3.根據(jù)權利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述半透半反光學鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，所述半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，所述上三棱鏡和所述下三棱鏡的直角邊相等。4.根據(jù)權利要求3所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設置為啞光面。5.根據(jù)權利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭，所述色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組，所述準直鏡組設置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光光源的準直；所述色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側(cè)，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散。該傳感器可被應用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量。金華光譜共焦位移傳感器答疑解惑
采用入射光纖和接收光纖分離的方式，發(fā)射光和反射光從不同的光路中傳輸，從而避免光線在傳輸過程中產(chǎn)生內(nèi)部干擾，提高了光譜共焦系統(tǒng)的信噪比；而且通過設置發(fā)射光和反射光的單獨通道，光路更順暢，發(fā)射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時不會出現(xiàn)自身反射，從而避免光信號的干擾和能量損失。而傳統(tǒng)的光路設置過程中，采用的是Y型光纖，入射光纖和接收光纖在探頭內(nèi)耦合成一條光纖，形成Y型光纖，這樣會產(chǎn)生內(nèi)部串擾，降低信噪比，影響有效信號的提取和整個系統(tǒng)的穩(wěn)定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨進行設置，可以避免傳統(tǒng)Y型光纖的問題，使光的傳播更加穩(wěn)定。河南光譜共焦位移傳感器性價比高它可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行精確測量，對于研究材料的變形行為具有重要意義。
8.根據(jù)權利要求7所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述機殼設置有兩層，所述聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，所述感光元件位于所述機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，所述光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡，所述光線轉(zhuǎn)向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件，所述提示組件包括有：發(fā)光件，所述發(fā)光件設置在光源耦合器中；導光光纖，所述導光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上，所述導光光纖用于傳導所述發(fā)光件所發(fā)出的提示光。10.根據(jù)權利要求9所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述入射光纖，接收光纖，導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內(nèi)。
根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的,以及所述光學系統(tǒng)是在使用所述預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且所述光學系統(tǒng)包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。根據(jù)權利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。
套筒限位在限位槽內(nèi),且與限位槽相匹配,套筒上設置有用于光纖連接的螺紋孔進一步,兩個雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對稱設置。進一步,兩個雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。進一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm。進一步,鹵素燈光源的光譜波段范圍為360nm~2500nm。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復。光譜共焦傳感器是一種基于光學色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應關系。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術已經(jīng)比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。有哪些光譜共焦位移傳感器誠信合作
光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動等優(yōu)點。金華光譜共焦位移傳感器答疑解惑
光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中的光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調(diào)整的準直透鏡組，準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機殼設置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，感光元件位于機殼的下層，聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。金華光譜共焦位移傳感器答疑解惑