半導(dǎo)體超精密半導(dǎo)體元件

微泰真空卡盤精密的半導(dǎo)體晶圓真空吸盤是半導(dǎo)體制造設(shè)備的關(guān)鍵部件，可確保晶圓表面的平坦度和平行度，從而在半導(dǎo)體制造過程中安全地固定晶圓，使各種制造過程順利進(jìn)行。微泰使無氧銅、鋁、SUS 材料的半導(dǎo)體晶圓真空吸盤的平坦度保持在 3 微米以下；支持 6 英寸、 8 英寸和 12 英寸尺寸的晶圓加工；支持 2 層和 3 層的高級(jí)加工技術(shù)。 提供 4 層連接。尺寸： 6 英寸， 8 英寸.12 英寸。材料: AL6061, AL7075, SUS304, SUS316OFHC(Oxygen free High Conductivity Copper) 平面度公差：小于 3 um 連接: 2floor, 3floor, 4floor 表面處理: Anodizing, Electroless Nickel Plating,Gold Plating, Mirror Polishing。無氧銅 (OFHC) 半導(dǎo)體晶圓真空卡盤，無氧銅 (OFHC) 材料可延長晶圓卡盤的使用壽命，并可MAX限度地減少雜質(zhì)進(jìn)入半導(dǎo)體材料，從而防止?jié)撛谖廴?，而且易于加工和成型，可精確匹配卡盤設(shè)計(jì)。 可加工 。 然而，這種材料的加工要求極高，需要特別小心和精確才能獲得光滑的表面光潔度，例如翹曲或毛刺、易變形和加工過程中的硬化。激光超精密加工具有切割縫細(xì)小的特點(diǎn)。激光切割的割縫一般在0.1-0.2mm。半導(dǎo)體超精密半導(dǎo)體元件

微泰利用激光制造和供應(yīng)精密切割產(chǎn)品。在 MLCC 印刷過程中，如果需要對(duì)精密面罩板或復(fù)雜形狀的產(chǎn)品進(jìn)行精確的切割，則通常的激光切割供應(yīng)商會(huì)遇到難以處理的難題。 然而，微泰擁有激光加工技術(shù)，能夠進(jìn)行精密切割加工，并生產(chǎn)和提供高質(zhì)量的激光切割產(chǎn)品，滿足客戶的需求。應(yīng)用于MLCC掩模板 陣列遮罩板 ，測包機(jī)分度盤。各種MLCC設(shè)備精密零件。掩蔽夾具：在MLCC制造過程中進(jìn)行濺射涂層；在凹槽寬度公差 (+0.01) 范圍內(nèi)進(jìn)行加工、去毛刺同時(shí)需要平面度；微泰使用超精密激光設(shè)備，超高速加工MLCC掩模板 陣列遮罩板半導(dǎo)體加工超精密顆粒面膜板超快激光采用的超短脈沖激光是利用場效應(yīng)進(jìn)行加工，不僅可以達(dá)到更高的精度，并且不會(huì)對(duì)材料表面造成損傷。

刀片/刀具/（BLADE / CUTTER/ KNIFE）微泰生產(chǎn)和供應(yīng)用于 MLCC 的各種工業(yè)刀具，包括垂直刀片、刀輪刀具、修剪刀片和鏡頭刀具。 我們擁有制造刀片的自主技術(shù)，并擁有使用飛秒激光的切割機(jī)邊緣校正技術(shù)，飛秒激光拋光技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了無比鋒利和提高使用壽命。刀鋒（刀刃）的無凹痕、無缺陷的邊緣。通過自動(dòng)化檢測設(shè)備進(jìn)行管理，并以很高水平的光照度和直度進(jìn)行管理。應(yīng)用MLCC切割，相機(jī)模塊+垂直刀片，刀輪切割器，鏡頭澆注口修整刀片、透鏡切割器。特別是塑料鏡頭澆注口切割刀片占韓國市場90%以上。

微泰，采用先進(jìn)的飛秒激光的高速螺旋鉆削自主技術(shù)，進(jìn)行半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需的各種形狀的微孔加工，MIN可做到5微米的微孔，公差可做到±2微米，孔距可做到0.3微米。還可以進(jìn)行MAX10度角的倒錐孔和各種幾何形狀的微孔，飛秒激光利用相對(duì)較短的激光脈沖，熱損傷很小，加工對(duì)象沒有物性變形層，表面平整，實(shí)現(xiàn)超精密微孔加工。MLCC 層壓的真空板相同區(qū)域內(nèi)可加工不規(guī)則位置的孔；可以混合加工不規(guī)則尺寸，孔間距可達(dá) 0.3 μm ；可加工多達(dá) 800,000 個(gè)孔，用于MLCC印刷吸膜板，MLCC疊層吸膜板，吸附板。通常，按加工精度劃分，機(jī)械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個(gè)階段。

