真空泵機械選擇：真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施；了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等；真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。真空泵處于極限狀態(tài)時,第1級排出的水很少,有時甚至沒有。干泵規(guī)格
螺桿真空泵的結構：傳動軸連接主動轉子，通過同步齒輪帶動從動轉子旋轉，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，通用的是直連電機，用聯(lián)軸器與轉子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。等螺距螺桿泵由于無內(nèi)壓縮過程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會造成轉子和機殼變形，影響抽氣效果。冷卻機殼是必不可少的一個環(huán)節(jié)，水冷是比較常見的方法，在機殼本體、軸承外側通冷卻水，可以達到冷卻殼體進而冷卻轉子的目的。雙級旋片式真空泵供貨公司羅茨真空泵主要是在泵體內(nèi)兩個相反轉動的轉子，由一對同步齒輪帶動，羅茨真空泵的轉子在泵體內(nèi)嚙合。
動量傳輸泵：這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇＞唧w可分為下述幾種類型：分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式：①牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得力量，被送到出口，因此，是一種動量傳輸泵。②渦輪分子泵：泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子，它在定子圓盤（或定片）間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。③復合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)起來的一種復合式分子真空泵。
氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出的工具，他是借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型，分別是變?nèi)菡婵毡煤蛣恿總鬏敱?。變?nèi)菡婵毡茫豪帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋片式兩種：（1）往復式真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做往復式運動，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱為活塞式真空泵。（2）旋片式真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉運動，將氣體吸入、壓縮并排出。真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。
真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發(fā)生化學反應，腐蝕泵內(nèi)零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在比較低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。真空泵腐蝕的形態(tài)可分為詳細（均勻）腐蝕和局部腐蝕兩大類，前者較均勻的發(fā)生在真空泵全部表面，后者只是發(fā)生在局部，如孔蝕、縫隙腐蝕、晶間腐蝕、應力腐蝕等。采用高分子復合材料對真空泵實施表面有機涂層防腐，其具有良好的耐化學性能及優(yōu)異的力學性能和粘接性能，與傳統(tǒng)的壓力容器焊接修補相比，具有施工簡便、成本低、安全性能，修復效果好的特點。真空泵是一種旋轉式變?nèi)?，真空泵須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速。雙旋片真空泵售價
真空泵油氧化穩(wěn)定性：長期在高溫條件下與空氣、樹脂、化學原料等直接接觸亦不易變質(zhì)。干泵規(guī)格
分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。干泵規(guī)格