通過(guò)配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測(cè)量對(duì)象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。多個(gè)光學(xué)頭可以是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來(lái)執(zhí)行2個(gè)或3個(gè)點(diǎn)的同時(shí)測(cè)量。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測(cè)量方法包括射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束。通過(guò)多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光。使從多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束。基于線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來(lái)執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。應(yīng)當(dāng)注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說(shuō)明書(shū)中的任何效果。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的微小變形進(jìn)行精確測(cè)量，對(duì)于研究材料的性能具有重要意義。安徽光譜共焦位移傳感器按需定制
發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間，固定設(shè)置有濾光片，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間，濾光片用于過(guò)濾紅外線，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時(shí)，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有沉孔，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開(kāi)設(shè)在沉孔底部，且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過(guò)沉孔的設(shè)置，在探頭殼體上形成對(duì)導(dǎo)光光纖連接位進(jìn)行避讓，避免使用者在使用過(guò)程中觸碰到導(dǎo)光光纖，從而影響影響導(dǎo)光光纖，或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位。湖北光譜共焦位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)它可以測(cè)量物體的微小位移，精度可以達(dá)到亞微米級(jí)別。
傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度，使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移，而波長(zhǎng)不同，其橫向偏移不相等，導(dǎo)致多色光的光軸發(fā)生分離，經(jīng)過(guò)色散鏡頭后的聚焦點(diǎn)上不在光軸上，其連線也不是一條直線，所以會(huì)產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值，使整個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生較大誤差，難以保證整個(gè)系統(tǒng)的測(cè)量精度。因此，本方案采用的半透半反光學(xué)鏡2300實(shí)現(xiàn)所有多色光的波長(zhǎng)共光軸，不發(fā)生光軸偏移，即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對(duì)稱，而且沒(méi)有垂直光軸方向的偏移，可以更好的消除像差，同時(shí)其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，提高機(jī)械結(jié)構(gòu)的可加工性。
被測(cè)物體表面反射的反射光通過(guò)探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過(guò)設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過(guò)光譜波峰位置反推出被測(cè)物體的位移，實(shí)現(xiàn)光譜共焦測(cè)量位移的過(guò)程，通過(guò)光譜共焦工作原理，避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測(cè)量技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。
套筒限位在限位槽內(nèi),且與限位槽相匹配,套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔進(jìn)一步,兩個(gè)雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對(duì)稱設(shè)置。進(jìn)一步,兩個(gè)雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。進(jìn)一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm。進(jìn)一步,鹵素?zé)艄庠吹墓庾V波段范圍為360nm~2500nm。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會(huì)出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測(cè)目標(biāo)表面過(guò)于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對(duì)被測(cè)物體適應(yīng)性強(qiáng),適用于手機(jī)玻璃的檢測(cè),凹坑、小孔的測(cè)量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長(zhǎng)間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運(yùn)用也比較widely,但由于CCD相機(jī)接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測(cè)量。光譜共焦位移傳感器由于其運(yùn)用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量不了的領(lǐng)域,對(duì)一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測(cè)量,且測(cè)量精度能夠達(dá)到亞微米級(jí)別。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的振動(dòng)頻率和振動(dòng)幅度的測(cè)量，對(duì)于研究材料的振動(dòng)特性具有重要意義。好的光譜共焦位移傳感器技術(shù)指導(dǎo)
它的精度可以達(dá)到納米級(jí)別，適用于各種需要高精度位移測(cè)量的領(lǐng)域。安徽光譜共焦位移傳感器按需定制
光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中的光譜儀還包括有用于對(duì)反射光進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整的準(zhǔn)直透鏡組，準(zhǔn)直透鏡組設(shè)置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機(jī)殼設(shè)置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層，感光元件位于機(jī)殼的下層，聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設(shè)置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉(zhuǎn)向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。安徽光譜共焦位移傳感器按需定制