真空鍍膜機(jī)擴(kuò)散泵維修與保養(yǎng):1、擴(kuò)散泵在長期工作后性能會(huì)逐漸變壞,應(yīng)定期檢查。如:泵油是否減少或氧化,按相應(yīng)要求加油或更換處理;零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用清水進(jìn)行擦洗,并置于80-100攝氏度溫度下烘干或用電吹風(fēng)吹干。處理完后,按順序進(jìn)行裝配,保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心,各級(jí)噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。2、待水分揮發(fā)干以后裝好泵芯,加入新擴(kuò)散泵油,并裝回機(jī)體,接好水管,裝好電爐盤,便可以重新開機(jī)。3、在重新開機(jī)前,要注意檢漏工作。方法是:啟動(dòng)維護(hù)泵,關(guān)好真空室門,數(shù)分鐘后,觀察真空度是否6*10的0帕,否則要進(jìn)行檢漏,檢查連接處是否漏裝密封膠圈,或者壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒壞,無法進(jìn)入工作狀態(tài)。真空鍍膜機(jī)進(jìn)行真空鍍膜一段時(shí)間后,真空室內(nèi)壁要清潔處理。蒸發(fā)式真空鍍膜設(shè)備報(bào)價(jià)
真空鍍膜機(jī)有哪些類型及其原理?常見的真空鍍膜設(shè)備按其工作原理可分為蒸發(fā)繞線鍍膜、磁控濺射繞線鍍膜和組合繞線鍍膜。蒸發(fā)式卷繞膜涂覆設(shè)備根據(jù)蒸發(fā)過程可分為連續(xù)、半連續(xù)和間歇三種,因設(shè)備結(jié)構(gòu)的不同也可分為:單室、雙室和多室卷繞膜涂覆設(shè)備。主要用于塑料、布、紙、鋼帶等帶材表面的真空蒸發(fā)膜,作為食品金屬化包裝材料、反光材料、保溫材料、表面裝飾材料、電氣材料及各種標(biāo)志、標(biāo)簽、商標(biāo)等裝飾材料。應(yīng)用于包裝、裝飾、印刷、紡織、食品、防偽、卷煙、電子行業(yè)等領(lǐng)域。磁控濺射繞線鍍膜機(jī)工作原理及特點(diǎn):采用磁控濺射(直流、中頻、射頻)方法在柔性基板上沉積各種金屬、合金、化合物、陶瓷等材料,單層或多層鍍膜。適用于柔性襯底上各種鍍介質(zhì)膜系統(tǒng)(二氧化硅、氮化硅、氧化鋁、SnO2,氧化鋅,Ta2O5,等等),導(dǎo)電薄膜(ITO,偶氮),基于“增大化現(xiàn)實(shí)”技術(shù)的電影,減少人力資源高反膜、低輻射低輻射膜、合金薄膜和金屬薄膜(鋁、鉻、銅、鐵、鎳、SUS不銹鋼、鈦鋁合金,等)主要用于:柔性線路板、ITO透明導(dǎo)電膜、薄膜電容、汽車/火車/船舶薄膜、薄膜太陽能電池、柔性太陽能電池FPD平板顯示、柔性顯示裝置等。蒸發(fā)式真空鍍膜設(shè)備報(bào)價(jià)真空鍍膜機(jī)內(nèi)須進(jìn)行結(jié)構(gòu)焊接的時(shí)候,內(nèi)部焊縫不應(yīng)該連續(xù),以便讓來自任何溝槽的氣體容易放出。
真空蒸鍍,簡稱蒸鍍,是指在真空條件下,采用一定的加熱蒸發(fā)方式蒸發(fā)鍍膜材料(或稱膜料)并使之氣化,粒子飛至基片表面凝聚成膜的工藝方法。蒸鍍是使用較早、用途較廣的氣相沉積技術(shù),具有成膜方法簡單、薄膜純度和致密性高、膜結(jié)構(gòu)和性能獨(dú)特等優(yōu)點(diǎn)。蒸鍍的物理過程包括:沉積材料蒸發(fā)或升華為氣態(tài)粒子→氣態(tài)粒子快速從蒸發(fā)源向基片表面輸送→氣態(tài)粒子附著在基片表面形核、長大成固體薄膜→薄膜原子重構(gòu)或產(chǎn)生化學(xué)鍵合。將基片放入真空室內(nèi),以電阻、電子束、激光等方法加熱膜料,使膜料蒸發(fā)或升華,氣化為具有一定能量(0.1~0.3eV)的粒子(原子、分子或原子團(tuán))。氣態(tài)粒子以基本無碰撞的直線運(yùn)動(dòng)飛速傳送至基片,到達(dá)基片表面的粒子一部分被反射,另一部分吸附在基片上并發(fā)生表面擴(kuò)散,沉積原子之間產(chǎn)生二維碰撞,形成簇團(tuán),有的可能在表面短時(shí)停留后又蒸發(fā)。粒子簇團(tuán)不斷地與擴(kuò)散粒子相碰撞,或吸附單粒子,或放出單粒子。此過程反復(fù)進(jìn)行,當(dāng)聚集的粒子數(shù)超過某一臨界值時(shí)就變?yōu)榉€(wěn)定的核,再繼續(xù)吸附擴(kuò)散粒子而逐步長大,然后通過相鄰穩(wěn)定核的接觸、合并,形成連續(xù)薄膜。
