采用激光三角法測(cè)量易拉罐罐蓋開(kāi)啟口壓痕的殘余厚度時(shí),要求不僅能測(cè)量生產(chǎn)線上易拉罐罐蓋開(kāi)啟口刻痕的殘余厚度,而且還要對(duì)易拉蓋模具的磨損情況進(jìn)行評(píng)估。此時(shí),激光三角法的測(cè)量精度除了會(huì)受到散斑的影響外,還會(huì)受到精細(xì)結(jié)構(gòu)對(duì)測(cè)量精度的影響。激光三角法測(cè)量的重要假定是發(fā)射...
白光干涉測(cè)量技術(shù),也稱為光學(xué)低相干干涉測(cè)量技術(shù),使用的是低相干的寬譜光源,如超輻射發(fā)光二極管、發(fā)光二極管等。與所有光學(xué)干涉原理一樣,白光干涉也是通過(guò)觀察干涉圖案變化來(lái)分析干涉光程差變化,并通過(guò)各種解調(diào)方案實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)物理量的測(cè)量。采用寬譜光源的優(yōu)點(diǎn)是,由于白光光...
白光干涉光譜分析是目前白光干涉測(cè)量的一個(gè)重要方向。此項(xiàng)技術(shù)通過(guò)使用光譜儀將對(duì)條紋的測(cè)量轉(zhuǎn)變?yōu)閷?duì)不同波長(zhǎng)光譜的測(cè)量,分析被測(cè)物體的光譜特性,得到相應(yīng)的長(zhǎng)度信息和形貌信息。與白光掃描干涉術(shù)相比,它不需要大量的掃描過(guò)程,因此提高了測(cè)量效率,并減小了環(huán)境對(duì)其影響。此項(xiàng)...
由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對(duì)系統(tǒng)的測(cè)量量程和精度的需求不盡相同,因而多種測(cè)量方法各有優(yōu)缺,難以一概而論。按照薄膜厚度的增加,適用的測(cè)量方式分別為橢圓偏振法、分光光度法、共聚焦法和干涉法。對(duì)于小于1μm的較薄薄膜,白光干涉輪廓儀的測(cè)量精度較低,分光光度法和橢圓偏振...
隨著機(jī)械加工水平的進(jìn)步,各種的微小的復(fù)雜工件都需要進(jìn)行精密尺寸測(cè)量與輪廓測(cè)量,例如:小工件內(nèi)壁溝槽尺寸、小圓倒角等的測(cè)量,對(duì)于某些精密光學(xué)元件可以進(jìn)行非接觸的輪廓形貌測(cè)量,避免在接觸測(cè)量時(shí)劃傷光學(xué)表面,解決了傳統(tǒng)傳感器很難解決的測(cè)量難題。一些精密光學(xué)元件也需要...
激光位移傳感器在手機(jī)組裝行業(yè)中也有著廣泛的應(yīng)用。在手機(jī)制造過(guò)程中,需要對(duì)各個(gè)組件進(jìn)行精確的測(cè)量,以確保其質(zhì)量和可靠性。其中,激光位移傳感器可以應(yīng)用于段差測(cè)量。通過(guò)將激光發(fā)射光束投射到被測(cè)組件表面,利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,從而獲...
光譜共焦測(cè)量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的融合。一個(gè)完整的相對(duì)高度范疇能夠通過(guò)使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測(cè)量。光譜共焦位移傳感器的精確測(cè)量原理如下圖1所顯示,燈源發(fā)出光經(jīng)過(guò)光纖,再通過(guò)超色差鏡片,超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上,產(chǎn)生一系列可見(jiàn)光聚焦點(diǎn)。...
隨著機(jī)械加工水平的不斷發(fā)展,各種微小而復(fù)雜的工件都需要進(jìn)行精確的尺寸和輪廓測(cè)量,例如測(cè)量小零件的內(nèi)壁凹槽尺寸和小圓角。為避免在接觸測(cè)量過(guò)程中刮傷光學(xué)表面,一些精密光學(xué)元件也需要進(jìn)行非接觸式的輪廓形貌測(cè)量。這些測(cè)量難題通常很難用傳統(tǒng)傳感器來(lái)解決,但可以使用光譜共...
此外,光斑尺寸還會(huì)受到激光束的發(fā)散角度、被測(cè)物體表面的反射率等因素的影響。為了減小這些因素對(duì)光斑尺寸的影響,可以采用一些方法進(jìn)行優(yōu)化。例如,可以采用透鏡或棱鏡對(duì)激光束進(jìn)行聚焦和調(diào)整,以控制光斑尺寸和形狀。此外,還可以采用適當(dāng)?shù)募す獠ㄩL(zhǎng)和功率,并合理選擇被測(cè)物體...
折射率分別為1.45和1.62的2塊玻璃板,使其一端相接觸,形成67的尖劈.將波長(zhǎng)為550nm的單色光垂直投射在劈上,并在上方觀察劈的干涉條紋,試求條紋間距。 我們可以分2種可能的情況來(lái)討論: 一般玻璃的厚度可估計(jì)為1mm的量級(jí),這個(gè)量級(jí)相對(duì)于...
