真空鍍膜設(shè)備的一個重要組成部分是采用擴(kuò)散泵抽真空，但大部分都是大型設(shè)備，所以相對來說成本會比較高，因此，大多數(shù)企業(yè)都會注意擴(kuò)散泵的維護(hù)和保養(yǎng)。保養(yǎng)注意事項：1、擴(kuò)散泵的冷卻水在工作過程中要平穩(wěn)，停止加熱后，待泵工作液完全冷卻后再關(guān)閉冷卻水。2、擴(kuò)散泵停止工作時，應(yīng)保持泵處于真空狀態(tài)，以免泵油變質(zhì)。3、被泵送的氣體應(yīng)是干燥、無腐蝕性、無粉塵的氣體。4、如果真空鍍膜設(shè)備的擴(kuò)散泵暫時不使用，儲存時應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和腐蝕各部件，并將冷卻水套的剩余水吹干凈。將室溫保持在10至40攝氏度之間。擴(kuò)散泵是真空鍍膜機(jī)的主要部件，為機(jī)器能運(yùn)作在良好狀態(tài)。哈爾濱蒸鍍機(jī)系列-FS200
真空鍍膜是必須保持在真空環(huán)境下進(jìn)行的才行。因此真空鍍膜機(jī)若有灰塵，將會影響真空鍍膜的效果和質(zhì)量。但是，需要鍍膜材料表面是沒辦法保證是完全無灰塵的，因此，為了盡量減小材料表面灰塵的前提下，真空鍍膜機(jī)鍍膜的時候必須要注意以下幾點才行。（1）真空鍍膜設(shè)備使用一段時間后，必須要對設(shè)備進(jìn)行清潔維護(hù)；（2）規(guī)范操作人員及操作要求，包括穿戴專業(yè)的服裝、手套、腳套等；（3）嚴(yán)格處理襯底材料，做到清潔干凈，合乎工藝要求；（4）源材料符合必要的純度要求；（5）保證設(shè)施設(shè)備及操作環(huán)境清潔。如材料、樣品放置地環(huán)境要求，環(huán)境溫度濕度要求等；（6）降低真空鍍膜設(shè)備室內(nèi)空氣流動性低、盡量減小室外灰塵侵入。銀川蒸鍍機(jī)系列-FS-G1-6真空鍍膜機(jī)設(shè)計焊縫結(jié)構(gòu)的時候，接頭一定要焊透，應(yīng)該避免產(chǎn)生聚集污物的有害空間。
真空鍍膜機(jī)怎么保養(yǎng)？1、真空鍍膜機(jī)每完結(jié)200個鍍膜程序以上，應(yīng)清潔作業(yè)室一次。辦法是：用燒堿（NaOH）飽和溶液重復(fù)擦拭真空室內(nèi)壁，（注意人體肌膚不能夠直接觸摸燒堿溶液，避免灼傷）意圖是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)作反響，反響后膜層掉落，并釋放出氫氣。再用清水清潔真空室和用布沾汽油清潔精抽閥內(nèi)的塵垢。2、當(dāng)粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）接連作業(yè)一個月（旱季折半），需更換新油。辦法是：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵發(fā)動數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，參加新油至額定量（油視鏡調(diào)查）。接連運(yùn)用半年以上，換油時應(yīng)將油蓋翻開，用布擦潔凈箱內(nèi)塵垢。
真空鍍膜機(jī)的維修方法介紹：長期工作的鍍膜機(jī)抽真空的時間很長且達(dá)不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空：1、蒸發(fā)室有很多粉塵（應(yīng)清冼）；2、擴(kuò)散泵很久未換油（應(yīng)清冼換油）；3、前級泵反壓強(qiáng)太大機(jī)械泵真空度太低（應(yīng)清冼換油）；4、各動密封膠圈損壞（更換膠圈）；5、由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化（更換膠圈）；6、蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈）；7、各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象（重新壓緊）；8、高低預(yù)閥是否密封可靠（注油）。真空蒸鍍中的鍍層通常為鋁膜，但其它鍍層也可通過蒸發(fā)沉積形成。
