MEMS增材制造無(wú)掩膜光刻

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-07-06

 QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),用于快速原型制作和晶圓級(jí)批量生產(chǎn),以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域的潛力。作為2019年推出的頭一臺(tái)雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX的同系列產(chǎn)品,QuantumXshape提升了3D微納加工能力,即完美平衡精度和速度以實(shí)現(xiàn)高精度增材制造,以達(dá)到比較高水平的生產(chǎn)力和打印質(zhì)量。作為一款真正意義上的全能機(jī)型,該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),可為亞微米精度的。QuantumXshape可實(shí)現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進(jìn)行高精度3D微納加工。這種效率的提升對(duì)于晶圓級(jí)批量生產(chǎn)尤其重要,這對(duì)于科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用有著重大意義 增材制造技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,譬如航天、新材料、先進(jìn)制造。MEMS增材制造無(wú)掩膜光刻

MEMS增材制造無(wú)掩膜光刻,增材制造

德國(guó)公司Nanoscribe是高精度增材制造技術(shù)的排名在前的開(kāi)發(fā)商,也是 BICO集團(tuán)(前身為Cellin)的一部分,推出了一款新型高精度3D 打印機(jī),用于制造微納米級(jí)的精細(xì)結(jié)構(gòu)。據(jù)該公司稱,新的Quantum X 形狀加入了該公司屢獲殊榮的Quantum X產(chǎn)品線,其晶圓處理能力使“3D 微型零件的批量處理和小批量生產(chǎn)變得容易”。它有望顯著提高生命科學(xué)、材料工程、微流體、微光學(xué)、微機(jī)械和微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 應(yīng)用的精度、輸出和可用性。基于雙光子聚合(2PP),一種提供比較高精度和完整設(shè)計(jì)自由度的增材制造方法和 Nanoscribe 專有的雙光子灰度光刻 (2GL) 技術(shù),Nanoscribe認(rèn)為直接激光寫入系統(tǒng)是微加工的比較好選擇幾乎任何 2.5D 或 3D 形狀的結(jié)構(gòu),在面積達(dá) 25 cm2 的區(qū)域上都具有亞微米級(jí)精度、浙江工業(yè)級(jí)增材制造三維微納米加工系統(tǒng)Nanoscribe在中國(guó)的子公司納糯三維科技(上海)有限公司邀您了解增材制造工藝的分類。

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Nanoscribe是非常獨(dú)特的納米和微米級(jí)3D打印技術(shù)。該公司成立于2007年,目前已經(jīng)在激光光刻行業(yè)處于領(lǐng)頭的地位。Nanoscribe公司的Photonic Professional GT光刻系統(tǒng)主要通過(guò)在微尺度上運(yùn)用激光來(lái)固化感光材料。3D打印材料主要包括液態(tài)的光敏材料和固態(tài)的旋涂光刻材料。憑著其獨(dú)特的微尺度3D 打印技術(shù)與人性化的軟件,Nanoscribe毫無(wú)疑問(wèn)是增材制造領(lǐng)域里的一股顛覆性力量。ORNL的科學(xué)家們使用Nanoscribe的增材制造系統(tǒng)來(lái)構(gòu)建世界上特別小的指尖陀螺, 該迷你玩具的寬度只為100微米(與人類頭發(fā)的寬度相當(dāng)) 

   傳統(tǒng)上,調(diào)節(jié)板和冷卻臺(tái)是銅焊的。將多個(gè)零件釬焊在一起以創(chuàng)建單個(gè)組件。增材制造在此提供的優(yōu)勢(shì)在于,可以設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)一體化的零件,從而減少零件的數(shù)量,并替代釬焊。單一的結(jié)構(gòu)對(duì)設(shè)計(jì)迭代也帶來(lái)了直觀的好處,我們可以想象,要通過(guò)傳統(tǒng)的供應(yīng)鏈,訂購(gòu)多個(gè)零件可能需要一兩個(gè)月才能得到,因?yàn)楸仨毻ㄟ^(guò)訂購(gòu)系統(tǒng),有人必須加工,有人必須組裝,有人可能需要測(cè)試進(jìn)行質(zhì)量檢查。然后才進(jìn)入到供貨物流系統(tǒng)中,而將這些不同的零件組裝在一起后,才可以對(duì)其進(jìn)行后續(xù)的一個(gè)測(cè)試。這使得每一次設(shè)計(jì)迭代都變得緩慢而昂貴。但是,通過(guò)3D打印-增材制造技術(shù),就可以省去所有這些步驟。增材制造(Additive Manufacturing,AM)技術(shù)是采用材料逐漸累加的方法制造實(shí)體零件的技術(shù)。

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雖然半導(dǎo)體行業(yè)一直在使用3D打印技術(shù),我們可能會(huì)有一個(gè)疑問(wèn),為什么我們沒(méi)有聽(tīng)說(shuō),一個(gè)因素是競(jìng)爭(zhēng)。如果全球只有四個(gè)龐大的大型公司,它們構(gòu)成了光刻或制造機(jī)器的主要部分,那么這些公司并沒(méi)有告訴外界關(guān)于他們應(yīng)用3D打印技術(shù)的內(nèi)幕,因?yàn)樗麄兿氪_保的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。至少,對(duì)外界揭示其優(yōu)化設(shè)備性能的技術(shù),這種主觀動(dòng)機(jī)并不強(qiáng)。增材制造改善半導(dǎo)體工藝是多方面的,從輕量化,到隨形冷卻,再到結(jié)構(gòu)一體化實(shí)現(xiàn),根據(jù)3D科學(xué)谷的市場(chǎng)觀察,增材制造使得半導(dǎo)體設(shè)備中的零件性能邁向了一個(gè)新的進(jìn)化時(shí)代!在許多情況下,3D打印-增材制造可能使這些系統(tǒng)能夠更接近理論上預(yù)期的工作環(huán)境,而不是在機(jī)器操作上做出妥協(xié)。 Nanoscribe在中國(guó)的子公司納糯三維告訴您增材制造技術(shù)在工業(yè)制造領(lǐng)域中的意義是什么。天津進(jìn)口增材制造無(wú)掩膜激光直寫

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隨著各行各業(yè)的發(fā)展及科技的進(jìn)步,人們可以用3D打印創(chuàng)建在人體內(nèi)傳導(dǎo)藥物的載體,可以用3D打印來(lái)建造房子。人們還可以用3D打印創(chuàng)作出精美的珠寶首飾和設(shè)計(jì),甚至可以用這項(xiàng)技術(shù)做出巨大的藝術(shù)雕塑。Nanoscribe 公司專注于微觀3D打印技術(shù),通過(guò)該用戶可以得到尺寸微小的高質(zhì)量產(chǎn)品。全新推出的Quantum X平臺(tái)新型超高速無(wú)掩模光刻技術(shù)主要是基于Nanoscribe雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)。該技術(shù)將灰度光刻的***性能與雙光子聚合的精確性和靈活性完美結(jié)合,使其同時(shí)具備高速打印,完全設(shè)計(jì)自由度和超高精度的特點(diǎn)。從而滿足了**復(fù)雜增材制造對(duì)于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求。   MEMS增材制造無(wú)掩膜光刻