靶丸內(nèi)表面輪廓是激光核聚變靶丸關(guān)鍵參數(shù)之一,需要進(jìn)行精密檢測(cè)。本文基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系,分析了靶丸內(nèi)表面輪廓測(cè)量的基本原理,并建立了相應(yīng)的白光共焦光譜測(cè)量方法。同時(shí),作者還搭建了靶丸內(nèi)表面輪廓測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置,并利用靶丸光學(xué)圖像的輔助調(diào)心方法,實(shí)現(xiàn)了靶丸...
無(wú)論是醫(yī)療設(shè)備、智能手機(jī)還是機(jī)床,幾乎每個(gè)電子設(shè)備內(nèi)部都有一塊PCB板。這些設(shè)備正被要求變得更高效、更小、更快,而開(kāi)發(fā)周期卻越來(lái)越短。這也意味著電路板必須通過(guò)使用高度集成的組件變得更加強(qiáng)大。除了不斷增長(zhǎng)的封裝密度之外,單個(gè)組件和開(kāi)關(guān)的小型化是滿足所需性能的關(guān)鍵...
隨著城市化進(jìn)程的加快和人口的增加,軌道交通已經(jīng)成為城市中不可或缺的一部分。軌道交通的安全和運(yùn)營(yíng)對(duì)于現(xiàn)代城市的運(yùn)轉(zhuǎn)至關(guān)重要。而激光位移傳感器的高精度和高靈敏度使其在軌道交通領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用,它能夠快速準(zhǔn)確地測(cè)量列車(chē)的位置和運(yùn)動(dòng)狀態(tài),為軌道交通的安全和運(yùn)營(yíng)提...
物體的表面形貌可以通過(guò)測(cè)量距離來(lái)確定,光譜共焦傳感器可以用于測(cè)量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測(cè)量對(duì)象包含不同類型的材料時(shí),盡管距離值保持不變,但反射率會(huì)突出材料之間的差異。劃痕和不平整會(huì)影響反射率并變得可見(jiàn)。系統(tǒng)會(huì)創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像,只...
近年來(lái),重型貨車(chē)及大型客車(chē)的發(fā)展對(duì)車(chē)橋的承載能力、輸出轉(zhuǎn)矩等能夠滿足嚴(yán)重超載的性能提出了更高的要求。減速器是驅(qū)動(dòng)車(chē)橋的重要部件。減速器殼總成中,對(duì)動(dòng)齒輪軸承孑L之間的同軸度精度要求是汽車(chē)穩(wěn)定運(yùn)行和齒輪正確嚙合的關(guān)鍵,因此對(duì)車(chē)橋減速器兩端軸承孔同軸度的研究有重要...
激光位移傳感器在軌道交通領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。它具有高精度和高靈敏度,在列車(chē)的位置和運(yùn)動(dòng)狀態(tài)監(jiān)測(cè)和控制方面發(fā)揮重要作用。激光位移傳感器可以實(shí)時(shí)測(cè)量列車(chē)的位置和運(yùn)動(dòng)狀態(tài),以及輪對(duì)的動(dòng)態(tài)測(cè)量,從而及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題并進(jìn)行維修,還可以用于列車(chē)的自動(dòng)導(dǎo)向系統(tǒng),提高列車(chē)的安全性...
差動(dòng)共焦拉曼光譜測(cè)試方法是一種通過(guò)激光激發(fā)樣品產(chǎn)生拉曼散射信號(hào),并利用差動(dòng)共焦顯微鏡提高空間分辨率、抑制激光背景和表面散射等干擾信號(hào)的非接觸式拉曼光譜測(cè)試方法。該方法將樣品放置于差動(dòng)共焦顯微鏡中,利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點(diǎn)對(duì)樣品進(jìn)行局部激發(fā),產(chǎn)生拉曼散...
本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測(cè)量方法,適用于一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測(cè)量要求。該方法利用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平臺(tái)對(duì)零件進(jìn)行輪廓掃描,并記錄測(cè)量掃描位置的空間橫坐標(biāo),然后根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系,將微觀高度信息和采樣點(diǎn)組合成...
位移傳感器測(cè)量頻率是指在一定時(shí)間內(nèi)測(cè)量到的位移次數(shù)。激光位移傳感器測(cè)量頻率的定義是單位時(shí)間內(nèi)測(cè)量到的位移次數(shù)。通常,激光位移傳感器的測(cè)量頻率與其采樣率相關(guān),采樣率越高,測(cè)量頻率越高。測(cè)量頻率是激光位移傳感器重要的性能參數(shù)之一,其測(cè)試方法主要包括兩種:一是...
在容器玻璃生產(chǎn)過(guò)程中,圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征,需要進(jìn)行檢查。任何有缺陷的容器都會(huì)被判定為不合格產(chǎn)品并返回到玻璃熔體中。為了實(shí)現(xiàn)快速的非接觸式測(cè)量,并確保不損壞瓶子,需要高處理速度。對(duì)于這種測(cè)量任務(wù),光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個(gè)點(diǎn)上同步測(cè)量并...
