蕪湖鋁鉬鋁蝕刻液剝離液

本發(fā)明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液。背景技術(shù)：：印刷布線板的制造、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中，伴隨微細(xì)布線化而使用胺系的剝離液。然而，以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難、海外的法規(guī)制度的問題，而避免其使用。近年來，為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點(diǎn)，還報(bào)道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻(xiàn)1)，由于剝離時(shí)的抗蝕劑沒有微細(xì)地粉碎，因此存在近年的微細(xì)的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點(diǎn)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開2002-323776號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的問題因此，本發(fā)明的課題在于，提供容易除去微細(xì)的布線間的抗蝕劑的技術(shù)。用于解決問題的手段本發(fā)明人等為了解決上述課題而深入研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻(xiàn)1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比，即使是非常微細(xì)的布線間的抗蝕劑也能細(xì)小地粉碎，從而完成本發(fā)明。即，本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液，其特征在于，含有鉀鹽和溶纖劑。另外，本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的除去方法，其特征在于，用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材。剝離液公司的聯(lián)系方式。蕪湖鋁鉬鋁蝕刻液剝離液

    閥門開關(guān)60設(shè)置在每一子管道301上。在一些實(shí)施例中，閥門開關(guān)60設(shè)置在每一子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實(shí)施例中，閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第二子管道502上。具體的，閥門開關(guān)60的設(shè)置位置可以設(shè)置在連接過濾器30的任意管道上，在此不做贅述。在一些實(shí)施例中，請(qǐng)參閱圖4，圖4為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。第二管道50包括多個(gè)第三子管道503，每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301，且每一所述第三子管道503與所述下一級(jí)腔室連通102。其中，閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第三子管道503上。本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)，包括：依次順序排列的多級(jí)腔室、每一級(jí)所述腔室對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱；過濾器，所述過濾器的一端設(shè)置通過管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接，所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級(jí)腔室連接；其中，至少在管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)。通過閥門開關(guān)控制連接每一級(jí)腔室的過濾器相互獨(dú)立，從而在過濾器被阻塞時(shí)通過閥門開關(guān)將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進(jìn)程，提高生產(chǎn)效率。本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法，請(qǐng)參閱圖5，圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖。無錫京東方用的蝕刻液剝離液銷售電話晶圓制造用剝離液的生產(chǎn)企業(yè)有哪些；

    在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的種結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式目前剝離液機(jī)臺(tái)在工作時(shí)，如果過濾剝離光阻時(shí)產(chǎn)生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞，則需要?jiǎng)冸x液機(jī)臺(tái)內(nèi)的所有工作單元，待被阻塞的過濾器被清理后，才能重新進(jìn)行剝離制程，使得機(jī)臺(tái)需頻繁停線以更換過濾器，極大的降低了生產(chǎn)效率。請(qǐng)參閱圖1，圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的過濾液機(jī)臺(tái)100的種結(jié)構(gòu)示意圖。本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái)100，包括：依次順序排列的多級(jí)腔室10、每一級(jí)所述腔室10對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱20；過濾器30，所述過濾器30的一端設(shè)置通過管道40與當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接，所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級(jí)腔室102連接；其中，至少在管道40或所述第二管道50上設(shè)置有閥門開關(guān)60。

