硅片柵線的厚度測(cè)量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測(cè)量速度，以及±60°的測(cè)量角度，能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、...

開(kāi)展白光干涉理論分析 ，在此基礎(chǔ)詳細(xì)介紹了白光垂直掃描干涉技術(shù)和白光反射光譜技術(shù)的基本原理，完成了應(yīng)用于靶丸殼層折射率和厚度分布測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置的設(shè)計(jì)及搭建。該實(shí)驗(yàn)裝置主要由白光反射光譜探測(cè)模塊、靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊、三維運(yùn)動(dòng)模塊、氣浮隔震平臺(tái)等幾部分組成，可實(shí)現(xiàn)靶丸...

激光位移傳感器在精密制造行業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。如在汽車制造中，激光位移傳感器可以用于測(cè)量車身的變形和尺寸，確保汽車的質(zhì)量和安全性能。在航空航天制造中 ，激光位移傳感器可以用于測(cè)量航空器件的尺寸和變形，以及機(jī)翼的形狀和彎曲度。在微電子制造中，激光位移傳感器可以...

在激光三角法的光學(xué)成像系統(tǒng)中，像點(diǎn)移動(dòng)的位移是測(cè)量結(jié)果的依據(jù)，作為成像對(duì)象的激光斑點(diǎn)的尺寸對(duì)測(cè)量的精度有很大的影響。在一個(gè)衍射受限系統(tǒng)中，成像的焦深大小為：它是表征光斑能清晰地成像在探測(cè)器上的縱向范圍，一定的焦深范圍是激光三角測(cè)量傳感器實(shí)現(xiàn)精密測(cè)量的前提條件。...

激光位移傳感器在鋰電極片測(cè)厚行業(yè)應(yīng)用 。其采用的激光光點(diǎn)呈橢圓形，長(zhǎng)軸直徑遠(yuǎn)大于正負(fù)極材料顆粒，在測(cè)量時(shí)能起到厚度平均的作用，不會(huì)因?yàn)闃O片表面的顆粒太大導(dǎo)致測(cè)量過(guò)程中出現(xiàn)極小范圍內(nèi)的波峰和波谷 。因此，采用該激光位移傳感器做測(cè)厚儀用于測(cè)量鋰電池正負(fù)極極片厚度是...

激光位移傳感器具有同步功能，可以用于差動(dòng)測(cè)厚、測(cè)長(zhǎng)等，特別適用于工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)。激光位移傳感器以其的測(cè)量性能實(shí)現(xiàn)非接觸在線測(cè)量位移、三維尺寸、厚度、 表面輪廓、物體形變、振動(dòng)、液位、工件分揀和各種大型構(gòu)件如橋梁、飛機(jī)和艦船骨架、機(jī)床導(dǎo)軌的定位安裝、動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)重要...

在實(shí)踐中，光譜共焦位移傳感器可用于很多方面，如：利用獨(dú)特的光譜共焦測(cè)量原理，憑借一只探頭就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃等透明材料進(jìn)行精確的單向厚度測(cè)量。透明材料上表面及下表面都會(huì)形成不同波長(zhǎng)反射光，通過(guò)計(jì)算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監(jiān)控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝...

白光干涉在零光程差處 ，出現(xiàn)零級(jí)干涉條紋，隨著光程差的增加，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移，疊加的整體效果使條紋對(duì)比度下降。測(cè)量精度高，可以實(shí)現(xiàn)測(cè)量,采用白光干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)的抗干擾能力強(qiáng)，動(dòng)態(tài)范圍大，具有快速檢測(cè)和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn)。普...

光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用中，具有非常重要的作用。例如，在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片的位移，從而及時(shí)發(fā)現(xiàn)葉片的形變和振動(dòng)情況，保證發(fā)電機(jī)的正常運(yùn)行。此外，在新能源汽車領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于測(cè)量電池、電機(jī)等關(guān)鍵部...

隨后安裝在貼裝臺(tái)單元上的激光位移傳感器403檢測(cè)鍵合頭370上拾取的芯片的傾角，結(jié)合兩位移傳感器360和403的初始角度差值，利用調(diào)平機(jī)構(gòu)340對(duì)芯片做出與貼裝臺(tái)401上貼裝位間的平行調(diào)整；其調(diào)平的具體實(shí)現(xiàn)過(guò)程如下：音圈電機(jī)343動(dòng)作，從而實(shí)現(xiàn)音圈模組341產(chǎn)...