激光三角法原理激光三角法原理框圖如圖所示,由光源發(fā)出的一束激光照射在待測(cè)物體平面上,通過(guò)反射之后在檢測(cè)器上成像。當(dāng)物體表面的位置發(fā)生改變時(shí),其所成的像在檢測(cè)器上也發(fā)生相應(yīng)的位移。通過(guò)像移和實(shí)際位移之間的關(guān)系式,真實(shí)的物位移可以由對(duì)像移的檢測(cè)和計(jì)算得到,計(jì)算...
近年來(lái),重型貨車(chē)及大型客車(chē)的發(fā)展對(duì)車(chē)橋的承載能力、輸出轉(zhuǎn)矩等能夠滿足嚴(yán)重超載的性能提出了更高的要求。減速器是驅(qū)動(dòng)車(chē)橋的重要部件。減速器殼總成中,對(duì)動(dòng)齒輪軸承孑L之間的同軸度精度要求是汽車(chē)穩(wěn)定運(yùn)行和齒輪正確嚙合的關(guān)鍵,因此對(duì)車(chē)橋減速器兩端軸承孔同軸度的研究有重要...
玻璃基板是液晶顯示屏必須的部件之一,每個(gè)液晶屏需要兩個(gè)玻璃基板,用作底部基板和彩色濾光片底部的支撐基板。玻璃基板的質(zhì)量對(duì)面板的分辨率、透光度、厚度、凈重和可見(jiàn)角度等參數(shù)都有很大的影響。玻璃基板是液晶顯示屏中基本的構(gòu)件之一,其制備過(guò)程需要獲得非常平坦的表面。當(dāng)前...
隨著科技的不斷進(jìn)步,手機(jī)已經(jīng)成為我們?nèi)粘I钪胁豢苫蛉钡囊徊糠?。然而,隨著手機(jī)功能的不斷擴(kuò)展和提升,手機(jī)零部件的質(zhì)量和精度要求也越來(lái)越高。為了滿足這一需求,高精度光譜共焦傳感器被引入到手機(jī)零部件檢測(cè)中,為手機(jī)制造業(yè)提供了一種全新的解決方案。高精度光譜共焦傳感器...
隨著汽車(chē)行業(yè)的迅速發(fā)展,汽車(chē)零部件的加工質(zhì)量和精度要求也越來(lái)越高。為了滿足這一需求,高精度光譜共焦傳感器成為了一種可靠的解決方案。本文將探討高精度光譜共焦傳感器在汽車(chē)零部件加工方面的應(yīng)用,并提出相應(yīng)的解決方案。首先,高精度光譜共焦傳感器在汽車(chē)零部件加工中的應(yīng)用...
激光三角法測(cè)量原理可有效應(yīng)用于三維曲面的非接觸精密測(cè)量,測(cè)量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)處理結(jié)果直接關(guān)系到測(cè)量精度的提高,同時(shí)也與測(cè)量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、被測(cè)物體特性及環(huán)境條件等因素有關(guān)。從激光三角法的測(cè)量機(jī)理出發(fā),針對(duì)易拉罐罐蓋開(kāi)啟口壓痕殘余厚度測(cè)量中影響測(cè)量的關(guān)鍵問(wèn)題進(jìn)行分析和研...
本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測(cè)量方法,適用于一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測(cè)量要求。該方法利用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平臺(tái)對(duì)零件進(jìn)行輪廓掃描,并記錄測(cè)量掃描位置的空間橫坐標(biāo),然后根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系,將微觀高度信息和采樣點(diǎn)組合成...
本文溫所研究的鍺膜厚度約300nm,導(dǎo)致其白光干涉輸出光譜只有一個(gè)干涉峰,此時(shí)常規(guī)基于相鄰干涉峰間距解調(diào)的方案(如峰峰值法等)將不再適用。為此,我們提出了一種基于單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的白光干涉測(cè)量方案,并設(shè)計(jì)搭建了膜厚測(cè)量系統(tǒng)。溫度測(cè)量實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,峰值波長(zhǎng)與溫度變...
高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測(cè)量精度。它能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)的位移測(cè)量,對(duì)于晶圓表面微小變化的檢測(cè)具有極大的優(yōu)勢(shì)。在半導(dǎo)體行業(yè)中,晶圓的表面質(zhì)量對(duì)于芯片的制造具有至關(guān)重要的影響,因此需要一種能夠jing'q精確測(cè)量晶圓表面位移的傳感器來(lái)保證芯片的質(zhì)量。其次,...
高像素傳感器的設(shè)計(jì)取決于對(duì)焦水平和圖像室內(nèi)空間NA的要求。同時(shí),在光譜共焦位移傳感器中,屏幕分辨率通常采用全半寬來(lái)進(jìn)行精確測(cè)量。高NA可以降低半寬,提高分辨率。因此,在設(shè)計(jì)超色差攝像鏡頭時(shí),需要盡可能提高NA。高圖像室內(nèi)空間NA可以提高傳感器系統(tǒng)的燈源使用率,...