江蘇多弧離子鍍膜機真空鍍膜設備設備廠家

來源: 發(fā)布時間:2024-10-13

所描述的實施例寶來利寶來利是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。請參閱圖1-5,本實用新型提供一種技術方案:一種高分子等離子表面真空鍍膜設備,包括腔體1、基板2和坩堝3,腔體1內壁底部的兩側分別固定連接有加熱器和冷凝器,坩堝3放置在加熱板14的頂部,腔體1左側的底部固定連接有抽風機21,并且抽風機21進風口的一端連通有風管22,風管22遠離抽風機21的一端貫穿腔體1并延伸至腔體1的內部,腔體1左側的頂部固定連接有電機16,電機16通過導線與控制開關及外部電源連接,并且電機16輸出軸的一端固定連接有雙向螺紋桿17,雙向螺紋桿17表面的兩側且位于腔體1的內部均螺紋連接有活動塊18,兩個活動塊18的底部均固定連接有限位板19,兩個限位板19相對的一側均開設有與基板2相適配的限位槽,并且兩個活動塊18的頂部均通過第二滑軌20與腔體1內壁的頂部滑動連接,雙向螺紋桿17遠離電機16的一端貫穿腔體1并延伸至腔體1的內部,雙向螺紋桿17位于腔體1內部的一端與腔體1內壁的右側通過軸承轉動連接,腔體1底部的四角均固定連接有支撐腿4。 寶來利真空鍍膜設備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,功能鍍膜,有需要可以咨詢!江蘇多弧離子鍍膜機真空鍍膜設備設備廠家

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本實用新型涉及真空設備領域,尤其涉及一種真空反應腔室和真空鍍膜設備。背景技術:目前,真空設備,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等離子體增強化學氣相沉積)和pvd(physicalvaporde****ition,物寶來利相沉積)設備已被廣泛應用于各種產品的生產過程中,如光伏電池、半導體器件等等。真空設備中(如pecvd設備、pvd設備)的寶來利真空反應室通常為單個反應腔室,傳動部件和升降部件等機械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設置于該單個反應腔室內,這就造成反應腔室內的工藝環(huán)境不夠封閉,容易造成工藝環(huán)境污染。另外,設置單個反應腔室時,由于工藝反應區(qū)域較大,容易造成工藝所需原料的浪費,同時,還會造成工藝反應過程中溫度波動大,不可控因素較多,從而影響工藝過程。技術實現(xiàn)要素:本實用新型的寶來利真空目的在于提供一種真空反應腔室,以解決現(xiàn)有真空設備中由于只設置一個反應腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費、環(huán)境溫度可控性低等問題。本實用新型的第二目的在于提供一種包含本實用新型真空反應腔室的真空鍍膜設備。為達到上述目的,本實用新型采用的技術方案如下:一種真空反應腔室,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體。 上海反射膜真空鍍膜設備規(guī)格寶來利飛機葉片真空鍍膜設備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,細膩有光澤,有需要可以來咨詢!

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所述頂蓋遠離所述鍍膜機一側設有動觸點;所述第二連接套內側壁上設有靜觸點,所述靜觸點位于所述寶來利真空凹槽與所述抽氣管之間;所述動觸點與外部電源電性連接;所述靜觸點與氣缸電性連接。進一步地,所述鍍膜機靠近所述出氣管的側壁上設有開關及換向器;所述開關分別與所述換向器及所述真空泵電性連接;所述換向器與所述電磁鐵電性連接。進一步地,所述頂蓋側壁上設有凹孔。本實用新型的有益效果在于:通過設置電磁鐵與磁片,在進行鍍膜機內真空抽氣時,按下開關,電磁鐵通電產生與磁鐵相同的磁極,利用磁鐵的原理,配合負壓的作用,打開頂蓋,使得氣體從抽氣管排出,隨后反方向按下開關,電磁鐵在換向器的作用下改變電流方向,磁極改變,與磁片的磁極相反,在彈簧的推動下,頂蓋緊緊蓋在出氣管口上,密封性良好,防止鍍膜機內真空環(huán)境發(fā)生變化,保證鍍膜過程的正常進行。附圖說明為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案,下面將結合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明,下面描述中的附圖真空鍍膜設備真空鍍膜設備是本實用新型的部分實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下。

然后將基板2推入兩個限位板10之間的限位槽內,并關閉密封門5,打開抽風機21,將腔體1內的空氣抽出,通過控制面板使加熱器工作通過加熱板14加熱坩堝3進行鍍膜,鍍膜完成后,使寶來利真空伸縮桿10工作,帶動活動板9運動,使坩堝3運動至防護框7內,然后第二伸縮桿11工作,推動寶來利真空密封蓋12和第二密封該13發(fā)生運動,使防護框7密封,然后即可打開密封門5將基板取出或換面繼續(xù)覆膜。需要說明的是,在本文中,諸如寶來利真空和第二等之類的關系術語寶來利寶來利用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來,而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關系或者順序。而且,術語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設備不寶來利包括那些要素,而且還包括沒有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設備所固有的要素。盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例,對于本領域的普通技術人員而言,可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型,本實用新型的范圍由所附權利要求及其等同物限定。 寶來利監(jiān)控探頭真空鍍膜設備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,細膩有光澤,有需要可以來咨詢!

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在操作真空鍍膜機時,確保安全是至關重要的。以下是一些在操作真空鍍膜機過程中需要注意的關鍵安全事項:設備啟動與關閉:在開啟真空鍍膜機之前,應確保所有安全防護裝置完好無損且處于正常工作狀態(tài)。啟動后,應密切關注設備運行狀態(tài),如有異常應立即停機處理。操作結束后,務必按照規(guī)定的程序關閉真空鍍膜機,包括切斷電源、水源等。真空環(huán)境操作:真空鍍膜機通常在真空環(huán)境下工作,因此操作時應避免在設備運行時打開或拆卸設備部件,以防止真空環(huán)境被破壞或有毒有害氣體泄漏。同時,要確保真空室的密封性良好,防止外界雜質進入。高溫與高壓:鍍膜過程中可能會涉及高溫和高壓操作,因此操作人員必須嚴格遵守操作規(guī)程,不得隨意調整溫度和壓力。同時,要保持與加熱元件和高壓部件的安全距離,防止燙傷和壓傷。寶來利真空鍍膜設備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,細膩有光澤,有需要可以來考察合作!江蘇ITO真空鍍膜設備供應商家

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