進一步，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接； 半透半反光學(xué)鏡，半透半反光學(xué)鏡固定設(shè)置在入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，反光鏡固定設(shè)置在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上，反光鏡用于反射半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進一步，半透半反光學(xué)鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置，上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。它可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行精確測量，對于研究材料的變形行為具有重要意義。滄州光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦
本實用新型的工作原理如下:1)鹵素燈光源發(fā)出的光,通過Y型光纖后,一端經(jīng)光譜共焦透鏡組后,照射到被測物體表面,經(jīng)過光譜共焦透鏡組后買不同波長的光產(chǎn)生光譜的色散。2)光源通過光譜共焦透鏡組后,照射到某一位置的被測物體,經(jīng)被測物體表面反射的某一波長的單色光,反向回到Y(jié)型光纖的另一端,單色光到達共焦小孔,由于小孔濾波的作用,only有被測物體表面反射的該波長單色光,通過共焦小孔后進入光譜儀,采集光譜信息;并通過調(diào)整被測物體的位置,利用光譜儀來收集反射回來光的光譜信息。3)對采集到的光譜信息進行光強的歸一化處理,并對原始的光譜數(shù)據(jù)進行去噪平滑等預(yù)處理后,擬合出一條符合平滑的曲線,然后采用高斯擬合的算法來進行峰譜定位,高斯函數(shù)的峰值位置為其一階導(dǎo)數(shù)的零點,可以認為找到了高斯函數(shù)的一階導(dǎo)數(shù)零點就找到了高斯函數(shù)的峰譜位置。4)利用超精密的運動控制臺,來標定不同位置對應(yīng)的光譜譜峰值,找出一一對應(yīng)關(guān)系;標定完成后,通過讀取軟件上峰譜值的大小,就可以測出被測物離光源的精確位置。以上only為本實用新型的具體實施例,但本實用新型的技術(shù)特征并不局限于此。任何以本實用新型為基礎(chǔ),為實現(xiàn)基本相同的技術(shù)效果,所作出地簡單變化、等同替換或者修飾等。認可光譜共焦位移傳感器常用解決方案它可以測量物體的微小位移，精度可以達到亞微米級別。
在能夠以這種方式執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術(shù)。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學(xué)頭、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學(xué)頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處，并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光。
本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束;多個光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束:以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點的位置光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個領(lǐng)域。
本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件，光源耦合器作為單獨結(jié)構(gòu)與探頭殼體分開設(shè)置。提示組件包括在光源耦合器內(nèi)，通過卡扣可拆卸設(shè)置，用于產(chǎn)生提示光的發(fā)光件；發(fā)光件也可直接固定在光源耦合器內(nèi)。發(fā)光件為雙色LED燈，也可為其他可見光光源，當探頭操作正常且被測物體在有效測量區(qū)域時，由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號點亮發(fā)光件，發(fā)光件發(fā)出綠色光，提醒使用者操作正常，可以繼續(xù)操作。當探頭操作不正常或被測物體不在有效測量區(qū)域時，由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號點亮發(fā)光件，發(fā)光件發(fā)出紅光，提示使用者操作出現(xiàn)問題，需要更正。發(fā)光件發(fā)出不同顏色的光便于使用者了解探頭的使用情況，增加便利性。它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移，達到亞微米級的高精度。石家莊光譜共焦位移傳感器貨真價實
光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度和抗振動等優(yōu)點。滄州光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦
本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素燈光源、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖，光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組，光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔，光路通道上從左往右依次設(shè)置有較早卡槽和第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個較早卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi)。本實用新型采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組，具有較強的實用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。滄州光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