光譜共焦測(cè)量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的結(jié)合 。白色光源和光譜儀可以完成一個(gè)相對(duì)高度范圍的準(zhǔn)確測(cè)量。光譜共焦位移傳感器的準(zhǔn)確測(cè)量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下，產(chǎn)生一系列連續(xù)而不重合的可見(jiàn)光聚焦點(diǎn)。當(dāng)待測(cè)物體放置在檢測(cè)范圍內(nèi)時(shí)，只有一種光波長(zhǎng)能夠聚焦...

根據(jù)對(duì)光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析，可以得出理想的鏡頭應(yīng)具備以下性能：首先，產(chǎn)生較大的軸向色差，通常需要對(duì)鏡頭進(jìn)行消色差措施，而該傳感器需要利用色差進(jìn)行測(cè)量，需要將其擴(kuò)大化 ；其次，產(chǎn)生軸向色差后，焦點(diǎn)在軸上會(huì)因單色光的球差問(wèn)題而導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)的FWH...

光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器，因?yàn)槠錅y(cè)量精度高，對(duì)于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強(qiáng)的抵抗能力等特點(diǎn)，應(yīng)用前景十分大量。文章通過(guò)對(duì)原理的分析，設(shè)計(jì)了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃，采用正負(fù)透鏡組分離結(jié)構(gòu)組合形成鏡頭組，使用凹凸透鏡補(bǔ)...

與激光光源相比以白光的寬光譜光源由于具有短相干長(zhǎng)度的特點(diǎn)使得兩光束只有在光程差極小的情況下才能發(fā)生干涉因此不會(huì)產(chǎn)生干擾條紋 。同時(shí)由于白光干涉產(chǎn)生的干涉條紋具有明顯的零光程差位置避免了干涉級(jí)次不確定的問(wèn)題。本文以白光干涉原理為理論基礎(chǔ)對(duì)單層透明薄膜厚度測(cè)量尤其...

激光位移傳感器是一種應(yīng)用的非接觸式測(cè)量設(shè)備，其主要用于非標(biāo)檢測(cè)設(shè)備中。國(guó)內(nèi)所使用的激光測(cè)量?jī)x器幾乎完全依賴于國(guó)外進(jìn)口。該傳感器具有同步功能，可用于差動(dòng)測(cè)厚、測(cè)長(zhǎng)等 ，特別適用于工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)。激光位移傳感器具有的測(cè)量性能，可用于在線測(cè)量位移、三維尺寸、厚度、表...

激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用范圍很廣。在太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于對(duì)太陽(yáng)能電池板進(jìn)行高精度的位移測(cè)量，以確保電池板的穩(wěn)定性和可靠性。在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于對(duì)風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片的位移進(jìn)行測(cè)量，以確定葉片的形變和振動(dòng)情況，從而提...

光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分 。光源發(fā)出一束白光，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長(zhǎng)不同的單色光，通過(guò)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組 ，每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí)，樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去，這些反...

激光三角法測(cè)量原理可有效應(yīng)用于三維曲面的非接觸精密測(cè)量，測(cè)量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)處理結(jié)果直接關(guān)系到測(cè)量精度的提高，同時(shí)也與測(cè)量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、被測(cè)物體特性及環(huán)境條件等因素有關(guān) 。從激光三角法的測(cè)量機(jī)理出發(fā)，針對(duì)易拉罐罐蓋開(kāi)啟口壓痕殘余厚度測(cè)量中影響測(cè)量的關(guān)鍵問(wèn)題進(jìn)行分析和研究...

靶丸殼層折射率 、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變（ICF）物理實(shí)驗(yàn)中非常關(guān)鍵的參數(shù)，精密測(cè)量靶丸殼層折射率、厚度及其分布對(duì)ICF精密物理實(shí)驗(yàn)研究具有非常重要的意義。由于靶丸尺寸微?。▉喓撩琢考?jí)）、結(jié)構(gòu)特殊（球形結(jié)構(gòu)）、測(cè)量精度要求高，如何實(shí)現(xiàn)靶丸殼層折射率...

客戶一直使用潔凈室中的激光測(cè)量設(shè)備來(lái)檢查對(duì)齊情況，但每個(gè)組件的對(duì)齊檢查需要大約十分鐘，時(shí)間太長(zhǎng)了。因此，客戶要求我們開(kāi)發(fā)一種特殊用途的測(cè)試和組裝機(jī)器，以減少校準(zhǔn)檢查所需的時(shí)間?，F(xiàn)在，我們使用機(jī)器人搬運(yùn)系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動(dòng)裝配機(jī)中。為了避免由...

