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    所述主厚度測量儀32布置在所述腔室31的側(cè)壁附近。所述主厚度測量儀32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內(nèi)之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時實時測量玻璃的厚度，并且將關(guān)于測得厚度的信息發(fā)送到所述控制器。所述控制器實時確定從所述主厚度測量儀32接收的玻璃的厚度是否達到目標厚度。如果確定玻璃厚度達到目標厚度，則所述控制器停止對玻璃進行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動至所述沖洗區(qū)2內(nèi)。實施例三所述玻璃加工治具4經(jīng)所述控制器的控制實現(xiàn)在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)運動，進而通過所述玻璃加工治具4的自身結(jié)構(gòu)實現(xiàn)所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動，從而實現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分接觸，提高玻璃在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖；具體的，所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42，所述支撐架42固定設(shè)置在所述底座41上；所述底座41上設(shè)置有底支撐件43，所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸，在玻璃底部提供支撐效果；所述支撐架42上設(shè)置有側(cè)支撐件44，所述側(cè)支撐件44限制玻璃側(cè)部邊緣位置。蘇州質(zhì)量好的減薄用清洗劑的公司聯(lián)系方式。嘉興好用的減薄用清洗劑推薦貨源

    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過旋轉(zhuǎn)對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨，對待加工表面進行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷?？蛇x地，本發(fā)明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當然，本發(fā)明并不限于此，在其他實施例中，待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定?；诖?，如圖2所示，本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設(shè)置在托盤10底部，用于對托盤10進行加熱，以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地，將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，之后，將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上，將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強于待加工部件20上進行鍵合，鍵合時間20min。本發(fā)明實施例中，采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，來對待加工部件20的待加工表面進行拋光。需要說明的是。臺州中芯國際用減薄用清洗劑聯(lián)系方式減薄清洗劑，采用科技，為您帶來好的清潔效果。

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    可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時，值得指出的時，所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式，具體的，所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽，所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽，對應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板，所述安裝板對應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個所述固定塊，所述安裝板遠離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，通過將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi)，從而實現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置，從而實現(xiàn)對所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定，同時，通過所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置，可實現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié)，從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃，并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理。實施例五一般的，對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu)，可通過調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示，圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。減薄清洗劑，讓您的產(chǎn)品更加完美，滿足高精度要求。臺州哪家公司減薄用清洗劑商家

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    本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種拋光減薄裝置，包括：托盤，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對所述待加工表面進行拋光；磁轉(zhuǎn)子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過旋轉(zhuǎn)對所述待加工表面進行機械研磨，對所述待加工表面進行減薄?？蛇x地，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉(zhuǎn)子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉(zhuǎn)子交替工作，以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄?？蛇x地，所述磁轉(zhuǎn)子包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)和位于所述磁性結(jié)構(gòu)底部的研磨層，以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨?？蛇x地，所述研磨層為金屬氧化物層，所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層?？蛇x地，還包括：熱板，設(shè)置于所述托盤底部，用于對所述托盤進行加熱，以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定。可選地，所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法，包括：將待加工部件固定在托盤上，所述待加工部件包括inp基晶圓；通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光；通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對所述待加工表面進行機械研磨。嘉興好用的減薄用清洗劑推薦貨源