電子用特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的一個重要分支，是集成電路（IC）、顯示面板（LCD、OLED）、光伏能源、光纖光纜等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的關(guān)鍵性原材料，廣泛應(yīng)用于薄膜、光刻、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝，其質(zhì)量對電子元器件的性能有重要影響。我國高純電子氣體主要應(yīng)用于集成電路、顯示面板、LED 以及太陽能領(lǐng)域，其中，集成電路和顯示面板對電子氣體的需求共占下游總需求的79%。 四氟化碳沒有腐蝕性。可使用鋁、銅、青銅、鋼、不銹鋼等大部分金屬和合金材料。聚四氟乙烯和環(huán)氧樹脂具有良好的耐腐蝕性能。 常溫常壓下穩(wěn)定，避免強(qiáng)氧化劑、易燃或可燃物。蘇州口碑好四氟化碳
四氟化碳是可作為氟和自由基氟化碳的來源，用于各種晶片蝕刻工藝。四氟化碳和氧結(jié)合用以蝕刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳在通常環(huán)境下是相對惰性的，在不通風(fēng)的地方會引起窒息。在射頻等離子體環(huán)境中，氟自由基表現(xiàn)為典型的三氟化碳或二氟化碳的形式。高純度的四氟化碳能很好的控制加工過程，使尺寸和形狀得到更好的控制，這不同于其他的鹵烴遇到空氣或氧氣時不利于各種特殊的控制（如半導(dǎo)體各項異性控制）。其高純氣及四氟化碳高純氣配高純陽氧氣的混合體，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。
特性 在常溫下，四氟化碳是無色、無臭、不燃的可壓縮性氣體，揮發(fā)性較高，是穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一，在900℃時，不與銅、鎳、鎢、鉬反應(yīng)，*在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015％（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時，會分解產(chǎn)生氟化物。 應(yīng)用 四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量的等離子燭刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純陽氧氣的混合體，可 廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。 在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
半導(dǎo)體電子特氣行業(yè)具有較高的技術(shù)壁壘。半導(dǎo)體電子特種氣體在生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術(shù)，每一步均有嚴(yán)格的技術(shù)參數(shù)要求和質(zhì)量控制措施。為了保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量與成品率，特種氣體產(chǎn)品要同時滿足“超純”和“超凈”的要求，“超純”要求氣體純度達(dá)到 4.5N、5N 甚至 6N、7N（N 是 Nine 的簡寫，幾個 N 就有幾個 9“超凈”即要求嚴(yán)格控制粒子與金屬雜質(zhì)的含量。作為特種氣體的參數(shù)，純度每提升一個 N，粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個數(shù)量級，都將帶來工藝復(fù)雜度和難度的提升。 四氟化碳是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體，揮發(fā)性較高。
公司特種氣體產(chǎn)能擴(kuò)張項目穩(wěn)步進(jìn)行。根據(jù)公司的招股說明書，公司擬投資 3.5 億元用于氣體中心建設(shè)及倉儲經(jīng)營項目，2.2 億元用于電子氣體生產(chǎn)純化及工業(yè)氣體充裝項目總投資。其中，氣體中心建設(shè)及倉儲經(jīng)營項目主要為電子特氣產(chǎn)品，電子氣體生產(chǎn)純化及工業(yè)氣體充裝項目也涉及對氟碳類氣體如四氟化硅、六氟乙烷等電子氣體。
氣體中心建設(shè)及倉儲經(jīng)營項目全部達(dá)產(chǎn)后，公司將新增產(chǎn)品年產(chǎn)能包括：高純鍺烷 10 噸、硒化氫 40 噸、磷烷 10 噸、年充裝混配氣體 500 噸、倉儲經(jīng)營銷售砷烷 10 噸、乙硼烷 3 噸、氯氣 300 噸、三氟化硼 10 噸。電子氣體生產(chǎn)純化及工業(yè)氣體充裝項目分兩期完成，期投資建設(shè)規(guī)模為年生產(chǎn) 50 噸硫化氫、年純化 10 噸鍺化氫、100 噸四氟化硅、100噸六氟乙烷、100 噸八氟乙烷、100 噸一氟甲烷。 四氟化碳沒有腐蝕性。華東節(jié)能四氟化碳哪里有
四氟化碳是不燃?xì)怏w，如果遇到高熱后會造成容器內(nèi)壓增大，有開裂、危險。蘇州口碑好四氟化碳
四氟化碳的化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，在通常情況下，它與硅直接接觸，也不會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。溫度較低時，四氟化碳與二氧化碳不發(fā)生作用，只有在1000℃以上，才能和二氧化碳進(jìn)行反應(yīng)，生成羰基氟。 只有適當(dāng)?shù)臈l件下，四氟化碳才能與氧化劑和還原劑進(jìn)行反應(yīng)。 四氟化碳不燃燒，有低毒性和窒息性。四氟化碳對肝臟、腦神經(jīng)系統(tǒng)有損害。與可燃性氣體一起燃燒時，發(fā)生分解，產(chǎn)生的氧化物。
四氟化碳沒有腐蝕性。可使用鋁、銅、青銅、鋼、不銹鋼等大部分金屬和合金材料。聚四氟乙烯和環(huán)氧樹脂具有良好的耐腐蝕性能。聚三氟氯乙烯聚合體接觸四氟化碳有輕微溶脹現(xiàn)象，但傻仍可耐無能蝕。尼龍在高溫和有空或有水分存在情況下，它全變脆。
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