成都標準光譜共焦位移傳感器

位于沉孔的開口端，通過粘接固定設置有透光鏡，透光鏡為玻璃材質或塑料材質，透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡，平面透光鏡的設置可以對導光光纖的出光端進行保護，本實施例中推薦凹透鏡，凹透鏡可以將導光光纖從發(fā)光件傳導過來的光發(fā)散傳導到探頭外，使光的指示范圍更廣，更有利于使用者觀察。探頭殼體設置為兩部分，包括有上殼體和下殼體，上殼體和下殼體均為圓柱形，上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實現(xiàn)可拆卸連接，導光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上；而探頭的其他精密光學部件設置在下殼體上，這樣導光光纖傳導從發(fā)光件發(fā)出來的光時，不可避免的會產(chǎn)生熱量，通過上殼體與下殼體的分開設置，從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產(chǎn)生配合間隙，導光光纖的熱量大部分會傳導到上殼體上，上殼體與下殼體的配合間隙會抵消上殼體因受熱而產(chǎn)生的形變量，從而減少產(chǎn)生的熱量對下殼體及對下殼體中的高精度元件的影響，提高探頭精度。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術，具有廣闊的應用前景。成都標準光譜共焦位移傳感器

進一步，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接； 半透半反光學鏡，半透半反光學鏡固定設置在入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，反光鏡固定設置在探頭殼體的內側壁上，反光鏡用于反射半透半反光學鏡所發(fā)出的反射光，接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進一步，半透半反光學鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置，上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。唐山光譜共焦位移傳感器的用途和特點該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。

接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設置在所述光譜共焦位移傳感探頭內，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光；光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。2.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接；半透半反光學鏡，所述半透半反光學鏡固定設置在所述入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，所述反光鏡固定設置在所述探頭殼體的內側壁上，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學鏡所發(fā)出的反射光，所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。

采用入射光纖和接收光纖分離的方式，發(fā)射光和反射光從不同的光路中傳輸，從而避免光線在傳輸過程中產(chǎn)生內部干擾，提高了光譜共焦系統(tǒng)的信噪比；而且通過設置發(fā)射光和反射光的單獨通道，光路更順暢，發(fā)射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時不會出現(xiàn)自身反射，從而避免光信號的干擾和能量損失。而傳統(tǒng)的光路設置過程中，采用的是Y型光纖，入射光纖和接收光纖在探頭內耦合成一條光纖，形成Y型光纖，這樣會產(chǎn)生內部串擾，降低信噪比，影響有效信號的提取和整個系統(tǒng)的穩(wěn)定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨進行設置，可以避免傳統(tǒng)Y型光纖的問題，使光的傳播更加穩(wěn)定。光譜共焦技術可以消除光學系統(tǒng)的像差和色差等影響，提高測量精度。

本實用新型解決的技術問題在于，針對現(xiàn)有技術的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過光譜共焦工作原理，避免通過激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；該傳感器的應用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性。本地光譜共焦位移傳感器信賴推薦

該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域的精密測量。成都標準光譜共焦位移傳感器

被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移，實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。成都標準光譜共焦位移傳感器