在圖1所示的實(shí)施例中,成像物鏡6包含以下兩種結(jié)構(gòu)形式:(形式一)成像物鏡6為物側(cè)面和像側(cè)面都為非球面的單一非球面鏡片,(形式二)成像物鏡6是由多個(gè)鏡片組合而成的透鏡組。綜上所述,本發(fā)明在激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí),利用增加像散,在感光元件的感光單元沿著S方向排列的情況下,拉高成像物鏡S方向的MTF值同時(shí)降低T方向上的MTF值,使得線陣感光元件上的光斑呈現(xiàn)長(zhǎng)條狀態(tài),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)以下技術(shù)效果:降低激光位移傳感器中成像物鏡的設(shè)計(jì)難度,同時(shí)降低了設(shè)備的成本;高精度激光位移傳感器還可以用于科學(xué)研究和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。珠海激光位移傳感器常用解決方案
帶通濾光片,設(shè)置于成像物鏡的入射光路上。聚焦透鏡,設(shè)置于激光器的出射光路上。可選地,上述感光元件為線陣感光元件,線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿直線排列,該直線的延伸方向?yàn)槎鄠€(gè)感光單元的主要排列方向。上述也可以是感光元件為面陣感光元件,面陣感光元件包括以矩形排列的多個(gè)感光單元,面陣感光元件的長(zhǎng)邊延伸方向?yàn)槎鄠€(gè)感光單元的主要排列方向。此外,上述成像物鏡可以為單一鏡片,且成像物鏡的物側(cè)面和像側(cè)面皆為非球面;或者,成像物鏡為多個(gè)透鏡組成的透鏡組。國(guó)內(nèi)激光位移傳感器市場(chǎng)價(jià)格這種傳感器具有較高的穩(wěn)定性和可靠性,能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地工作。
在一個(gè)實(shí)施例中,激光位移傳感器通過(guò)調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離,在空間頻率為62.5lp/mm處,MTFS大于10倍的MTFT,其中,MTFS為量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)在S方向的MTF值,MTFT為量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)在T方向的MTF值,曲線1為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒(méi)有偏離的MTFT值,曲線2為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒(méi)有偏移的MTFS值;曲線3為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFT值;曲線4為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFS值;曲線5為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFT值;曲線6為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無(wú)偏離的MTFS值(其中,在弧矢方向內(nèi),向光軸以里偏離為正,向光軸以外偏離為負(fù))。在一具體實(shí)施例中,在空間頻率為62.5lp/mm處,量程內(nèi)被測(cè)點(diǎn)的MTFS≥0.5,MTFT<0.05。類似地,在采用上述方式1的情況CN10685539 1B6下,同樣可以保證成像物鏡的MTFT和MTFS滿足這些條件。
本實(shí)用新型涉及一種檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置,特別指一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置。激光位移傳感器是一種利用激光技術(shù)進(jìn)行測(cè)量的傳感器,它由激光器、激光檢測(cè)器、測(cè)量電路組成。激光位移傳感器是一種新型的測(cè)量?jī)x表,能夠非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位移變化,并且測(cè)量精度高。在激光位移傳感器的使用過(guò)程中,由于設(shè)備的磨損老化等原因,導(dǎo)致激光位移傳感器的測(cè)量誤差增大,此時(shí)需要將激光位移傳感器進(jìn)行定期的檢驗(yàn)、校準(zhǔn)。目前,對(duì)激光位移傳感器的檢驗(yàn)、校準(zhǔn),主流的做法是測(cè)量一個(gè)已知的距離(比如:1米、5米、10米等),通過(guò)對(duì)比測(cè)量的數(shù)值與實(shí)際的數(shù)值來(lái)判斷測(cè)量的精確度。但是這種方法存在有如下問(wèn)題:1、檢驗(yàn)的精度不夠高;2、需要較大的場(chǎng)地。相比于傳統(tǒng)的接觸式傳感器,激光位移傳感器不會(huì)對(duì)被測(cè)物體造成任何損傷或干擾,適用于對(duì)敏感物體進(jìn)行測(cè)量。
與通常在室內(nèi)使用的工業(yè)檢測(cè)或?qū)嶒?yàn)研究檢測(cè)激光位移傳感器不同的是,用于道路檢測(cè)的激光位移傳感器要面臨使用條件變化多、使用環(huán)境更苛刻且無(wú)固定規(guī)律可循等諸多問(wèn)題。公知的路面按鋪設(shè)材料分為瀝青路面和水泥路面。對(duì)于水泥路面,一般來(lái)講路表面的反射強(qiáng)度比較均勻,但也存在特殊的局部鏡面和高反射率的材料;另外,水泥路面還存在經(jīng)過(guò)特殊處理的人工刻制溝槽(通常稱為路面構(gòu)造深度),這些人工刻制的溝槽可用于提高路面抗滑性能。以上這些情況在采用工業(yè)檢測(cè)或?qū)嶒?yàn)研究檢測(cè)激光位移傳感器檢測(cè)路面指標(biāo),特別是檢測(cè)路面構(gòu)造深度時(shí),就必須采取必要的措施以減小或消除各種不利因素造成的影響。對(duì)于瀝青路面,情況就更為復(fù)雜,除了路面存在泛油、各種污染物(如油物等)和路面修補(bǔ)等情況外,瀝青道路表面的級(jí)配設(shè)計(jì)變化使路面的顆粒大小不一、路面使用材料的不同、結(jié)構(gòu)上的構(gòu)造深度、路面上的標(biāo)志線以及路面長(zhǎng)期使用后路面的磨光等都對(duì)激光位移傳感器的檢測(cè)精度產(chǎn)生影響。無(wú)論是在工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療診斷還是科學(xué)研究,它都發(fā)揮著巨大作用,為我們提供了準(zhǔn)確而可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)。青浦區(qū)激光位移傳感器按需定制
它可以用于測(cè)量電子元件的尺寸和形狀。珠海激光位移傳感器常用解決方案
激光位移傳感器根據(jù)入射光角度的不同可分為直入射式和斜入射式兩種[1],本設(shè)計(jì)采用的是直入射式,其光路結(jié)構(gòu)如圖1所示。整套光路可以分為兩部分,即整形系統(tǒng)和接收系統(tǒng)[2]。左邊部分是光束整形系統(tǒng),其作用是將激光器發(fā)出的光束匯聚在工作范圍內(nèi),使匯聚的光斑盡量小而均勻。光源為半導(dǎo)體激光器(LD),它經(jīng)整形系統(tǒng)在測(cè)量范圍50±10mm內(nèi)形成均勻的光斑。后面則是光束接收系統(tǒng),它將物體表面的漫反射光匯聚到光敏探測(cè)器上,使其精確成像。圖中α為被測(cè)面與成像透鏡光軸夾角,β為光敏探測(cè)器與光軸的夾角,do和di分別表示物距和像距。珠海激光位移傳感器常用解決方案