上海優(yōu)勢光譜共焦位移傳感器

被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實(shí)現(xiàn)光譜共焦測量位移的過程，通過光譜共焦工作原理，避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動(dòng)等效應(yīng)。上海優(yōu)勢光譜共焦位移傳感器

在光源耦合器上可裝配連接有入射光纖，入射光纖固定連接在光源耦合器上后，入射光纖的入光端固定連接在光源耦合器中，入射光纖用于接收并傳導(dǎo)所述多色光光源所發(fā)出的多色光；，在入射光纖的出光端固定連接有光譜共焦位移傳感探頭，光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長的光分別在聚焦于軸向不同高度，并對被測物體的反射光進(jìn)行接收和傳導(dǎo)；在光譜共焦位移傳感探頭上固定連接有接收光纖，接收光纖的入光端固定設(shè)置在光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，接收光纖的入光端用于選擇性的接收光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測物體的反射光，接收到的反射光在接收光纖內(nèi)進(jìn)行傳導(dǎo)；成都光譜共焦位移傳感器誠信企業(yè)推薦光譜共焦位移傳感器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測材料的變化情況，對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。

本實(shí)施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接，探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體，用于對探頭內(nèi)的光學(xué)元件進(jìn)行安裝和支撐且對結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù)，易于想到的是，探頭殼體可設(shè)置為方形，多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設(shè)置有半透半反光學(xué)鏡，半透半反光學(xué)鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方；半透半反光學(xué)鏡對通過入射光纖傳導(dǎo)后的多色光實(shí)現(xiàn)一半透射而一半反射，而當(dāng)透射的光線經(jīng)過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學(xué)鏡上，半透半反光學(xué)鏡對反射光進(jìn)行一半透射，一半反射；

根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口被設(shè)置成從所述多個(gè)光入射口入射的所述多個(gè)測量光束各自的光軸變得與所述預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對于所述預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對于所述虛擬光入射口相互對稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。

隨著精密和超精密制造業(yè)的迅速發(fā)展,對高精密的檢測需求也越來越高,因此高精密的位移傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。超精密的位移傳感器精度可達(dá)到微納米級別;傳統(tǒng)的接觸式測量雖然也有較高的精度,但是由于其可能會劃傷被測物體表面,而且當(dāng)被測物體為弱剛性或是輕軟材料時(shí),接觸式測量也會造成彈性形變,引入測量的誤差,而且接觸式測量速度較慢,難以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測量,基于接觸式測量存在的諸多不足,因此非接觸式位移傳感器受到了更大的關(guān)注。如今非接觸式測量主要有電磁式和光電式兩類,電磁式位移傳感器對被測物體的材料類型有要求,因此不具有wide適用性,而且外界的電磁信號的干擾也會對測量的精度造成影響;高精密光電式位移傳感器,目前常用的是基于激光三角法的位移傳感器,其測量原理是激光光源打在被測物體表面,反射的光經(jīng)過收光鏡簡,在光電探測器CCD上成像通過算法標(biāo)定可以推算出被測物體的位移。目前的光譜共焦位移傳感器大多采用分光鏡和線陣CCD采集干涉條紋的方法,通過兩束光源產(chǎn)生干涉,干涉條紋的寬度信息可以反映被測物的位移量測量信息,此種方案結(jié)構(gòu)復(fù)雜,成本相對較高;傳統(tǒng)的激光三角法光路容易出現(xiàn)遮擋,導(dǎo)致接收反射光困難,對透明玻璃或表面有凹坑的材料等更是難以測量。它可以實(shí)現(xiàn)對材料的變形過程進(jìn)行精確測量，對于研究材料的變形行為具有重要意義。唐山哪些光譜共焦位移傳感器

該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測量。上海優(yōu)勢光譜共焦位移傳感器

通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個(gè)光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域。 多個(gè)光入射口可以被設(shè)置成從 多個(gè)光入射口入射的 多個(gè)測量光束各自的光軸變得與 預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。因此,可以容易地將各測量光束射出至多個(gè)受光區(qū)域。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對于 預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對稱的位置處。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對于 虛擬光入射口相互對稱的位置處。通過將多個(gè)光入射口設(shè)置在相對于作為基準(zhǔn)軸的起點(diǎn)的虛擬光入射口相互對稱的位置處,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。上海優(yōu)勢光譜共焦位移傳感器