被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移，實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況，對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。鎮(zhèn)江光譜共焦位移傳感器制造廠家
光學(xué)頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計。例如,可以使用諸如孔和準(zhǔn)直透鏡等的其它透鏡。在本實施例中,可以通過No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭來測量待測物體上的兩個測量點的位置。換句話說,可以同時對作為No.1 光學(xué)頭和第二光學(xué)頭的測量對象的兩個測量點和進(jìn)行多點測量。當(dāng)然,本發(fā)明不限于在同一待測物體0上進(jìn)行多點測量的情況,并且可以同時測量兩個不同的待測物體。將從No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭射出的測量光和經(jīng)由光纖和引導(dǎo)至控制器。射出綠色光作為測量光和。當(dāng)然,本發(fā)明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點和的位置相對應(yīng)的波長光。北京光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理該傳感器可應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量。
在能夠以這種方式執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術(shù)。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學(xué)頭、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學(xué)頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處，并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光。
線傳感器可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的。在這種情況下,光學(xué)系統(tǒng)可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且光學(xué)系統(tǒng)可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。通過以這種方式在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時配置光學(xué)系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應(yīng)的測量光。特別地,通過使用該基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)來在不同位置處設(shè)置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區(qū)域。 預(yù)定基準(zhǔn)軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區(qū)域。光譜共焦位移傳感器是一種高精度具有廣泛的應(yīng)用前景。
激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同，激光傳感器可分為點、線兩種。點激光位移傳感器在一個采樣周期內(nèi)只能獲得被測量的一維信息，使用時通常依托于三坐標(biāo)測量機(jī)或三坐標(biāo)機(jī)床等設(shè)備，通過設(shè)備機(jī)械運(yùn)動及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息。因此，激光位移傳感器在精密測量領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。。。光譜共焦位移傳感器是一種先進(jìn)的光學(xué)測量技術(shù)，可以實現(xiàn)高精度的位移測量。紹興光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求
該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測量。鎮(zhèn)江光譜共焦位移傳感器制造廠家
光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件，提示組件包括有：發(fā)光件，發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中；導(dǎo)光光纖，所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中，且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上，所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進(jìn)一步，入射光纖，接收光纖，導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套，所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。采用上述方案的有益效果是：本實用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器，通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源，多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；鎮(zhèn)江光譜共焦位移傳感器制造廠家