納米定位平臺的設(shè)計從上面的簡要介紹中可以清楚地看出,為什么只考慮每個軸的共振頻率無法提供納米定位系統(tǒng)性能的準確圖片。也正因如此,多數(shù)情況下,只有定制系統(tǒng)才能滿足各個應(yīng)用程序的特定要求。例如,必須選擇與應(yīng)用相匹配的共振頻率特性的結(jié)構(gòu)材料和平臺設(shè)計。此計算中的一個關(guān)鍵因素是施加的載荷。這就是為什么我們經(jīng)常在許多數(shù)據(jù)表中關(guān)注負載性能,因為這個標準能更好地反映平臺的實際用途。一般來說,作用在平臺上的負載越大,平臺的共振頻率就越低。我們的高剛度平臺意味著共振頻率受負載變化的影響較小,因此任何動態(tài)調(diào)諧對負載的變化都不太敏感。 由于納米位移系統(tǒng)自身具有閉環(huán)控制,能產(chǎn)生穩(wěn)定的、重復的運動。壓電納米運動機構(gòu)多少錢
什么是六自由度壓電納米定位臺,它的作用是什么?六自由度壓電納米定位臺可產(chǎn)生X、Y、Z三軸直線運動以及θx、θy、θz三軸偏轉(zhuǎn)/旋轉(zhuǎn)角度運動的壓電平臺。
六自由度壓電定位臺應(yīng)用舉例-光纖對接調(diào)整。六自由度壓電定位臺應(yīng)用舉例-光纖對接調(diào)整光纖裸纖一般分為三層,中心高折射率真玻璃芯、中間為低折射率真硅玻璃包層、外層為加強用的樹脂涂層。入射到光纖端面的光并不能全部被光纖所傳輸,只有在某個角度范圍內(nèi)的入射光才會被傳輸。這個角度被稱為數(shù)值孔徑,越大對光纖的傳輸越有利。 壓電陶瓷微位移控制應(yīng)用納米定位平臺的工作原理圖講解。
壓電納米位移平臺同壓電微掃平臺一樣,采用壓電陶瓷疊堆直推技術(shù),壓電陶瓷疊堆執(zhí)行器雖然可以有體積緊湊、重量輕集成度高的特點,但是輸出位移小。采用位移放大機構(gòu)實現(xiàn)壓電陶瓷疊堆執(zhí)行器輸出位移的放大。壓電納米定位臺的工作原理納米位移臺主要采用超精密運動控制技術(shù)超精密技術(shù)是由光、機、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運動控制技術(shù)。內(nèi)部由一個或多個壓電陶瓷作為驅(qū)動,其產(chǎn)生單軸或者多軸的運動;通過柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運動傳遞和放大;經(jīng)超精密電容傳感器將運動信息傳遞給控制系統(tǒng),再由控制系統(tǒng)對該運動進行修正、補償和控制;在對運動系統(tǒng)進行閉環(huán)控制時,可實現(xiàn)納米、亞納米級別的運動分辨率和運動控制精度。
壓電納米定位臺的特點:壓電納米定位臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構(gòu),一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。機構(gòu)放大式驅(qū)動原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實現(xiàn)高精度位移,定位精度可達納米級。具有超高的導向精度,有高剛性、高負載、無摩擦等特點。壓電納米位移臺典型應(yīng)用壓電納米定位臺憑借高穩(wěn)定性、高分辨率等優(yōu)良特性,廣泛應(yīng)用于半導體設(shè)備、顯微成像、納米技術(shù)、激光與光學、航天航空、生物醫(yī)學、航天航空等領(lǐng)域。直推式的壓電納米位移臺,其機械行程一般較小(50μm-300μm);機械行程與控制精度往往不會跨數(shù)量級(當機械行程在微米級時,控制精度在納米級),但有的應(yīng)用場景需要使用在較大機械行程(1mm-3mm)的同時,保證較高的控制精度(1nm);直推式的驅(qū)動方式就無法滿足這種應(yīng)用場景的需求,需要采用特殊的壓電步進電機的設(shè)計,用多組垂直與水平向差分式壓電陶瓷組,交替運動實現(xiàn)步進運動,就可以實現(xiàn)滿足較高控制精度的大行程運動。 根據(jù)壓電納米定位臺的應(yīng)用環(huán)境,它又分為標準版、低溫真空、無磁版本。
近年來,由于光通信技術(shù)飛速發(fā)展,光纖連接器作為光通信基本的光源器件,所以對其質(zhì)量及可靠性有了更嚴格的要求。為了提高光纖連接及光信號傳輸?shù)男剩虼斯饫w端面的檢測至關(guān)重要。為得到光纖端面的三維參數(shù),通常根據(jù)光學干涉來進行測量。其中由壓電陶瓷控制器控制的壓電納米定位臺用于移動3D干涉儀系統(tǒng)中米羅的干涉物鏡或光纖連接器以產(chǎn)生位相移動,分5步位相移動,每移動一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋。壓電納米定位臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構(gòu),一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。機構(gòu)放大式驅(qū)動原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度,具有高剛性、高負載、無摩擦等特點。 納米定位臺底座固定螺絲多大?壓電納米微動鑷哪家好
標準版壓電納米定位臺是為正常室溫下使用而設(shè)計。壓電納米運動機構(gòu)多少錢
壓電納米定位臺的特點:壓電納米定位臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構(gòu),一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。機構(gòu)放大式驅(qū)動原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實現(xiàn)高精度位移,定位精度可達納米級。具有超高的導向精度,有高剛性、高負載、無摩擦等特點。壓電納米位移臺典型應(yīng)用:壓電納米位移臺在基礎(chǔ)科研市場,半導體市場,先進制造業(yè),生物醫(yī)藥行業(yè),光學、通信等行業(yè)都能夠被廣泛應(yīng)用。尤其隨著國家政策對半導體行業(yè)的大力扶持,在半導體精密加工,芯片制造,5G通訊等具體應(yīng)用場景,壓電納米位移臺的市場需求得到進一步擴充,市場前景更廣闊。 壓電納米運動機構(gòu)多少錢