B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用,因為自凈性能與受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例(換氣次數(shù))、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關,而單向流系統(tǒng)中,污染被受控氣流置換,自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應在設施處于空態(tài)或靜態(tài)時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室(區(qū))不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠,應防止氣溶膠對設施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100:1自凈時間或潔凈度恢復率。100:1自凈時間的定義:粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100:1自凈時間檢測是優(yōu)先方法。潔凈恢復率的定義:粒子濃度隨時間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標表示濃度,為對數(shù)刻度;橫座標表示濃度,為線性刻度)。潔凈室(區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。浙江風速潔凈室檢測價格
5.3.9空氣潔凈度等級要求較高的潔凈室,其墻板和頂棚宜采用輕質壁板構造。輕質壁板連接構造的整體性和氣密性是很重要的,整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外,還靠上下馬槽和板之間的嚴密結合,使?jié)崈羰倚纬梢粋€完整的匣體。板壁之間的接縫應以硅橡膠等密封材料嵌縫密封,它的作用是防止灰塵在停機時從此進人室內(nèi),同時使?jié)崈羰以谡9ぷ鲿r易于保持正壓,減少能量的損耗。此外,潔凈室的關鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙,一定要***密封。目前國內(nèi)使用的密封方法很多,如液槽密封、機械壓墊密封等,但必須做到涂抹或填嵌方便,操作簡單,而且還要考慮更換高效過濾器時方便拆裝??傊瑳]有經(jīng)過高效過濾器過濾的空氣***不允許直接進入潔凈室內(nèi)。潔凈室頂棚用輕質壁板應具有一定的承重能力,以便施工、運行時人員行走。安徽靜電潔凈室檢測標準管道系統(tǒng)應設必需的吹除口、放凈口和取樣口。
D.3.2靜壓差測試,應符合下列規(guī)定:1靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時,應從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,并應按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試,應符合下列規(guī)定:1儀器應使用采樣量大于11/mn的光學粒子計數(shù)器。2應在過濾器上風側引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,粒子濃度應大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風側應用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應以5~20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。
D.3.7噪聲檢測,應符合下列規(guī)定:1潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。2潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測點應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1~1.5m,距墻應大于3m;檢測點的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分,宜每100m2設一檢測點。D.3.8照度測試,應符合下列規(guī)定:1潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。2照度檢測應在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進行。潔凈室(區(qū))照度檢測不應包括生產(chǎn)設備等的局部照明和備用照明。3照度檢測點應設在工作高度,宜距地面0.85m,應每25m2設一個測點。中效或高中效空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段。
C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確,使用過程中無滲漏發(fā)生,不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談,過濾器出廠前應經(jīng)過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設施潔凈狀況的滲漏;確認過濾系統(tǒng)下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,在過濾器的上風向注入氣溶膠,在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行,且該項檢測是在新建潔凈室調試時,或現(xiàn)有設施需要再檢測時,或更換了末端過濾器之后進行。工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。上海潔凈室檢測范圍
不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。浙江風速潔凈室檢測價格
8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應根據(jù)各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定,宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設置的給水系統(tǒng)。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時,應根據(jù)化學品的物理化學性能和人身安全的要求,設置緊急淋浴器和洗眼器,其給水管道應環(huán)形敷設布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇,應符合下列要求:1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用,應滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求;2埋地管道應耐腐蝕,并應具有承受相應地面荷載的能力;3生產(chǎn)設備循環(huán)冷卻水給水和回水管道,應按生產(chǎn)工藝和水質要求,采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等,不宜采用焊接鋼管;4閥門及附件應采用與管材相同的材質。浙江風速潔凈室檢測價格