從圖3所示的成像光學系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖可看出,在整個物面并不垂直于光軸時,經(jīng)過系統(tǒng)成像以后得到的像面也不垂直于光軸,與光軸存在一定的夾角β,設計的lastβ優(yōu)化值取為60.4628°,此時像面上可得到比較理想的光斑分布。在工作范圍內(nèi)不同視場的散射光均能很好地成像于探測器。在圖4中可看到不同視場的成像光斑形狀,此點列圖表明成像光斑分布均勻,但還存在一定的剩余像差,主要為球差,光斑大小可見表2,光斑直徑在20μm左右。同時根據(jù)設計結(jié)果可得像距為33.092mm,經(jīng)計算tanα/tanβ=0.6137,di/do=0.6145,此物鏡設計基本滿足于Scheimpflug理想成像條件。激光位移傳感的工作原理是什么?激光位移傳感器貨真價實
在圖1所示的實施例中,成像物鏡6包含以下兩種結(jié)構(gòu)形式:(形式一)成像物鏡6為物側(cè)面和像側(cè)面都為非球面的單一非球面鏡片,(形式二)成像物鏡6是由多個鏡片組合而成的透鏡組。綜上所述,本發(fā)明在激光位移傳感器的光學系統(tǒng)設計時,利用增加像散,在感光元件的感光單元沿著S方向排列的情況下,拉高成像物鏡S方向的MTF值同時降低T方向上的MTF值,使得線陣感光元件上的光斑呈現(xiàn)長條狀態(tài),進而實現(xiàn)以下技術效果:降低激光位移傳感器中成像物鏡的設計難度,同時降低了設備的成本;浦東新區(qū)激光位移傳感器按需定制它具有高精度、高靈敏度和快速響應的特點,適用于各種應用領域。
針對相關技術中的問題,本發(fā)明提出一種激光位移傳感器,能夠在不影響測量精度的情況下,降低成像物鏡的設計難度,同時讓測量系統(tǒng)能夠更有效地應對振動、機械變形等不良影響。根據(jù)本發(fā)明,提供了一種激光位移傳感器。根據(jù)本發(fā)明的激光位移傳感器包括激光器、成像物鏡以及感光元件,激光器用于射出激光束,由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件。其中,在對成像物鏡和感光元件CN1 06855391B3進行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時,解析結(jié)果滿足以下條件:[0011]在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下,MTFS>MTFT;在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下,MTFT>MTFS;其中,MTFS為弧矢方向上的MTF值,MTFT為子午方向上的MTF值。進一步地,在進行解析時,空間頻率為62.5lp/mm,如果多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向,則MTFS>MTFT×10;如果多個感光單元的主要排列方向為子午方向,則MTFT>MTFS×10。[0015]可選地,空間頻率為62.5lp/mm,如果多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向,則MTFS≥0.5,MTFT<0.05;如果多個感光單元的主要排列方向為子午方向,則MTFT≥0.5,MTFS<0.05。
通過將反光元件設置在成像物鏡與感光元件之間,能夠減小激光位移傳感器的設備體積,便于激光位移傳感器的使用和安裝;通過采用線陣感光元件,能夠降低激光位移傳感器的成本;另外,由于線陣感光元件的多個感光單元沿著直線排列,所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直線垂直方向上的MTF值降低,并不會影響測量精度,還能夠讓光斑更加容易地被線陣感光元件所接收;通過采用帶通濾光片,能夠濾除或降低雜散光,避免激光位移傳感器收到干擾,保證測量的準確度。這種傳感器具有較高的穩(wěn)定性和可靠性,能夠長時間穩(wěn)定地工作。
通過所述控制面板14設置所述電動伸縮雙直線導軌11伸縮至特定的距離,打開所述激光位移傳感器4,使得所述激光位移傳感器4的激光照射在所述激光紅外線接收擋板5的接收面上,記錄所述激光位移傳感器4至所述激光紅外線接收擋板5的距離;旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212使得所述橫向蝸桿211橫向位移,記錄所述電子千分表221的位移數(shù)據(jù),記錄此時所述激光位移傳感器4至所述激光紅外線接收擋板5的距離,通過比較所述激光位移傳感器4前后兩次測量的距離差與所述電子千分表221的位移數(shù)據(jù),計算所述激光位移傳感器4的誤差;調(diào)節(jié)所述電動伸縮雙直線導軌11的伸縮距離,重復以上測量,以減少測量誤差。高精度激光位移傳感器的響應速度非??欤軌?qū)崟r監(jiān)測目標物體的位移變化。寧波激光位移傳感器廠家現(xiàn)貨
非接觸式位移傳感器的出現(xiàn)推動了現(xiàn)有技術的適應,以滿足新的測量要求并提高測量的準確性和分辨率。激光位移傳感器貨真價實
針對目前國內(nèi)自主研制的激光位移傳感器精度低,測量范圍小等問題,提出了一種采用光學設計軟件預先仿真整個激光位移傳感器光學系統(tǒng)的方法。在分析系統(tǒng)各部分的光學特性的基礎上,結(jié)合具體要求設計了一個激光位移傳感器的光學系統(tǒng),其工作范圍為(50±10)mm。采用系統(tǒng)分割的方法,將整個光學系統(tǒng)分為兩部分進行設計,No.1部分是激光束的整形透鏡,要求在有效的工作范圍內(nèi)得到小而均勻的出射光斑,設計結(jié)果表明,在測量范圍內(nèi),光斑大小能夠控 制在10-1mm量級;另一部分是被測面散射光接收的成像物鏡,該系統(tǒng)的特點是物面和像面相對于光軸都有一定的角度,實驗結(jié)果表明其成像滿足Scheimpflug條件。 激光位移傳感器貨真價實