分光器包括線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)。光學(xué)系統(tǒng)包括用于使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且所述光學(xué)系統(tǒng)向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進(jìn)行測量的多個光學(xué)頭。從光學(xué)頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發(fā)生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區(qū)域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區(qū)域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結(jié)果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數(shù)量的情況下,利用少量的組件來執(zhí)行多點測量光譜共焦技術(shù)消除了光學(xué)像差和色差的影響，提高了測量精度。杭州光電光譜共焦位移傳感器
Preferencyly，在本實施例中發(fā)光件設(shè)置有2個，在保證良好提示效果的前提下，采用更少的發(fā)光件以減少發(fā)熱對探頭的影響，發(fā)光件左右對稱布置在光源耦合器中，通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中，導(dǎo)光光纖也設(shè)置有2個，分別通過插槽3400與發(fā)光件連接，兩個導(dǎo)光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對稱設(shè)置，發(fā)光件發(fā)出的指示光能通過導(dǎo)光光纖的傳導(dǎo)，從各個方向射出，使用者能從各個角度觀察到探頭工作情況。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)通信光譜共焦位移傳感器哪個品牌好該傳感器可被應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量。
本實施例中通過采用可拆卸連接便于導(dǎo)光光纖的維護(hù)和更換。所述的發(fā)光件可設(shè)置為一個或多個，當(dāng)設(shè)置為一個時，導(dǎo)光光纖均傳遞一個發(fā)光件的光，這樣會導(dǎo)致傳遞到探頭殼體上的光較弱，從而導(dǎo)致光線的辨識度不高，因此本實施例中的所述發(fā)光件設(shè)置有多個，根據(jù)數(shù)量不同按照不同排列方式排列在光源耦合器中，所述的導(dǎo)光光纖設(shè)置有多個，發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的關(guān)系為一一對應(yīng)連接關(guān)系，多個導(dǎo)光光纖呈對稱分布或圓周陣列分布在探頭殼體的側(cè)壁上，這樣由導(dǎo)光光纖一一對應(yīng)傳遞發(fā)光件產(chǎn)生的光，使光從探頭殼體上發(fā)出后辨識度高。
本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束;多個光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束:以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點的位置光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)像差和色差的影響，提高測量精度。
本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接，探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體，用于對探頭內(nèi)的光學(xué)元件進(jìn)行安裝和支撐且對結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù)，易于想到的是，探頭殼體可設(shè)置為方形，多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設(shè)置有半透半反光學(xué)鏡，半透半反光學(xué)鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方；半透半反光學(xué)鏡對通過入射光纖傳導(dǎo)后的多色光實現(xiàn)一半透射而一半反射，而當(dāng)透射的光線經(jīng)過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學(xué)鏡上，半透半反光學(xué)鏡對反射光進(jìn)行一半透射，一半反射；該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測量。通信光譜共焦位移傳感器哪個品牌好
該傳感器可以與其他測量設(shè)備相結(jié)合，實現(xiàn)多參數(shù)的綜合測量。杭州光電光譜共焦位移傳感器
上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面，探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組，準(zhǔn)直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光源的準(zhǔn)直；色散聚焦鏡組設(shè)置在被測物體的一側(cè)，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散。光譜儀包括有機(jī)殼，固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進(jìn)行色散的棱鏡組，固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組，感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。杭州光電光譜共焦位移傳感器