入射光纖,接收光纖,多個導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套,所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。這樣通過保護(hù)套使入射光纖,接收光纖,多個導(dǎo)光光纖形成通過光源耦合器產(chǎn)生多色光,多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)。通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的半透半反光學(xué)鏡和色散鏡頭使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,光譜儀對反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對反射光進(jìn)行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對不同材料的位移測量,包括金屬、陶瓷、塑料等。哈爾濱光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項
根據(jù)權(quán)利要求7所述的光譜共焦傳感器,其中,所述分光器包括設(shè)置有所述多個光入射口的光入射面,以及所述多個光入射口設(shè)置在包括所述線方向和所述預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與所述光入射面相交的直線上。根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中,在針對所述多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,所述多個受光區(qū)域與分別對應(yīng)于所述多個光學(xué)頭的多個測量對象區(qū)域相對應(yīng),其中,該區(qū)域是所述線傳感器的從在射出所述多個光束中的具有shortest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。浦東新區(qū)光譜共焦位移傳感器哪個品牌好光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的振動頻率和振動幅度的測量,對于研究材料的振動特性具有重要意義。
本實施例中在探頭殼體的內(nèi)壁上一體成型設(shè)置有鏡座,反光鏡粘接固定設(shè)置在所述鏡座上,所述反光鏡的反光面與探頭殼體的軸向呈45°設(shè)置。通過鏡座對反光鏡形成穩(wěn)定支撐,使反光鏡的反光面與所述探頭殼體的軸向呈45°,便于對光線進(jìn)行反射,使被測物體反射的光線經(jīng)半透半反光學(xué)鏡后轉(zhuǎn)折90°,到達(dá)反光鏡,反光鏡對其轉(zhuǎn)折90°,使光線順利進(jìn)入接收光纖的入光端。探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭,色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組,準(zhǔn)直鏡組固定設(shè)置在靠近多色光光源的一側(cè),用于多色光的準(zhǔn)直;色散聚焦鏡組設(shè)置在被測物體的一側(cè),用于將多色光分別色散和聚焦,使不同波長的光的焦點沿軸向分布在不同高度。從半透半反光學(xué)鏡射出的光線到達(dá)色散鏡頭,先通過準(zhǔn)直鏡組對多色光進(jìn)行準(zhǔn)直,使出射光線變成為軸向平行光,軸向平行光到達(dá)色散聚焦鏡組,從色散聚焦鏡組射出的各色光由于波長的不同而聚焦在不同的高度,各焦點高度按照波長的順序,沿軸向依次排列。
本實用新型涉及光電精密測量領(lǐng)域,尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,對產(chǎn)品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高,所以,能否進(jìn)行高效率、高精度的檢測,將直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。能進(jìn)行高效率、高精度測量的技術(shù)手段通常分為接觸式測量(以機(jī)械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學(xué)式為主)兩類。非接觸式光學(xué)測量具有如下優(yōu)點:無損檢測:可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件,特別適合不允許接觸的場景。該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng),例如光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。
本實用新型解決的技術(shù)問題在于,針對現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷,提供一種光譜共焦位移傳感器,旨在通過光譜共焦工作原理,避免通過激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。本實用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案如下: 一種光譜共焦位移傳感器,包括底座,其中,還包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光; 入射光纖,所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光;它可以測量物體的微小位移,精度可以達(dá)到亞微米級別。通信光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好
該傳感器利用光路中的光譜信息來測量位移。哈爾濱光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項
當(dāng)光線射到半透半反膜上時,一部分光線進(jìn)行透射到下三棱鏡上,一部分光線進(jìn)行反射,反射到背向所述反光鏡的一面,在上三棱鏡背向所述反光鏡的一面上進(jìn)行涂黑處理從而成為啞光面,當(dāng)光被半透半反光學(xué)鏡反射到啞光面上時,被啞光面吸收,因此可以減少整個系統(tǒng)的雜散光,提高信噪比。由于半透半反膜的厚度很小,因此射到下三棱鏡上的折射光線的偏移量小,因此可認(rèn)為,多色光從下三棱鏡射出時,基本不發(fā)生位置偏移,從下三棱鏡上射出的光線的光軸與從入射光線的出光端射出的光軸重合。這樣實現(xiàn)所有多色光的波長共光軸,而且不發(fā)生光軸偏移,有利于后續(xù)對多色光進(jìn)行色散和聚焦。哈爾濱光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項