飛秒激光利用相對(duì)較短的激光脈沖，熱損傷很小，加工對(duì)象沒有物性變形層，表面平整，可以實(shí)現(xiàn)超精密微孔加工。微泰 利用先進(jìn)的飛秒激光高速螺旋鉆削技術(shù)，用掃描儀，可以在任何位置自由調(diào)整聚焦點(diǎn)，還可以調(diào)節(jié)激光束的入射角，從而實(shí)現(xiàn)錐度、直錐度可以進(jìn)行倒錐度等，所需的微孔的幾何加工。本系統(tǒng)通過調(diào)整入射角和焦距，可以進(jìn)行產(chǎn)業(yè)所需的各種形狀的加工，可以進(jìn)行5um到200um的精密孔加工。此外，還可以進(jìn)行MAX10度角的倒錐孔和三維加工。激光加工完成后，用微孔檢測系統(tǒng)，將載入相應(yīng)的坐標(biāo)信息。通過視覺掃描，確認(rèn)每個(gè)微孔的大小和位置信息，并將其識(shí)別合格還是不合格。收集完成后，按下返工按鈕即可進(jìn)行再加工。本技術(shù)適用于，需要超精密加工的半導(dǎo)體制造設(shè)備零件、醫(yī)療領(lǐng)域設(shè)備及器材配件，各種傳感器相關(guān)配件，適用于光學(xué)相關(guān)設(shè)備和零件的精密加工領(lǐng)域。特別是用于MLCC制造中的薄膜片疊層用真空板微孔加工。有微孔加工需求，超精密加工需求，請(qǐng)聯(lián)系！激光束可以聚焦到很小的尺寸，因而特別適合于超精密加工。激光精密加工質(zhì)量的影響因素少，加工精度高。半導(dǎo)體加工超精密顆粒面膜板

超精密激光加工是先進(jìn)的加工技術(shù)，它利用高效激光對(duì)材料進(jìn)行雕刻和切割，主要的設(shè)備包括電腦和激光切割機(jī)。半導(dǎo)體超精密半導(dǎo)體元件

微泰利用飛秒激光螺旋鉆孔技術(shù)生產(chǎn)各種精密零部件，使用激光進(jìn)行微孔加工（可加工至Φ0.01mm）·可以改變微孔形狀（圓形、橢圓形、方形）·激光加工不同于一般鉆孔，因此孔位置始終保持不變，因?yàn)榭资窃跓崽幚砗蠹庸さ摹＜{秒紅外激光器環(huán)鉆系統(tǒng)–功率：50W,脈沖能量：100uJ，頻率：100Hz飛秒綠光激光器先進(jìn)的螺旋鉆孔系統(tǒng)–功率：5W,脈沖能量：13uJ，頻率：100Hz·孔徑至少為20μm·能夠加工MAX0.3?孔距·MLCC貼合真空板·能夠處理多達(dá)800,000個(gè)孔·各種形狀的洞·同一截面的不規(guī)則孔·可混合加工不規(guī)則尺寸。利用先進(jìn)的飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨(dú)有ELID（電解在線砂輪修正技術(shù)），飛秒激光拋光技術(shù)，生產(chǎn)各種超精密零部件。用于半導(dǎo)體加工真空板薄膜真空板倒裝芯片工藝真空塊MLCC貼合用真空板薄膜芯片粘接工具，鏡頭模組組裝治具。用自主自主技術(shù)，飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)，加工出來的微孔不同于連續(xù)波激光，納秒激光，皮秒激光加工出來的微孔，平整，熱變形和物理變形很小，可以做到，1.孔徑至少為20微米 ；2.能夠加工MAX0.3微米孔距；3.MLCC貼合真空板4.在一塊真空板上，能夠處理多達(dá)八十萬個(gè)孔；5.各種形狀的孔；6.同一截面的不規(guī)則孔；7.可混合加工不規(guī)則尺寸的孔半導(dǎo)體超精密半導(dǎo)體元件