組合式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。外部壓縮型螺桿式在外部壓縮型螺桿式設(shè)計中,使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到**小,同時使得氣體通路**短也**簡單。這樣,氣體在泵體內(nèi)停留的時間也**短。雖然這種設(shè)計由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高,但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。內(nèi)部壓縮型螺桿式除了使用一對非等距螺桿以外,內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計和外部壓縮型螺桿式設(shè)計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當(dāng)?shù)乃?。但在很多工藝中,這種內(nèi)部壓縮同多級泵一樣,極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。干式真空泵工作原理編輯1)干式螺桿真空泵干式螺桿真空泵,是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時,相互之間無磨擦,運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。沃德氣體不斷從事技術(shù)革新,改進生產(chǎn)工藝,提高技術(shù)水平。云南干式真空泵
因其良好的性能被普遍應(yīng)用在各個行業(yè)。干式真空泵的結(jié)構(gòu)是怎樣的:下面由干式真空泵的生產(chǎn)廠家來介紹干式真空泵的結(jié)構(gòu)是怎樣的干式真空泵是依據(jù)螺桿式緊縮機的任務(wù)原理作成的。在市面上,它的主流構(gòu)造有兩種,次要是螺桿式和矩方式,詳細的上面爲(wèi)大家引見一下干式真空泵的構(gòu)造。1、螺桿式在螺桿式緊縮機中,轉(zhuǎn)子的圈數(shù)在一圈以內(nèi),而螺桿真空泵的圈數(shù)那樣在2圈以上,這樣可增加返流量,進步緊縮比,單級泵可從大氣壓抽到1Pa的極限壓力,抽速爲(wèi)60~120m3/h。2、矩方式有矩形斷面的右和左的一對轉(zhuǎn)子相嚙合,由同步齒輪帶動完成非接觸式的高速運轉(zhuǎn),氣體由上側(cè)進入,在泵腔內(nèi)緊縮由轉(zhuǎn)子下端掃除,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周排氣一次。轉(zhuǎn)子和泵體內(nèi)外表構(gòu)成一種密封構(gòu)造,矩形斷面間隙走漏較少,故可失掉較高的緊縮比,泵的緊縮比和抽速與轉(zhuǎn)子的導(dǎo)角,轉(zhuǎn)子與泵體的間隙的嚙合率,圈數(shù),轉(zhuǎn)子直徑和旋轉(zhuǎn)速度等要素有關(guān)。由于它的圈數(shù)多,比上述螺桿式的緊縮比高,而抽速低,這種泵可從大氣壓抽到極限壓力10-1Pa,抽速爲(wèi)40~80m3/h的泵有市售。干式真空泵的構(gòu)造次要爲(wèi)螺桿式和矩方式,每種不同的構(gòu)造都有本人的劣勢,我們可以依據(jù)本人的實踐狀況停止選擇。云南干式真空泵公司實力雄厚,產(chǎn)品質(zhì)量可靠。
1、真空泵抽不了真空可能是電機轉(zhuǎn)向不對,如反轉(zhuǎn)不會產(chǎn)生任何真空2、查看真空連接口處得空氣過濾器濾芯是否堵塞,用時間長的話需清理垃圾3、真空泵抽不了真空可能是真空泵葉片碎裂不會產(chǎn)生真空,需更換葉片4、真空泵油要加適量,不能太多,詳細參照廠家要求真空泵在清洗的時候進行拆洗注意哪些事項?真空泵使用時間久了免不了要進行拆洗,那么真空泵在拆洗的時候需要注意哪些事項呢?***一起來了解一下吧!1、拆裝、清洗機械真空泵應(yīng)在請潔的室內(nèi)進行。拆洗時,應(yīng)注意各部件的原裝配位置、方及組合松緊,同時作好記錄,以免裝錯;2、真空泵在取出旋片和轉(zhuǎn)子時,一定要注意用手捍緊旋片,原因是旋片受彈簧力慣性較大,一不小心容易脫手飛出,碰傷旋片棱角或表面而不能繼續(xù)使用。3、真空泵拆下的零部件應(yīng)分開,妥善處理,以免互相碰傷或丟失。4、真空泵裝配時,應(yīng)先在轉(zhuǎn)動部位的表面上涂少量真空泵油、進行潤滑。注意請潔,嚴(yán)禁鐵屑、泥砂及塵埃等落入真空泵內(nèi)。裝好的真空泵應(yīng)轉(zhuǎn)動輕松,無輕重不均及阻滯現(xiàn)象。5、真空泵總裝完后,從加油孔加入真空泵油至油標(biāo)線為止。6、真空泵開機前,應(yīng)向抽氣口注入少量的真空泵油,使真空泵內(nèi)得到充分潤滑。。
應(yīng)維修電機,重新繞制定子線圈。軸承和線圈損壞嚴(yán)重時,應(yīng)更換電機。2、旋片卡阻。主要表現(xiàn)為旋片與泵腔內(nèi)表面的摩擦阻力過大,致使電機無法帶動轉(zhuǎn)子(旋片)。其原因是旋片變形,轉(zhuǎn)子內(nèi)的彈簧張開后不能復(fù)位,或彈簧壓力和旋片自身離心力的合力過大,導(dǎo)致旋片與泵腔內(nèi)表面的摩擦阻力過大。這時應(yīng)當(dāng)修復(fù)旋片和彈簧,不能修復(fù)時,更換二者。真空泵有哪些密封要求真空泵是常見的真空設(shè)備,那么,真空泵有哪些密封要求呢?真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空,有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵。沃德氣體重信譽、守合同,嚴(yán)把產(chǎn)品質(zhì)量關(guān),熱誠歡迎廣大用戶前來咨詢考察,洽談業(yè)務(wù)!
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴大,原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護成本。其次,由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使泵不能正常工作。對于普通的無油真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。干式機械真空泵的應(yīng)用是普遍的,主要有以下幾個方面:1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。沃德氣體在客戶和行業(yè)中樹立了良好的企業(yè)形象。黑龍江螺桿干式真空泵銷售
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改善電廠的熱效率。真空吸水、煙氣脫硫在這方面,干式真空泵用來在發(fā)電設(shè)備的冷卻水系統(tǒng)內(nèi)始終保持有一個虹吸管,使冷卻水循環(huán)泵能夠保持在設(shè)計流量工作,功率消耗比較低。飛灰輸送在真空下采用流體輸送方式將飛灰從吸塵器漏斗輸送到**干燥收集器。這種輸送系統(tǒng)的主要優(yōu)點是:由于灰塵在真空下傳遞,只能向內(nèi)泄漏空氣,灰塵不會向外泄露。干式真空泵相比其它機械真空泵來說,不會因返流而影響產(chǎn)品的質(zhì)量,而且更易于維護。有的國家的半導(dǎo)體行業(yè)已全部使用干式真空泵代替油封式機械泵。干式真空泵的應(yīng)用范圍:干式真空泵的應(yīng)用范圍現(xiàn)在干式真空泵越來越受到人們的歡迎,應(yīng)用范圍也越來越廣,具體都應(yīng)用在哪些領(lǐng)域呢?下面的文章為大家介紹一下。1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求;4、在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等;5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。干式真空泵的出現(xiàn),為真空行業(yè)增添了一抹新的“靚麗風(fēng)景”。云南干式真空泵
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