被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移，實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。該傳感器的優(yōu)點包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動等效應。泰州品牌光譜共焦位移傳感器
本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素燈光源、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖，光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組，光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔，光路通道上從左往右依次設置有較早卡槽和第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個較早卡槽內,彎月透鏡限位在第二卡槽內。本實用新型采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組，具有較強的實用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。湖北光譜共焦位移傳感器性價比高企業(yè)該傳感器可以與其他測量設備相結合，實現(xiàn)多參數(shù)的綜合測量。
光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中的光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組，準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機殼設置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，感光元件位于機殼的下層，聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。
過去,針對測量待測物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻1)公開了使用多個頭部的共焦光學系統(tǒng)來進行對測量對象的位移的多點測量的共焦測量設備。在該共焦測量設備中,在各頭部中設置有光學濾波器,并且設置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻1的說明書中的段落、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個區(qū)域(通道)。結果,可以針對多個光學頭only使用一個分光器(攝像裝置)來進行測量對象的多點測量.它利用光譜共焦技術來測量物體的微小位移，具有亞微米級的高精度。
1.光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述傳感器系統(tǒng)由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素燈光源連接所述Y型光纖,所述光譜儀通過所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套簡和一個彎月透鏡,所述盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個所述雙凸球面鏡分別限位在兩個所述number one卡槽內,所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內,所述Y型光纖通過SMA905插頭與所述盒體相連。2.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽內,且與所述限位槽相匹配,所述套筒上設置有用于光纖連接的螺紋孔。3.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍葘ΨQ設置。4.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。光譜共焦技術可以消除光學像差和色差的影響，提高測量精度。銷售光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家
該傳感器的應用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性。泰州品牌光譜共焦位移傳感器
在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀，當光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后，光譜儀與接收光纖的出光端實現(xiàn)固定連接，光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。這樣，通過光源耦合器產生多色光，多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內；通過光譜共焦位移傳感探頭內的透鏡組和光學元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向高度，使波長與被測物體的位移產生對應關系；泰州品牌光譜共焦位移傳感器