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本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱，首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。有哪些領(lǐng)域需要使用網(wǎng)帶爐呢？浙江烘銀網(wǎng)帶爐

超高真空烘箱廣泛應(yīng)用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位。確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設(shè)備等在低氣壓、高溫單項或同時作用下的環(huán)境適應(yīng)性與可靠性試驗。下面為大家介紹一下超高真空烘箱的主要技術(shù)指標(biāo)。 1.工作室溫度范圍：常溫～ +300℃ 用戶使用溫度260℃ 2.溫度波動度：±1.0℃（空載）； 3.溫度偏差：常壓溫度試驗：常溫～200℃時±2℃ 200～300℃時±5.0℃ 低氣壓高溫綜合試驗:≤100℃時±2.0℃， 100℃～200℃時±5.0℃ 200℃～300℃時±7.0℃網(wǎng)帶爐銷售價格合肥真萍告訴您網(wǎng)帶爐如何去使用呢？

1.內(nèi)膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架：2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動度：0.5℃4.真空泵：油泵或無油真空泵。真空度：133pa，5.加熱方式：腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板（防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài)）6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片；8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時間（正常工藝在50分鐘-120分鐘（按產(chǎn)品所需而定烘烤時間），為正常工作周期不含降溫時間（因降溫時間為常規(guī)降溫）。

真空烘箱是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕，使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài)，降低水的沸點，加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空烘箱的特點。一、真空程序分段控制該型號機(jī)型，抽真空過程可提供程序化編程，只需根據(jù)客戶要求編輯設(shè)定真空值，保壓時間值。相當(dāng)大可實現(xiàn)18段抽真空和保壓編程。二、操作步驟1.接通電源；2.產(chǎn)品送入腔體，關(guān)門；3.打開電源；4.工作溫度設(shè)定好，啟動加熱，設(shè)備進(jìn)入自動恒溫狀態(tài)；5.真空值和時間設(shè)定好后，啟動真空泵，開始進(jìn)入自動抽真空階段；6.到達(dá)時間值后，真空泵自動關(guān)閉。合肥真萍網(wǎng)帶爐的運(yùn)用領(lǐng)域。

電熱鼓風(fēng)烤箱適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊塑膠、機(jī)械、食品、化工、化學(xué)品、五金工具在恒溫環(huán)境條件下作干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風(fēng)烤箱的可選擇配件（需另外收費(fèi)，訂購時請注意）。1.可編程液晶控制器，可實現(xiàn)升溫速率可調(diào)和保溫時間可調(diào)。2.單獨(dú)限溫控制器，可實現(xiàn)在主控制器失靈后設(shè)備升溫過高的情況下立即切斷加熱。3.無紙記錄儀，通過USB接口將其記錄的數(shù)據(jù)導(dǎo)入計算機(jī)可供分析、打印等，是有紙記錄儀的更新?lián)Q代產(chǎn)品，相當(dāng)多八通道溫度記錄。4.配RS-485接口，可連接計算機(jī)和記錄儀，實現(xiàn)時時***工作狀態(tài)。5.溫度測試孔，可實現(xiàn)不同測試線或儀器插入設(shè)備工作室內(nèi)進(jìn)行各種實驗，測試孔孔徑有φ25、φ50、φ80可選。6.載物托架，烘箱設(shè)備標(biāo)配是2個載物托架，客戶可根據(jù)自身需求增配托架數(shù)量。合肥真萍告訴您使用網(wǎng)帶爐的便捷性。江蘇固化網(wǎng)帶爐

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精密鼓風(fēng)烘箱適用于電子元器件、橡膠、塑料、裝飾材料等行業(yè)對溫度均勻性要求比較嚴(yán)格的實驗檢測。 

真萍科技精密鼓風(fēng)烤箱采用進(jìn)口的液晶顯示控制器，產(chǎn)品采用綜合的電磁兼容設(shè)計和人性化的菜單設(shè)計，使得設(shè)備操作完全傻瓜化，控溫效果較好。高亮度寬視窗液晶顯示，示值清晰、直觀。微電腦智能控制。設(shè)定溫度和時間后，儀表自行控制加熱功率，并顯示加熱狀態(tài)，控溫精確而穩(wěn)定。超溫報警并自動切斷加熱電源。 電器控制系統(tǒng)： 1.電氣控制元器件均采用國內(nèi)品牌“正泰” 2.電氣線路設(shè)計新穎，合理布線，安全可靠 3.箱體頂部為電氣控制柜，方便于集中檢查維修 安全保護(hù)系統(tǒng)： 1.超溫報警 2.欠相缺相保護(hù) 3.過電流保護(hù) 4.快速熔斷器 5.接地保護(hù) 浙江烘銀網(wǎng)帶爐