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本篇介紹專業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱,首先簡(jiǎn)單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。有哪些領(lǐng)域需要使用網(wǎng)帶爐呢?浙江烘銀網(wǎng)帶爐
超高真空烘箱廣泛應(yīng)用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位。確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設(shè)備等在低氣壓、高溫單項(xiàng)或同時(shí)作用下的環(huán)境適應(yīng)性與可靠性試驗(yàn)。下面為大家介紹一下超高真空烘箱的主要技術(shù)指標(biāo)。 1.工作室溫度范圍:常溫~ +300℃ 用戶使用溫度260℃ 2.溫度波動(dòng)度:±1.0℃(空載); 3.溫度偏差:常壓溫度試驗(yàn):常溫~200℃時(shí)±2℃ 200~300℃時(shí)±5.0℃ 低氣壓高溫綜合試驗(yàn):≤100℃時(shí)±2.0℃, 100℃~200℃時(shí)±5.0℃ 200℃~300℃時(shí)±7.0℃網(wǎng)帶爐銷售價(jià)格合肥真萍告訴您網(wǎng)帶爐如何去使用呢?
1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動(dòng)度:0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間(因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫)。
真空烘箱是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空烘箱的特點(diǎn)。一、真空程序分段控制該型號(hào)機(jī)型,抽真空過程可提供程序化編程,只需根據(jù)客戶要求編輯設(shè)定真空值,保壓時(shí)間值。相當(dāng)大可實(shí)現(xiàn)18段抽真空和保壓編程。二、操作步驟1.接通電源;2.產(chǎn)品送入腔體,關(guān)門;3.打開電源;4.工作溫度設(shè)定好,啟動(dòng)加熱,設(shè)備進(jìn)入自動(dòng)恒溫狀態(tài);5.真空值和時(shí)間設(shè)定好后,啟動(dòng)真空泵,開始進(jìn)入自動(dòng)抽真空階段;6.到達(dá)時(shí)間值后,真空泵自動(dòng)關(guān)閉。合肥真萍網(wǎng)帶爐的運(yùn)用領(lǐng)域。
電熱鼓風(fēng)烤箱適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊塑膠、機(jī)械、食品、化工、化學(xué)品、五金工具在恒溫環(huán)境條件下作干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風(fēng)烤箱的可選擇配件(需另外收費(fèi),訂購時(shí)請(qǐng)注意)。1.可編程液晶控制器,可實(shí)現(xiàn)升溫速率可調(diào)和保溫時(shí)間可調(diào)。2.單獨(dú)限溫控制器,可實(shí)現(xiàn)在主控制器失靈后設(shè)備升溫過高的情況下立即切斷加熱。3.無紙記錄儀,通過USB接口將其記錄的數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)可供分析、打印等,是有紙記錄儀的更新?lián)Q代產(chǎn)品,相當(dāng)多八通道溫度記錄。4.配RS-485接口,可連接計(jì)算機(jī)和記錄儀,實(shí)現(xiàn)時(shí)時(shí)***工作狀態(tài)。5.溫度測(cè)試孔,可實(shí)現(xiàn)不同測(cè)試線或儀器插入設(shè)備工作室內(nèi)進(jìn)行各種實(shí)驗(yàn),測(cè)試孔孔徑有φ25、φ50、φ80可選。6.載物托架,烘箱設(shè)備標(biāo)配是2個(gè)載物托架,客戶可根據(jù)自身需求增配托架數(shù)量。合肥真萍告訴您使用網(wǎng)帶爐的便捷性。江蘇固化網(wǎng)帶爐
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精密鼓風(fēng)烘箱適用于電子元器件、橡膠、塑料、裝飾材料等行業(yè)對(duì)溫度均勻性要求比較嚴(yán)格的實(shí)驗(yàn)檢測(cè)。
真萍科技精密鼓風(fēng)烤箱采用進(jìn)口的液晶顯示控制器,產(chǎn)品采用綜合的電磁兼容設(shè)計(jì)和人性化的菜單設(shè)計(jì),使得設(shè)備操作完全傻瓜化,控溫效果較好。高亮度寬視窗液晶顯示,示值清晰、直觀。微電腦智能控制。設(shè)定溫度和時(shí)間后,儀表自行控制加熱功率,并顯示加熱狀態(tài),控溫精確而穩(wěn)定。超溫報(bào)警并自動(dòng)切斷加熱電源。 電器控制系統(tǒng): 1.電氣控制元器件均采用國(guó)內(nèi)品牌“正泰” 2.電氣線路設(shè)計(jì)新穎,合理布線,安全可靠 3.箱體頂部為電氣控制柜,方便于集中檢查維修 安全保護(hù)系統(tǒng): 1.超溫報(bào)警 2.欠相缺相保護(hù) 3.過電流保護(hù) 4.快速熔斷器 5.接地保護(hù) 浙江烘銀網(wǎng)帶爐