主要對光譜共焦傳感器的校準時的誤差進行研究。分別利用激光干涉儀與高精度測長機對光譜共焦傳感器進行測量,用球面測頭保證光譜共焦傳感器的光路位于測頭中心,以保證光譜共焦傳感器的在測量時的安裝精度,然后更換平面?zhèn)阮^,對光譜共焦傳感器進行校準。用 小二乘法對測量數(shù)據(jù)進行處理,得到測量數(shù)據(jù)的非線性誤差。結果表明:高精度測長機校準時的非線性誤差為0.030%,激光干涉儀校準時的分析線性誤差為0.038%。利用 小二乘法進行數(shù)據(jù)處理及非線性誤差的計算,減小校準時產(chǎn)生的同軸度誤差及光譜共焦傳感器的系統(tǒng)誤差,提高對光譜共焦傳感器的校準精度。該技術可以采集樣品不同深度處的光譜信息進行測量。西城區(qū)光譜共焦產(chǎn)品基本性能要求
在點膠工藝中生成的膠水小球目前只能通過視覺系統(tǒng)檢驗。在生產(chǎn)中必須保證點膠路線是連貫和穩(wěn)定的,而通過色散共焦測量傳感器系統(tǒng)就能夠控制許多質(zhì)檢標準中的很多參數(shù)。膠水小球相對于其他結構必須安置在正中間。在點膠起始和結束的異常的材料積聚能被檢測出來。色散共焦測量就連缺口也能被檢測到。在3C領域,對于精密點膠的要求越來越高,這就要求必須實時檢測膠水高度來實現(xiàn)精密點膠的閉環(huán)控制。由于膠水有透明及非透明多種材質(zhì),并且膠型輪廓較為復雜,傾斜角度大,傳統(tǒng)激光傳感器無法準確測量出膠水輪廓高度。創(chuàng)視智能探頭擁有的測量角度,可以適用于各種膠水輪廓高度測量,特別是在圓孔膠高檢測擁有的優(yōu)勢。所以目前業(yè)界通用做法,就是采用超大角度光譜共焦傳感器,由于光譜共焦傳感器采用白光,白光是復合光,總會有光線可以反射回來,而且針對弧面,加大了光筆的反射夾角(45°),所以才能完美的測出白色透明點膠的輪廓。虹口區(qū)光譜共焦使用方法激光共焦掃描顯微鏡將被測物體沿光軸移動或?qū)⑼哥R沿光軸移動。
光譜共焦測量原理通過使用多透鏡光學系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。工廠校準為每個波長分配了一定的偏差(特定距離)。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。從目標表面反射的這種光通過共焦孔徑到達光譜儀,該光譜儀檢測并處理光譜變化。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用共焦彩色原理進行測量。共焦測量提供納米分辨率并且?guī)缀?span>與目標材料分開運行。在傳感器的測量范圍內(nèi)實現(xiàn)了一個非常小的、恒定的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔的內(nèi)表面,以及測量窄孔、小間隙和空腔。
光譜共焦技術將軸向距離與波長建立起一套編碼規(guī)則,是一種高精度、非接觸的光學測量技術?;诠庾V共焦技術的傳感器作為一種亞微米級、快速精確測量的傳感器,已經(jīng)被大量應用于表面微觀形狀、厚度測量、位移測量、在線監(jiān)控及過程控制等工業(yè)測量領域。展望其未來,隨著光譜共焦傳感技術的發(fā)展,必將在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量計量測試等領域得到更多的應用。光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發(fā)展而來,其無需軸向掃描,直接由波長對應軸向距離信息,從而大幅提高測量速度。光譜共焦技術是一種基于共焦顯微鏡原理的成像和分析技術。
光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的融合。一個完整的相對高度范疇能夠通過使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測量。光譜共焦位移傳感器的精確測量原理如下圖1所顯示,燈源發(fā)出光經(jīng)過光纖,再通過超色差鏡片,超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上,產(chǎn)生一系列可見光聚焦點。這種可見光聚焦點是連續(xù)的,不重合的。當待測物放置檢測范圍內(nèi)時,只有一種光波長能夠聚焦在待測物表層并反射面,依據(jù)激光光路的可逆回到光譜儀,產(chǎn)生波峰焊。全部別的波長也將失去焦點。運用單頻干涉儀的校準信息計算待測物體的部位,創(chuàng)建光譜峰處波長偏移的編號。該超色差鏡片通過提升,具備比較大的縱向色差,用以在徑向分離出來電子光學信號的光譜成份。因而,超色差鏡片是傳感器關鍵部件,其設計方案尤為重要。光譜共焦技術在汽車制造中可以用于零件的精度檢測和測量。莆田光譜共焦制造廠家
光譜共焦技術的研究和應用將推動中國科技事業(yè)的發(fā)展。西城區(qū)光譜共焦產(chǎn)品基本性能要求
表面粗糙度是指零件在加工過程中由于不同的加工方法、機床與刀具的精度、振動及磨損等因素在工件加工表面上形成的具有較小間距和較小峰谷的微觀水平狀況,是表面質(zhì)量的一個重要衡量指標,關系零件的磨損、密封、潤滑、疲勞、研和等機械性能。表面粗糙度測量主要可分為接觸式測量和非接觸式測量。觸針式接觸測量容易劃傷測量表面、針尖易磨損、測量效率低、不能測復雜表面,而非接觸測量相對而言可以實現(xiàn)非接觸、高效、在線實時測量,而成為未來粗糙度測量的發(fā)展方向。目前常用的非接觸法主要有干涉法、散射法、散斑法、聚焦法等。而其中聚焦法較為簡單實用。采用光譜共焦位移傳感器,搭建了一套簡易的測量裝置,對膜式燃氣表的閥蓋粗糙度進行了非接觸的測量,以此來判斷閥蓋密封性合格與否,取得了一定的效果?;诠庾V共焦傳感器,利用其搭建的二維納米測量定位裝置對粗糙度樣塊進行表面粗糙度的非接觸測量,并對測量結果進行不確定評定,得到 U95 為 13.9%。西城區(qū)光譜共焦產(chǎn)品基本性能要求