池州市面上哪家減薄用清洗劑供應

來源: 發(fā)布時間:2024-04-01

    故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標厚度的公差范圍時,可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3,并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經歷減薄處理,以將玻璃處理為目標厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經歷減薄處理的玻璃厚度,可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比,可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈,從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測量儀的檢測數(shù)據(jù)判斷是否需再次進入所述腔室31。具體的,當所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內,可判斷所述主厚度測量儀32失靈;在當后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標厚度時,可判斷所述主厚度測量儀32非暫時失靈,所述控制器警報提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內,而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出,并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產線的具體工藝流程為:s1,將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉換區(qū)1內,經所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉移至所述蝕刻區(qū)3,所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經歷減薄處理;具體的,在所述蝕刻區(qū)3中進行減薄處理期間。減薄清洗劑,采用獨特工藝,輕松去除頑固涂層。池州市面上哪家減薄用清洗劑供應

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    經減薄處理后的玻璃可再次進入所述沖洗區(qū)2以經歷減薄后清潔并且通過所述轉換區(qū)1被卸載到外部;所述玻璃減薄設備還設置有制動組件,通過所述制動組件實現(xiàn)所述玻璃加工治具4從所述轉換區(qū)1經所述沖洗區(qū)2向所述蝕刻區(qū)3的減薄前移動,以及從所述蝕刻區(qū)3經所述沖洗區(qū)2向所述轉換區(qū)1的減薄后移動。在本實施例中,圖1內并排設置有2個所述玻璃減薄設備,所述沖洗區(qū)2包括沖洗區(qū)2、第二沖洗區(qū)2和第三沖洗區(qū)2,所述第二沖洗區(qū)2設置于所述沖洗區(qū)2和所述第三沖洗區(qū)2之間,所述沖洗區(qū)2設置于所述第二沖洗區(qū)2和所述轉換區(qū)1之間,所述第三沖洗區(qū)2設置于所述第二沖洗區(qū)2和所述蝕刻區(qū)3之間。所述轉換區(qū)1可升降的折疊式結構,從而便于所述玻璃加工治具4在所述轉換區(qū)1的放置或卸下。較佳的,所述轉換區(qū)1還設置有裝卸臂,通過所述裝卸臂可實現(xiàn)對所述玻璃加工治具4的上下料,以及單片玻璃的拿取檢測。實施例二如圖2所示,圖2為所述蝕刻區(qū)的結構示意圖;所述蝕刻區(qū)3包括腔室31、主厚度測量儀32、噴淋組件33和控制器;所述噴淋組件33在所述腔室31中對設置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加減薄處理,所述主厚度測量儀32實時測量在所述腔室31內經歷減薄處理的玻璃厚度。嘉興哪里減薄用清洗劑生產減薄用清洗劑的適用人群有哪些?

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    圖1為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖;圖2為本發(fā)明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發(fā)明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖;圖4為本發(fā)明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖;圖5為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發(fā)明的思想,為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂,下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。本發(fā)明實施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤10、噴頭11和磁轉子12,當然,本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等,托盤10、噴頭11和磁轉子12等在反應室13內進行拋光和減薄反應。其中,托盤10,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對待加工表面進行拋光。

    產生不良次品;同時由于所述側支撐件44的移動,可帶動玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動,從而實現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的,所述底座41和實施支撐架42上均設置有若干流通孔,所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內。實施例四所述支撐架42包括對應設置的架體和第二架體,所述架體和所述第二架體均固定設置在所述底座41上,所述架體包括平行對應設置的兩豎直平板421,所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對應兩側板422,所述架體和所述第二架體形成盛放部,玻璃設置在所述盛放部內;所述側板422和所述豎直平板421可均固定設置于所述底座41上,也可相互固定連接形成穩(wěn)定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設置有若干所述側支撐件44,且所述側支撐件44對應所述底支撐件43設置。較佳的,所述架體上固定設置有若干固定孔,所述側支撐件44可根據(jù)玻璃的具體尺寸在相應所述固定孔上固定設置;所述第二架體上設置有調節(jié)槽,對應所述調節(jié)槽還設置有固定板423,所述固定板423的兩端分別設置在對應兩所述側板422的所述調節(jié)槽上,并可在所述調節(jié)槽內調節(jié)移動,從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。選擇專業(yè)減薄用清洗劑,為您的產品質量保駕護航。

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    本發(fā)明提供如下技術方案:一種拋光減薄裝置,包括:托盤,用于固定待加工部件,所述待加工部件包括inp基晶圓;噴頭,用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,以對所述待加工表面進行拋光;磁轉子,放置在所述待加工部件的待加工表面上,用于通過旋轉對所述待加工表面進行機械研磨,對所述待加工表面進行減薄。可選地,還包括控制部件;所述控制部件與所述磁轉子和所述噴頭相連,用于控制所述噴頭和所述磁轉子交替工作,以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄??蛇x地,所述磁轉子包括截面為半圓形的柱狀磁性結構和位于所述磁性結構底部的研磨層,以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨??蛇x地,所述研磨層為金屬氧化物層,所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地,還包括:熱板,設置于所述托盤底部,用于對所述托盤進行加熱,以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定。可選地,所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法,包括:將待加工部件固定在托盤上,所述待加工部件包括inp基晶圓;通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對所述待加工表面進行拋光;通過磁轉子旋轉對所述待加工表面進行機械研磨??诒玫臏p薄用清洗劑的公司聯(lián)系方式。南通哪家公司減薄用清洗劑產品介紹

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    可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時,值得指出的時,所述豎直平板421上所述側支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設置有若干豎槽,所述豎槽單側豎直有若干定槽,對應所述定槽設置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對應所述豎槽的側邊設置有至少2個所述固定塊,所述安裝板遠離所述豎槽的側邊設置有所述側支撐件44,通過將所述固定塊分別設置于所述定槽內,從而實現(xiàn)所述側支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側板422上的所述側支撐件44的設置,從而實現(xiàn)對所述玻璃加工治具4上玻璃的側邊位置固定,同時,通過所述側板422上所述調節(jié)槽的設置,可實現(xiàn)所述側板422上所述側支撐件44的位置調節(jié),從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理。實施例五一般的,對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結構,可通過調節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結構正視圖;圖8為所述底支撐件的結構側視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。池州市面上哪家減薄用清洗劑供應