物體的表面形貌可以基于距離的確定來進(jìn)行。光譜共焦傳感器還可用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測量對象包含不同類型的材料(例如塑料和金屬)時,盡管距離值保持不變,但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射度并變得可見。在檢測到信號強(qiáng)度的變化后,系統(tǒng)會創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像。 除了距離測量之外,另一種選擇是使用信號強(qiáng)度進(jìn)行測量,這可以實現(xiàn)精細(xì)結(jié)構(gòu)的可視化。通過恒定的曝光時間,可以獲得關(guān)于表面評估的附加信息,而這靠距離測量是不可能的。光譜共焦技術(shù)可以在工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮重要作用。海東高采樣速率光譜共焦
玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一,一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板,各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應(yīng)用。玻璃基板的品質(zhì)對控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數(shù)據(jù)都是有關(guān)鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個基本上構(gòu)件。這是一種表層極為平坦的方法生產(chǎn)制造薄玻璃鏡片?,F(xiàn)階段在商業(yè)上運(yùn)用的玻璃基板,其厚度為0.7 mm及0.5m m,且將要邁進(jìn)特?。ㄈ?.4mm)厚度之制造。大部分,一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因為玻璃基板厚度很薄,而厚度規(guī)格監(jiān)管又比較嚴(yán)格,一般在0.01mm的公差,關(guān)鍵清晰地測量夾層玻璃厚度、漲縮和平面度。選用創(chuàng)視智能自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題,一次測量就可以完成了相對高度值、厚度系數(shù)的收集,再加上與此同時選用多個感應(yīng)器測量,不僅提高了高效率,并且防止觸碰測量所造成的二次損害。中國臺灣新品光譜共焦光譜共焦技術(shù)的應(yīng)用將有助于推動中國科技創(chuàng)新的發(fā)展。
光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器,因為其測量精度高,對于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強(qiáng)的抵抗能力等特點(diǎn),應(yīng)用前景十分大量。文章通過對原理的分析,設(shè)計了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃,采用正負(fù)透鏡組分離結(jié)構(gòu)組合形成鏡頭組,使用凹凸透鏡補(bǔ)償法該鏡,在486,.._,656nm波長范圍內(nèi),色散范圍約為焦量與波長之間通過線性擬合所得其線性性達(dá)到0.9976,很好的平衡了傳感器各個聚焦位置的靈敏度,配以合適的光譜儀,傳感器的分辨率可達(dá)到5nm的測量精度。符合設(shè)計要求產(chǎn)生了較大的線性軸向色散,在保證大色散范圍的同時軸向色散與波長之間也存在著好的線性。
光譜共焦位移傳感器是基于共焦原理采用復(fù)色光為光源的傳感器,其測扯精度能夠達(dá)到nm量級,可用于表面呈漫反射或鏡反射的物體的測匱。此外,光譜共焦位移傳感器還可以對透明物體進(jìn)行單向厚度測量。由于其在測量位 移方面具有高精度的特性,對千單層和多層透明物體,除準(zhǔn)確測量該物體的位移之外,還可以單方向測量其厚度。本文將光譜共焦位移傳感器應(yīng)用于位移測量中,通過實驗驗證光譜共焦測量系統(tǒng)能夠滿足高精度的位移測蜇要求,對今后將整個 小型化、產(chǎn)品化有著重要的意義。光譜共焦技術(shù)的精度可以達(dá)到納米級別。
硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測量速度,以及±60°的測量角度,能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度,所以我們這次用單探頭在二維運(yùn)動平臺上進(jìn)行掃描測量。柵線測量方法:首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記如圖1,用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量,柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運(yùn)動平臺掃描測量(由于柵線不是一個平整面,自身有一定的曲率,對測量區(qū)域的選擇隨機(jī)性影響較大)光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況,對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。海東品牌光譜共焦
光譜共焦透鏡組設(shè)計和性能優(yōu)化是光譜共焦技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一。海東高采樣速率光譜共焦
光譜共焦傳感器可以用于數(shù)碼相機(jī)的相位測距,可大幅提高相機(jī)的對焦精度和成像質(zhì)量。同時,還可以通過檢測相機(jī)的微小振動,實現(xiàn)圖像的防抖和抗震功能。光譜共焦傳感器可以用于計算機(jī)硬盤的位移和振動測量,從而實現(xiàn)對硬盤存儲數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和可靠性的實時監(jiān)控。在硬盤的生產(chǎn)過程中,光譜共焦傳感器也可用于進(jìn)行各種機(jī)械結(jié)構(gòu)件的位移、振動和形變測試。光譜共焦傳感器在3C電子行業(yè)中的應(yīng)用領(lǐng)域極其大量,可用于各種控制和檢測環(huán)節(jié),實現(xiàn)高精度、高可靠性的測量與檢測。海東高采樣速率光譜共焦