真空鍍膜機(jī)基本技術(shù)要求如下：1、真空鍍膜機(jī)中的真空管道、靜態(tài)密封零部件（法蘭、密封圈等）的結(jié)構(gòu)形式，應(yīng)符合GB/T6070的規(guī)定。2、在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應(yīng)安裝真空測量規(guī)管，分別測量各部位的真空度。當(dāng)發(fā)現(xiàn)電場對測量造成干擾時，應(yīng)在測量口處安裝電場屏蔽裝置。3、如果設(shè)備使用的主泵為擴(kuò)散泵時，應(yīng)在泵的進(jìn)氣口一側(cè)裝設(shè)有油蒸捕集阱。4、設(shè)備的鍍膜室應(yīng)設(shè)有觀察窗，應(yīng)設(shè)有擋板裝置。觀察窗應(yīng)能觀察到沉積源的情況以及其他關(guān)鍵部位。5、離子鍍沉積源的設(shè)計應(yīng)盡可能提高鍍膜過程中的離化率，提高鍍膜材料的利用率，合理匹配沉積源的功率，合理布置沉積源在真空室體的位置。6、合理布置加熱裝置，一般加熱器結(jié)構(gòu)布局應(yīng)使被鍍工件溫升均勻一致。7、工件架應(yīng)與真空室體絕緣，工件架的設(shè)計應(yīng)使工件膜層均勻。8、離子鍍膜設(shè)備一般應(yīng)具有工件負(fù)偏壓和離子轟擊電源，離子轟擊電源應(yīng)具有抑制非正常放電裝置，維持穩(wěn)定。真空鍍膜機(jī)過程的清潔度是影響真空鍍膜附著力的主要指標(biāo)之一。LED蒸鍍機(jī)直銷
冷卻配套冷水機(jī)的作用是維持真空鍍膜機(jī)的溫度，使其工作到高精度、高效率控制溫度的目的。哈爾濱蒸鍍機(jī)系列-FS200
蒸鍍機(jī)的操作步驟：1.將要蒸發(fā)的基底材料洗干凈放在蒸發(fā)頭下面的基板上。2.將要蒸發(fā)的金屬用鑷子團(tuán)成球形放入鎢籃中。3.將蒸發(fā)頭裝在儀器蓋上，插好電線，打開儀器電源開關(guān)。將氮氣鋼瓶的開關(guān)旋開，使流量控制在0.035Mpa左右。4.按“ENTER”按鈕設(shè)置儀器參數(shù)。如果選擇“SinglePulse”模式，其余參數(shù)不需要設(shè)置，值設(shè)置除氣時間，在0～60秒內(nèi)調(diào)節(jié)。5.然后按“START”鍵儀器開始抽真空。6.等儀器進(jìn)入泵保持狀態(tài)，真空度達(dá)到9×10-5mbar是，可進(jìn)行下一步操作。由于鋁比較容易氧化，蒸鋁時至少要在泵保持進(jìn)行30分鐘之后才能進(jìn)行下一步操作。7.按“START”鍵。8.按“△”鍵儀器開始除氣。主要除去要蒸發(fā)的金屬材料表面的一些污垢等。操作時要小心的向右旋下面的黑色按鈕，當(dāng)“Current”顯示為8是就要通知旋動，稍等片刻鎢籃就會發(fā)紅，開始除氣。除氣持續(xù)10秒左右然后就將旋鈕向左旋到底。9.然后按“▽”鍵儀器進(jìn)入蒸發(fā)狀態(tài)。10.蒸鍍完畢后，按“STOP”鍵，停止抽真空，然后打開蓋子取出樣品，關(guān)閉主機(jī)電源盒氣源。哈爾濱蒸鍍機(jī)系列-FS200
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