的薄厚及弧形玻璃曲面的薄厚。在外表粗糙度測量方面,研究人員闡述了不同方式測量外表粗糙度的優(yōu)缺點,并選擇了基于光譜共焦傳感器的測量方式進行試驗,為外表粗糙度的高精密測量提供了一種新方法 。研究人員利用小二乘法計算校準誤差并進行了離散系統(tǒng)誤差測算,以減少光譜共焦傳感器校準后的誤差,并在不同精度標準器下探尋了光譜共焦傳感器的校準誤差變化情況,這對于今后光譜共焦傳感器的應用和科學研究具有重要意義。光譜共焦技術(shù)具有很大的市場潛力。高性能光譜共焦供應
光譜共焦位移傳感器可以用于材料的彈性模量、形變和破壞等參數(shù)的測量。高性能光譜共焦供應
光譜共焦傳感器可以提供結(jié)合高精度和高速的新現(xiàn)代技術(shù)。這些特性使這些多功能距離和位移傳感器非常適合工業(yè) 4.0 的高要求。在工業(yè) 4.0 的世界中,傳感器必須能夠進行高速測量并提供高精度結(jié)果,以確??煽康馁|(zhì)量保證。光學測量技術(shù)是非接觸式的,于目標材料分開和表面特性,因此它們對生產(chǎn)和檢測過程變得越來越重要。這是“實時”生產(chǎn)過程中的一個主要優(yōu)勢,在這種過程中,觸覺測量技術(shù)正在發(fā)揮其極限,尤其是當目標位于難以接近的區(qū)域時。光譜共焦傳感器提供突破性的技術(shù)、高精度和高速度。此外,共焦色差測量技術(shù)允許進行距離測量、透明材料的多層厚度測量、強度評估以及鉆孔和凹槽內(nèi)的測量。測量過程是無磨損的、非接觸式的,并且實際上與表面特性無關(guān)。由于測量光斑尺寸極小 ,即使是非常小的物體也能被檢測到。因此,共焦色度測量技術(shù)適用于在線質(zhì)量控制。高性能光譜共焦供應