真空鍍膜機(jī)如何選擇?1、冷卻水循環(huán)系統(tǒng),鍍膜需要配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng),冷卻水盡量使用去離子水,對(duì)防腐有很大的作用,尤其是真空室的焊道,一些容易生銹的零件,可以在去離子水中加入一些防腐劑,也可以防腐。2、是否需要配置低溫收集器PolyCold,低溫收集器可以說是錦上添花的設(shè)備,可以大幅度提高吸引速度,將真空室內(nèi)的可凝縮氣體吸附在冷盤管上,凈化真空室內(nèi)的氣氛,提高膜層質(zhì)量,進(jìn)而提高生產(chǎn)效率。3、控制系統(tǒng),現(xiàn)在很多的鍍膜機(jī)都采用全自動(dòng)控制,但是在自動(dòng)控制中的區(qū)別還是很大的,大多數(shù)還是在半自動(dòng)的狀態(tài),真正能夠?qū)崿F(xiàn)全自動(dòng)控制的,一鍵式操作的鍍膜設(shè)備還不多,而且在自動(dòng)控制中是否給操作中足夠的安全互鎖,功能模塊也是區(qū)別很大的。真空鍍膜機(jī)的鍍膜方式是一種綠色低碳、符合行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的方式。
真空鍍膜機(jī)工作環(huán)境要求:真空鍍膜設(shè)備應(yīng)在真空條件下工作,因此設(shè)備應(yīng)滿足真空對(duì)環(huán)境的要求。真空對(duì)環(huán)境的要求一般包括真空設(shè)備對(duì)實(shí)驗(yàn)室(或車間)溫度、空氣和其他周圍環(huán)境中顆粒物的要求,以及對(duì)真空或真空中零件或表面的要求。這兩個(gè)方面密切相關(guān)。周圍環(huán)境直接影響真空設(shè)備的正常使用;真空室或安裝在真空設(shè)備中的零件是否清潔直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量水蒸氣和灰塵,則在不清潔真空室的情況下,使用油封機(jī)械泵泵送很難達(dá)到預(yù)期的真空度。眾所周知,油封機(jī)械泵不應(yīng)泵出含有對(duì)金屬有腐蝕性且對(duì)真空油有反應(yīng)的顆粒粉塵的氣體。水蒸氣是一種可冷凝的氣體。當(dāng)泵出大量可凝氣體時(shí),對(duì)泵油的污染將更加嚴(yán)重。因此,泵的極限真空將降低,泵的泵送性能將受損。真空鍍膜機(jī)中途停電時(shí),應(yīng)立即關(guān)總電源,后關(guān)擴(kuò)散泵、粗抽泵、維持泵。拉薩蒸鍍機(jī)工作原理
真空鍍膜機(jī)采用真空下蒸發(fā)或?yàn)R射鍍膜的形式無污染,是一種綠色低碳、符合行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略方式。蒸發(fā)式真空鍍膜設(shè)備報(bào)價(jià)
真空鍍膜機(jī)基本技術(shù)要求如下:1、真空鍍膜機(jī)中的真空管道、靜態(tài)密封零部件(法蘭、密封圈等)的結(jié)構(gòu)形式,應(yīng)符合GB/T6070的規(guī)定。2、在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應(yīng)安裝真空測量規(guī)管,分別測量各部位的真空度。當(dāng)發(fā)現(xiàn)電場對(duì)測量造成干擾時(shí),應(yīng)在測量口處安裝電場屏蔽裝置。3、如果設(shè)備使用的主泵為擴(kuò)散泵時(shí),應(yīng)在泵的進(jìn)氣口一側(cè)裝設(shè)有油蒸捕集阱。4、設(shè)備的鍍膜室應(yīng)設(shè)有觀察窗,應(yīng)設(shè)有擋板裝置。觀察窗應(yīng)能觀察到沉積源的情況以及其他關(guān)鍵部位。5、離子鍍沉積源的設(shè)計(jì)應(yīng)盡可能提高鍍膜過程中的離化率,提高鍍膜材料的利用率,合理匹配沉積源的功率,合理布置沉積源在真空室體的位置。6、合理布置加熱裝置,一般加熱器結(jié)構(gòu)布局應(yīng)使被鍍工件溫升均勻一致。7、工件架應(yīng)與真空室體絕緣,工件架的設(shè)計(jì)應(yīng)使工件膜層均勻。8、離子鍍膜設(shè)備一般應(yīng)具有工件負(fù)偏壓和離子轟擊電源,離子轟擊電源應(yīng)具有抑制非正常放電裝置,維持穩(wěn)定。蒸發(fā)式真空鍍膜設(shè)備報(bào)價(jià)
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