國內(nèi)螺桿真空泵的企業(yè),從2004年起便開始進(jìn)行型線與結(jié)構(gòu)性能方面的研究。在2007年國內(nèi)干式螺桿真空泵的市場基本被國外廠家占據(jù)的時候,國內(nèi)公司投入大量資金將該產(chǎn)品轉(zhuǎn)入批量化的生產(chǎn),并得到國家的大力支持獲得各類省級科技獎項和資金。LG干式螺桿真空泵極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/噴射式/水環(huán)式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,在國內(nèi)各大制藥和化工企業(yè)得到大量應(yīng)用。針對不同工藝條件,其過流部件(即轉(zhuǎn)子和泵體等與氣體接觸的部分)均有防腐涂層,包括鎳磷涂層和PTFE兩種。真空泵的壓縮比:壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比。雙極真空泵供應(yīng)價格
噴射真空泵:它是利用文丘里(VENTURI)效應(yīng)的壓力降生產(chǎn)的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵,適于在粘滯留和過渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可詳細(xì)地分成以下幾種:① 液體噴射真空泵:以液體(通常為水)為工作介質(zhì)的噴射真空泵。② 氣體噴射真空泵:以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。③ 蒸汽噴射真空泵:以蒸汽(水、油或汞蒸汽)作為工作介質(zhì)的餓噴射真空泵。擴(kuò)散噴射泵:它是一種有擴(kuò)散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯(lián)組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。離子傳輸泵:它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下,輸送到出口的一種動量傳輸泵。雙極真空泵供應(yīng)價格真空泵的何氏系數(shù):泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速 與該處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。
在檢查確定真空泵工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏??紤]達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。它是決議產(chǎn)品的大小,抽氣量請求愈高,產(chǎn)品體積相對愈大,所需配用的電機(jī)功率亦會愈高。它是決議產(chǎn)品采用何種構(gòu)造,真空度是有表壓及壓力這兩種讀數(shù)。壓力表示讀數(shù)是值,即讀數(shù)愈靠近‘0\',真空度愈高。但反觀表壓,愈接近760mmHɡ即表示真空度愈高,假若你所請求的壓力(極限真空)是靠近‘0\',那么只要真空泵才能夠滿足這個需求。羅茨真空泵不能單獨(dú)使用,它通常需配置前級泵,主要起提高抽速和真空度的作用。
隨著技術(shù)的發(fā)展,真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種真空泵數(shù)量很多,加工裝配工作量很大,價格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān),價格又遠(yuǎn)比國外的泵便宜,所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢,關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題,確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠,同時還要進(jìn)一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。真空泵轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。上海雙級旋片真空泵哪里有賣
真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。雙極真空泵供應(yīng)價格
拆卸真空泵:在拆卸前應(yīng)將泵腔內(nèi)的水放出,要將氣水分離器和吸氣管部件拆下,在拆卸過程中應(yīng)將所有的墊片謹(jǐn)慎的取下,如有損壞應(yīng)更換同樣的墊片。泵應(yīng)從后端(無聯(lián)軸器或無皮帶輪一端)開始拆卸,其順序如下:拆后軸承壓蓋,用勾板手將兩圓螺母松開,取下軸承座及軸承;松開填料壓蓋螺母,取下填料壓蓋;拆下連接結(jié)泵蓋與泵體的六角螺栓和泵蓋底腳處螺栓后,取下后端蓋;取下泵體;松開另一端底腳螺栓;卸下聯(lián)軸器,并取下軸上的鍵;卸下前軸承部件;卸下前端蓋后將軸和葉輪一起取出。拆卸完畢后,應(yīng)將零件上有關(guān)配合面涂上機(jī)油,螺紋處也應(yīng)涂上機(jī)油保護(hù)好。雙極真空泵供應(yīng)價格
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