    形成帶有沉淀物的固液混合物，打開一級(jí)過濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥18，固液混合物進(jìn)入一級(jí)過濾罐16的過濾筒中，先由一級(jí)過濾罐16的過濾筒過濾得到一級(jí)線性酚醛樹脂，濾液由提升泵6送往攪拌釜的循環(huán)料口7，往復(fù)3次數(shù)后，一級(jí)線性酚醛樹脂回收完成，關(guān)閉一級(jí)過濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥18，利用提升泵6將一級(jí)過濾罐16中濾液抽取到攪拌釜10內(nèi)備用；2、向攪拌釜10中輸入酸性溶液，與前述濾液充分?jǐn)嚢杌旌显俅挝龀龀恋砦铮炊?jí)線性酚醛樹脂，利用ph計(jì)檢測溶液ph值，當(dāng)達(dá)到5-7范圍內(nèi)即可，打開二級(jí)過濾罐13進(jìn)料管路上的電磁閥17，帶有沉淀物的混合液進(jìn)入二級(jí)過濾罐13中，由其中的過濾筒過濾得到二級(jí)線性酚醛樹脂，廢液二級(jí)過濾罐底部的廢液出口20流出，送往剝離成分處理系統(tǒng)。上述過濾得到的一級(jí)線性酚醛樹脂可用于光刻膠產(chǎn)品的原料，而二級(jí)線性酚醛樹脂可用于其他場合。京東方用的哪家的剝離液？

    但現(xiàn)有的回收裝置普遍存在如下問題：剝離廢液利用水洗裝置水洗過濾出光刻膠樹脂成分，回收率低。為了解決這一問題，現(xiàn)有技術(shù)通常再向剝離廢液中加入沉淀劑繼續(xù)反應(yīng)，而后沉淀過濾出光刻膠樹脂成分，但所得到的光刻膠樹脂成分品質(zhì)不宜再用于光刻膠原料，只能用于其他要求較低的樹脂需求場所。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本實(shí)用新型的目的是為了提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)置更為合理、使用方便可靠的光刻膠廢剝離液回收裝置，從根本上解決現(xiàn)有回收裝置回收率低的問題，同時(shí)分級(jí)回收輸出線性酚醛樹脂成分，分級(jí)儲(chǔ)存，以用于不同場合，物盡其用。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種光刻膠廢剝離液回收裝置，包括攪拌釜和與攪拌釜連通的過濾罐，攪拌釜頂部設(shè)有廢剝離液投料口，其技術(shù)要點(diǎn)是：所述過濾罐的數(shù)量為兩個(gè)，由一級(jí)過濾罐和二級(jí)過濾罐組成，所述一級(jí)過濾罐和二級(jí)過濾罐在垂直方向上位于攪拌釜下方，一級(jí)過濾罐和二級(jí)過濾罐的進(jìn)料管路分別與攪拌釜底部連通，且進(jìn)料管路上分別設(shè)有電磁閥，所述一級(jí)過濾罐的底部出液口連接有提升泵，所述提升泵的出料管路末端與攪拌釜頂部的循環(huán)料口連通，所述攪拌釜頂部另設(shè)有功能切換口。剝離液適用于哪些行業(yè)。南通鋁鉬鋁蝕刻液剝離液推薦貨源

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    本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種剝離液機(jī)臺(tái)及其工作方法。背景技術(shù)：剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減，lift-off先形成光阻并圖案化，再在光阻上成膜，移除光阻的同時(shí)，沉積在光阻上的膜層也被剝離，從而完成膜層的圖形化，通過該制程可以實(shí)現(xiàn)兩次光刻合并為一次以達(dá)到光罩縮減的目的。現(xiàn)有技術(shù)中，由于光阻上沉積了薄膜(該薄膜材料可以為金屬，ito(氧化銦錫)等用于制備tft的膜層)，在剝離光阻的同時(shí)薄膜碎屑被帶入剝離液(stripper)中，大量的薄膜碎屑將會(huì)導(dǎo)致剝離液機(jī)臺(tái)中的過濾器(filter)堵塞，從而導(dǎo)致機(jī)臺(tái)無法使用，并且需要停止所有剝離液機(jī)臺(tái)的工作，待將filter清理后再次啟動(dòng)，降低了生產(chǎn)效率。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái)及其工作方法，可以提高生產(chǎn)效率。本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái)，包括：依次順序排列的多級(jí)腔室、每一級(jí)所述腔室對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱；過濾器，所述過濾器的一端設(shè)置通過管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接，所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級(jí)腔室連接；其中，至少在所述管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)。在一些實(shí)施例中。蕪湖鋁鉬鋁蝕刻液剝離液