光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設(shè)置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內(nèi)部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設(shè)置的照射面向著待測物體上的測量點照射。物鏡是針對光譜傳感器所設(shè)計的透鏡并且產(chǎn)生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學(xué)頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應(yīng)的聚焦位置P處。因此,在本實施例中,白色光中所包括的多個可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應(yīng)的相互不同的聚焦位置處。創(chuàng)視智光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實現(xiàn)測量。?？诠庾V共焦位移傳感器成本價
光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件，提示組件包括有：發(fā)光件，發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中；導(dǎo)光光纖，所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中，且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上，所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進一步，入射光纖，接收光纖，導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護套，所述保護套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。采用上述方案的有益效果是：本實用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器，通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源，多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；寧波光譜共焦位移傳感器招商加盟它可以測量物體的微小位移，精度可以達到亞微米級別。
套筒限位在限位槽內(nèi),且與限位槽相匹配,套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔進一步,兩個雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對稱設(shè)置。進一步,兩個雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。進一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm。進一步,鹵素?zé)艄庠吹墓庾V波段范圍為360nm~2500nm。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應(yīng)性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領(lǐng)域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。
本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接，探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體，用于對探頭內(nèi)的光學(xué)元件進行安裝和支撐且對結(jié)構(gòu)進行保護，易于想到的是，探頭殼體可設(shè)置為方形，多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設(shè)置有半透半反光學(xué)鏡，半透半反光學(xué)鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方；半透半反光學(xué)鏡對通過入射光纖傳導(dǎo)后的多色光實現(xiàn)一半透射而一半反射，而當透射的光線經(jīng)過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學(xué)鏡上，半透半反光學(xué)鏡對反射光進行一半透射，一半反射；該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測量。
一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點各自的位置。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。質(zhì)量光譜共焦位移傳感器銷售價格
該傳感器可以與其他測量設(shè)備相結(jié)合，實現(xiàn)多參數(shù)的綜合測量。?？诠庾V共焦位移傳感器成本價
發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間，固定設(shè)置有濾光片，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間，濾光片用于過濾紅外線，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開設(shè)有沉孔，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開設(shè)在沉孔底部，且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過沉孔的設(shè)置，在探頭殼體上形成對導(dǎo)光光纖連接位進行避讓，避免使用者在使用過程中觸碰到導(dǎo)光光纖，從而影響影響導(dǎo)光光纖，或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位。海口光譜共焦位移傳感器成本價