隨著科技的不斷發(fā)展，對(duì)微小位移的測(cè)量需求也越來(lái)越高。尤其是在納米科技領(lǐng)域，微小位移的測(cè)量對(duì)于研究物質(zhì)的性質(zhì)和行為至關(guān)重要。而激光位移傳感器作為一種高精度 、高靈敏度的位移測(cè)量工具 ，被應(yīng)用于微小位移的測(cè)量。在納米科技中，激光位移傳感器可以用于測(cè)量納米級(jí)別的位移...

物體的表面形貌可以基于距離的確定來(lái)進(jìn)行。光譜共焦傳感器還可用于測(cè)量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測(cè)量對(duì)象包含不同類型的材料（例如塑料和金屬）時(shí)，盡管距離值保持不變，但反射率會(huì)突出材料之間的差異。劃痕和不平整會(huì)影響反射度并變得更加直觀。在檢測(cè)到信號(hào)強(qiáng)度...

干涉法與分光光度法都是利用相干光形成等厚干涉條紋的原理來(lái)確定薄膜厚度和折射率 ，然而與薄膜自發(fā)產(chǎn)生的等傾干涉不同，干涉法是通過(guò)設(shè)置參考光路，形成與測(cè)量光路間的干涉條紋，因此其相位信息包含兩個(gè)部分，分別是由參考平面和測(cè)量平面間掃描高度引起的附加相位和由透明薄膜內(nèi)...

第三視覺(jué)定位包括分別布置在多自由度鍵合頭 300和貼裝臺(tái)單元401上的激光位移傳感器360、403，它們相互配合并用于對(duì)鍵合頭所拾取芯片和基板各自相對(duì)于XY平面的傾角進(jìn)行精確測(cè)量及定位；第四視覺(jué)定位系統(tǒng)包括布置在多自由度鍵合頭上并由相機(jī)351和平面鏡352共同...

干涉測(cè)量法[9-10]是基于光的干涉原理實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度測(cè)量的光學(xué)方法 ，是一種高精度的測(cè)量技術(shù)。采用光學(xué)干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)一般具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，穩(wěn)定性好，抗干擾能力強(qiáng)，使用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)于大多數(shù)的干涉測(cè)量任務(wù)，都是通過(guò)薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條...

表面粗糙度測(cè)量方法具體流程如下 :(1)待測(cè)工件定位。將待測(cè)工件平穩(wěn)置于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量平臺(tái)上，調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)紅寶石測(cè)針測(cè)量其空間位置和姿態(tài)，為按測(cè)量工藝要求確定測(cè)量位置提供數(shù)據(jù)。(2)輪廓掃描。測(cè)量機(jī)測(cè)量臂更換掛載光譜共焦傳感器的光學(xué)探頭，驅(qū)動(dòng)探頭運(yùn)動(dòng)至工件測(cè)量位置...

光譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)而被大量應(yīng)用于工業(yè)級(jí)測(cè)量。讓我們先來(lái)看一下光譜共焦技術(shù)的起源和光譜共焦技術(shù)在精密幾何量計(jì)量測(cè)試中的成熟典型應(yīng)用。共焦顯微術(shù)的概念首先是由美國(guó)的 Minsky 于 1955年提出, 其...

激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用范圍廣。在太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于對(duì)太陽(yáng)能電池板進(jìn)行高精度的位移測(cè)量，以確保電池板的穩(wěn)定性和可靠性。在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中，激光位移傳感器可以用于對(duì)風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片的位移進(jìn)行測(cè)量，以確定葉片的形變和振動(dòng)情況，從而提高...

高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測(cè)量精度 。它能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)的位移測(cè)量，對(duì)于晶圓表面微小變化的檢測(cè)具有極大的優(yōu)勢(shì)。在半導(dǎo)體行業(yè)中，晶圓的表面質(zhì)量對(duì)于芯片的制造具有至關(guān)重要的影響，因此需要一種能夠jing'q精確測(cè)量晶圓表面位移的傳感器來(lái)保證芯片的質(zhì)量。其次...

表面粗糙度測(cè)量方法具體流程如下 :(1)待測(cè)工件定位。將待測(cè)工件平穩(wěn)置于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量平臺(tái)上，調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)紅寶石測(cè)針測(cè)量其空間位置和姿態(tài)，為按測(cè)量工藝要求確定測(cè)量位置提供數(shù)據(jù)。(2)輪廓掃描。測(cè)量機(jī)測(cè)量臂更換掛載光譜共焦傳感器的光學(xué)探頭，驅(qū)動(dòng)探頭運(yùn)動(dòng)至工件測(cè)量位置...