真空蒸鍍使用的加熱方式主要有:(1)電弧加熱:電弧蒸鍍利用高真空中兩導(dǎo)電材料制成的電極之間形成電弧放電產(chǎn)生的高溫,使電極材料蒸發(fā)而在基體上凝聚成膜。(2)激光加熱:脈沖激光加熱表面可實現(xiàn)材料的瞬時蒸發(fā),脈沖激光作為一種新的加熱源,其特點之一是能量在時間和空間上高度集中,與常規(guī)的熱蒸發(fā)有明顯區(qū)別。帶有離子轟擊裝置的激光蒸發(fā),已用于若干材料的低溫沉積,其中包括高質(zhì)量的高溫超導(dǎo)氧化物薄膜。激光蒸發(fā)可用于透明材料上薄膜的蒸發(fā),從透明材料的背面照射待蒸發(fā)薄膜,把基體面向待蒸發(fā)薄膜放置,通過控制蒸發(fā)區(qū)域,則在基體上可沉積出帶花紋的薄膜。真空鍍膜機(jī)每完成200個鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。小型真空蒸鍍機(jī)哪里有賣
真空鍍膜是必須保持在真空環(huán)境下進(jìn)行的才行。因此真空鍍膜機(jī)若有灰塵,將會影響真空鍍膜的效果和質(zhì)量。但是,需要鍍膜材料表面是沒辦法保證是完全無灰塵的,因此,為了盡量減小材料表面灰塵的前提下,真空鍍膜機(jī)鍍膜的時候必須要注意以下幾點才行。(1)真空鍍膜設(shè)備使用一段時間后,必須要對設(shè)備進(jìn)行清潔維護(hù);(2)規(guī)范操作人員及操作要求,包括穿戴專業(yè)的服裝、手套、腳套等;(3)嚴(yán)格處理襯底材料,做到清潔干凈,合乎工藝要求;(4)源材料符合必要的純度要求;(5)保證設(shè)施設(shè)備及操作環(huán)境清潔。如材料、樣品放置地環(huán)境要求,環(huán)境溫度濕度要求等;(6)降低真空鍍膜設(shè)備室內(nèi)空氣流動性低、盡量減小室外灰塵侵入。寧夏小型蒸鍍設(shè)備真空鍍膜機(jī)本身是一個復(fù)雜的系統(tǒng),包括真空、自動化、機(jī)械等多個系統(tǒng)。
真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發(fā),電子加熱蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材?;c靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,然后形成薄膜。
真空鍍膜機(jī)的操作注意事項:1、真空鍍膜機(jī)操作員要穿著整潔,袖口扣緊(佩戴袖套),上衣下擺不能敞開,不得穿拖鞋、高跟鞋;2、檢查電路各控制開關(guān)能否正常斷開閉合,電壓指示380±20V;3、檢查各螺釘處連接是否牢固,電控柜、主機(jī)的連接線有無松脫現(xiàn)象、接地是否良好;所有電器的開關(guān)在零或者“關(guān)”的位置上;4、檢查鍍膜機(jī)室內(nèi)不銹鋼擋板的插銷是否牢固,角部有無彎曲翹曲等變形情況;5、檢查水壓、氣壓是否正常;水、油、氣是否有漏滴現(xiàn)象;6、設(shè)備中途停水時,應(yīng)立即關(guān)閉擴(kuò)散泵、粗抽泵、羅茨泵,讓維持泵繼續(xù)運行;7、設(shè)備中途停氣時,應(yīng)立即關(guān)閉擴(kuò)散泵、粗抽泵、羅茨泵,讓維持泵繼續(xù)運行。真空鍍膜機(jī)焊縫應(yīng)該一次焊好,以避免兩次焊接的時候造成死空間而不能檢漏。
真空鍍膜機(jī)的保養(yǎng):每完成200個鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。方法:用氫氧化鈉(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,(注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后膜層脫落,并釋放出氫氣,再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。當(dāng)粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個月(雨季減半),需更換新油。方法:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動數(shù)秒,使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。真空鍍膜機(jī)在鍍膜的時,需要鍍層表面的化學(xué)成分保持均勻性。全自動蒸鍍機(jī)設(shè)備批發(fā)
真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜。小型真空蒸鍍機(jī)哪里有賣
真空鍍膜機(jī)擴(kuò)散泵維修與保養(yǎng):1、擴(kuò)散泵在長期工作后性能會逐漸變壞,應(yīng)定期檢查。如:泵油是否減少或氧化,按相應(yīng)要求加油或更換處理;零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用清水進(jìn)行擦洗,并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風(fēng)吹干。處理完后,按順序進(jìn)行裝配,保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心,各級噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。2、待水分揮發(fā)干以后裝好泵芯,加入新擴(kuò)散泵油,并裝回機(jī)體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機(jī)。3、在重新開機(jī)前,要注意檢漏工作。方法是:啟動維護(hù)泵,關(guān)好真空室門,數(shù)分鐘后,觀察真空度是否6*10的0帕,否則要進(jìn)行檢漏,檢查連接處是否漏裝密封膠圈,或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴(kuò)散泵油會燒壞,無法進(jìn)入工作狀態(tài)。小型真空蒸鍍機(jī)哪里有賣
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