新品光譜共焦位移傳感器找哪家

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-06-08

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀包括有機(jī)殼,固定設(shè)置在機(jī)殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進(jìn)行色散的棱鏡組,固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組,所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀還包括有用于對反射光進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整的準(zhǔn)直透鏡組,所述準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移,能夠達(dá)到亞微米級的高精度。新品光譜共焦位移傳感器找哪家

新品光譜共焦位移傳感器找哪家,光譜共焦位移傳感器

本實(shí)用新型目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)的技術(shù)方案,采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀對采集的光波進(jìn)行采集分析,測量精度高,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進(jìn)行測量。為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡、套筒和一個(gè)彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道位于限位槽和透光孔之間,光路通道上從左往右依次設(shè)置有兩個(gè)相互平行的number one卡槽和一個(gè)第二卡槽,兩個(gè)雙凸球面鏡分別限位在兩個(gè)number one卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi),Y型光纖通過SMA905插頭與盒體相連。沈陽光譜共焦位移傳感器該傳感器可應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量。

新品光譜共焦位移傳感器找哪家,光譜共焦位移傳感器

光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件,提示組件包括有:發(fā)光件,發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中;導(dǎo)光光纖,所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中,且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進(jìn)一步,入射光纖,接收光纖,導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套,所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。采用上述方案的有益效果是:本實(shí)用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器,通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源,多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;

易于想到的是,發(fā)光件還可設(shè)置為發(fā)射多色光,如當(dāng)被測物體放置在efficient測量區(qū)域但不是best位置時(shí),發(fā)光件發(fā)出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設(shè)置有導(dǎo)光光纖,導(dǎo)光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中,preference的連接方式為導(dǎo)光光纖的入光端正對發(fā)光件的發(fā)光面,探頭殼體上開設(shè)有插槽,導(dǎo)光光纖的另一端(出光端)通過插槽可拆卸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,導(dǎo)光光纖用于將光源耦合器中的發(fā)光件發(fā)出的光傳導(dǎo)到探頭殼體的側(cè)壁,從而實(shí)現(xiàn)提示光從探頭殼體的側(cè)壁上發(fā)出,當(dāng)手握探頭殼體進(jìn)行位置測量時(shí),方便人眼獲取探頭殼體上發(fā)出的指示光,通過指示光的不同顏色,從而判斷物體的擺放位置的狀態(tài)。光譜共焦位移傳感器是一種高精度的非接觸式位移傳感器。

新品光譜共焦位移傳感器找哪家,光譜共焦位移傳感器

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚、明確,以下參照附圖并舉實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例only用以解釋本實(shí)用新型,并不用于限定本實(shí)用新型。本實(shí)用新型提出一種光譜共焦位移傳感器,包括光源耦合器1000,所述光源耦合器1000包括有用于產(chǎn)生多色光的多色光光源1100;多色光光源1100可使用激光熒光系統(tǒng),也可使用LED燈發(fā)光照射熒光粉產(chǎn)生白光,還可以是LED燈直接產(chǎn)生白光,光源耦合器1000產(chǎn)生的光能可以適當(dāng)調(diào)節(jié),同時(shí)通過反饋控制實(shí)現(xiàn)光源耦合器1000產(chǎn)生持續(xù)的、亮度恒定不變的多色光,從而使光能量和測量更加穩(wěn)定;光源耦合部分設(shè)置有帶通濾光片1200,讓有效的多色光通過,對無效的紅外光和熱量進(jìn)行過濾,避免進(jìn)入其他部件而造成熱變形,因此,對整體系統(tǒng)的性能有改善作用。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、具有廣泛的應(yīng)用前景。湖州光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家

該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。新品光譜共焦位移傳感器找哪家

本實(shí)用新型的工作原理如下:1)鹵素?zé)艄庠窗l(fā)出的光,通過Y型光纖后,一端經(jīng)光譜共焦透鏡組后,照射到被測物體表面,經(jīng)過光譜共焦透鏡組后買不同波長的光產(chǎn)生光譜的色散。2)光源通過光譜共焦透鏡組后,照射到某一位置的被測物體,經(jīng)被測物體表面反射的某一波長的單色光,反向回到Y(jié)型光纖的另一端,單色光到達(dá)共焦小孔,由于小孔濾波的作用,only有被測物體表面反射的該波長單色光,通過共焦小孔后進(jìn)入光譜儀,采集光譜信息;并通過調(diào)整被測物體的位置,利用光譜儀來收集反射回來光的光譜信息。3)對采集到的光譜信息進(jìn)行光強(qiáng)的歸一化處理,并對原始的光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行去噪平滑等預(yù)處理后,擬合出一條符合平滑的曲線,然后采用高斯擬合的算法來進(jìn)行峰譜定位,高斯函數(shù)的峰值位置為其一階導(dǎo)數(shù)的零點(diǎn),可以認(rèn)為找到了高斯函數(shù)的一階導(dǎo)數(shù)零點(diǎn)就找到了高斯函數(shù)的峰譜位置。4)利用超精密的運(yùn)動(dòng)控制臺(tái),來標(biāo)定不同位置對應(yīng)的光譜譜峰值,找出一一對應(yīng)關(guān)系;標(biāo)定完成后,通過讀取軟件上峰譜值的大小,就可以測出被測物離光源的精確位置。以上only為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例,但本實(shí)用新型的技術(shù)特征并不局限于此。任何以本實(shí)用新型為基礎(chǔ),為實(shí)現(xiàn)基本相同的技術(shù)效果,所作出地簡單變化、等同替換或者修飾等。新品光譜共焦位移傳感器找哪家