壓電促動器

納米定位平臺的高級數(shù)字控制至關(guān)重要。尤為明顯的是，它可根據(jù)速度、分辨率和有效負(fù)載精確調(diào)整系統(tǒng)的性能特征，同時消除不必要的共振頻率影響。使用定制的軟件算法和陷波濾波器的組合來實現(xiàn)這一性能，后者能夠在狹義的頻率范圍內(nèi)衰減信號。因此，可以更大限度地減少接近共振頻率的頻率影響，有效地降低第二頻率對動態(tài)定位的影響。算法模塊工具箱可優(yōu)化平臺性能。速度和加速度控制算法能夠使平臺比單純依賴位置控制的設(shè)備實現(xiàn)更高級的操作帶寬驅(qū)動。雖然后者采用PID控制位置，但無法提供足夠的精度來控制高速運(yùn)動。如果需要在移動平臺時進(jìn)行控制以產(chǎn)生精確的波形或斜坡，則需要更多的控制。軌跡控制能夠使平臺軸快速移動到幾納米以內(nèi)的精確位置，而不會引起平臺共振。通過使用這些控制方法，可以實現(xiàn)超過共振頻率50%的帶寬，而經(jīng)典PID控制的帶寬只有10%左右。 低溫真空無磁型壓電納米定位臺非常適用于半導(dǎo)體加工、檢測等應(yīng)用。壓電促動器

多軸集成一體結(jié)構(gòu)，使串?dāng)_減小。納動納米-本系列多數(shù)產(chǎn)品X、XY和XYZ采用集成并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計，可以抑制兩個或多個單軸堆疊組合時容易出現(xiàn)的非正交性。此外，每個軸的傳感器被固定到相同的基準(zhǔn)，并且不斷地監(jiān)測和校正移動臺偏離每個正交軸的運(yùn)動。復(fù)合軸類型的XY和XYZ軸位移臺的壓電陶瓷元件布置在兩側(cè)并具有對稱的開口。換句話說，其中一個軸由兩個左右壓電陶瓷元件支撐和驅(qū)動的結(jié)構(gòu)（并聯(lián)結(jié)構(gòu)），即使同時驅(qū)動兩個和三個軸也可以獲得穩(wěn)定的操作。 亞微米平臺哪家好中空式壓電納米定位臺在其臺面的中心區(qū)域具有通孔。

在數(shù)據(jù)存儲的領(lǐng)域，通常需要壓電納米定位臺來實現(xiàn)納米甚至亞納米級別的運(yùn)動控制精度。壓電納米定位臺在數(shù)據(jù)存儲中的應(yīng)用：壓電納米定位臺用于讀寫頭的高精度調(diào)節(jié)壓電納米定位臺可以在光盤數(shù)據(jù)存儲中應(yīng)用于高密度數(shù)據(jù)存儲和讀取。壓電納米定位臺是一種納米級別的機(jī)械調(diào)節(jié)系統(tǒng)，它由壓電陶瓷和納米機(jī)械部件組成，可以實現(xiàn)納米級別的位置調(diào)節(jié)。在光盤數(shù)據(jù)存儲中，壓電納米定位臺可以用來調(diào)節(jié)光學(xué)讀寫頭的位置，提高數(shù)據(jù)存儲和讀取的精度和容量。

納米定位平臺的設(shè)計從上面的簡要介紹中可以清楚地看出，為什么只考慮每個軸的共振頻率無法提供納米定位系統(tǒng)性能的準(zhǔn)確圖片。也正因如此，多數(shù)情況下，只有定制系統(tǒng)才能滿足各個應(yīng)用程序的特定要求。例如，必須選擇與應(yīng)用相匹配的共振頻率特性的結(jié)構(gòu)材料和平臺設(shè)計。此計算中的一個關(guān)鍵因素是施加的載荷。這就是為什么我們經(jīng)常在許多數(shù)據(jù)表中關(guān)注負(fù)載性能，因為這個標(biāo)準(zhǔn)能更好地反映平臺的實際用途。一般來說，作用在平臺上的負(fù)載越大，平臺的共振頻率就越低。我們的高剛度平臺意味著共振頻率受負(fù)載變化的影響較小，因此任何動態(tài)調(diào)諧對負(fù)載的變化都不太敏感。 納米定位臺是一個壓電掃描柔性引導(dǎo)平臺。

壓電位移臺在光纖端面檢測方面的應(yīng)用：近年來，由于光通信技術(shù)飛速發(fā)展，光纖連接器作為光通信基本的光源器件，所以對其質(zhì)量及可靠性有了更嚴(yán)格的要求。為了提高光纖連接及光信號傳輸?shù)男?，因此光纖端面的檢測至關(guān)重要。為得到光纖端面的三維參數(shù)，通常根據(jù)光學(xué)干涉來進(jìn)行測量。其中由壓電陶瓷控制器控制的壓電納米定位臺用于移動3D干涉儀系統(tǒng)中的干涉物鏡或光纖連接器以產(chǎn)生位相移動，分5步位相移動，每移動一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋。 在極端環(huán)境下研究納米尺度下的物理學(xué)與材料學(xué)已成為學(xué)術(shù)研究的熱點(diǎn)。壓電陶瓷廠家

六自由度壓電納米定位臺可產(chǎn)生X、Y、Z三軸直線運(yùn)動以及θx、θy、θz 三軸偏轉(zhuǎn)/旋轉(zhuǎn)角度運(yùn)動的壓電平臺。壓電促動器

過去十年，中國工業(yè)企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)正在加快對于設(shè)備和儀器的升級，從中國制造邁向中國創(chuàng)造，因此對于納米級別運(yùn)動控制的需求出現(xiàn)了爆發(fā)。

精密儀器設(shè)計中相關(guān)的材料的選擇與傳統(tǒng)機(jī)械設(shè)計一般考慮相關(guān)，但主要關(guān)注點(diǎn)可能不同：例如強(qiáng)度和質(zhì)量可能不太重要，但保持形狀和尺寸穩(wěn)定性的能力，通常是要求很高的。由于材料的使用量小，因此材料成本可能不會對總成本產(chǎn)生重大影響，因此，性能被更優(yōu)先考慮，并且使用各種新材料是可行的。結(jié)構(gòu)材料的熱性能一直是精密儀器設(shè)計和使用的主要關(guān)注點(diǎn)。在正常使用中，所有機(jī)械設(shè)備都會遇到環(huán)境溫度變化、執(zhí)行器功耗、操作員操作等引起的熱量輸入。熱擾動的直接影響是熱膨脹，它會引起機(jī)械部件的尺寸變化，從而導(dǎo)致儀器精度的損失。 壓電促動器