激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數(shù)控設備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發(fā)射線的放射達到光的放大,即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納米(nm)的波長輸出。激光具有三個重要特性:激光波長非常穩(wěn)定,可以滿足精密測量的要求。激光波長非常短,可以用于高精度測量。激光具有干涉特性。激光干涉儀使用注意事項:必要時要使用精密儀表油潤滑。遼寧進囗激光干涉儀設備廠家
激光干涉儀常配合筆記本電腦使用,但如果不注意這些問題,無論是軟件抑或是電腦病毒,往往會影響到測量和使用。激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關?激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)均與激光波長有關,因此激光器頻率的準確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外,激光干涉儀的環(huán)境條件補償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準確性對的測量精度有著重要的影響。江蘇數(shù)控軸平行度激光干涉儀激光干涉儀的應用:數(shù)控機床動態(tài)性能檢測。
激光干涉儀的應用:幾何精度檢測??捎糜跈z測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到比較佳精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。
激光干涉儀以其優(yōu)異的亞納米精度和精密度普遍應用于光學表面的評價,在精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設備制造等領域用途普遍。到激光干涉儀工作原理和一臺干涉儀所應具備的基本組構。激光干涉儀是精度較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進行定義,可溯源至國家標準。激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準直都會造成測得的距離和實際的運動距離之間有差異,此誤差被稱為余弦誤差。當激光測量系統(tǒng)與運動軸未準直時,余弦誤差會使得測量的距離比實際距離要短。隨著未準直角度的增加,誤差也跟著明顯增加。激光干涉儀維護保管時需要注意哪些方面?
激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡。可進行滾珠絲桿的動態(tài)特性分析。廣州顯微式激光干涉儀加工生產(chǎn)
激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快。遼寧進囗激光干涉儀設備廠家
單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù),再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù)),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。遼寧進囗激光干涉儀設備廠家