高架搬運(yùn)車50在從其它存儲庫區(qū)域10b的交接口12、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區(qū)st接受了物品2的情況下，能夠沿著高架搬運(yùn)車軌道40行駛至存儲庫區(qū)域10a的交接口12，在交接口12載置物品2。在高架搬運(yùn)車50在機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41行駛的情況下，位于外繞軌道41a的高架搬運(yùn)車50能夠進(jìn)行物品2相對于交接口12的交接。高架搬運(yùn)車50在物品2相對于交接口12的交接中，在利用側(cè)出機(jī)構(gòu)55使升降驅(qū)動(dòng)部54向外繞軌道41a的側(cè)方突出了的狀態(tài)下，使物品保持部53升降(參照圖5)。另外，位于外繞軌道41a的高架搬運(yùn)車50能夠進(jìn)行物品2相對于處理裝置lt的裝載端口lp的交接。高架搬運(yùn)車50在物品2相對于裝載端口lp的交接中，不驅(qū)動(dòng)或者基本不驅(qū)動(dòng)側(cè)出機(jī)構(gòu)55而使物品保持部53升降(參照圖5)。另外，位于外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的高架搬運(yùn)車50能夠進(jìn)行物品2相對于暫存區(qū)st的交接。高架搬運(yùn)車50在物品2相對于暫存區(qū)st的交接中，在通過側(cè)出機(jī)構(gòu)55使升降驅(qū)動(dòng)部54向外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b軌道的側(cè)方突出了的狀態(tài)下使物品保持部53升降。物品2相對于暫存區(qū)st的交接在外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的任一個(gè)中都能夠進(jìn)行，高架搬運(yùn)車50通過改變側(cè)出機(jī)構(gòu)55的突出方向就能夠?qū)?yīng)(參照圖5)。此外。濱湖區(qū)專業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。品質(zhì)商鋪搬運(yùn)打包
高架搬運(yùn)車軌道40具備：機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41、第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42、機(jī)架間軌道43以及第二機(jī)架間軌道44。機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41以及第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42以存儲庫區(qū)域10a以及存儲庫區(qū)域10b的距離分離而配置，成為相互平行排列的狀態(tài)。此外，以分別包圍存儲庫區(qū)域10a、10b的外周的方式設(shè)置有未圖示的壁部。利用該壁部劃分存儲庫區(qū)域10a、10b的內(nèi)外，在懸掛式起重機(jī)30的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)禁止作業(yè)者向存儲庫區(qū)域10a、10b內(nèi)的進(jìn)入。此外，在懸掛式起重機(jī)30從存儲庫區(qū)域10a、10b向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí)，以將懸掛式起重機(jī)30從存儲庫區(qū)域10a、10b向外取出的方式，取下與連接軌道41c、42c對應(yīng)的壁部的一部分。機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41具有外繞軌道41a以及內(nèi)繞軌道41b。外繞軌道41a被形成為環(huán)狀，在長邊方向的兩端與后述的機(jī)架間軌道43以及第二機(jī)架間軌道44連接。外繞軌道41a在俯視圖中，通過存儲庫區(qū)域10a、10b的交接口12的側(cè)方。在外繞軌道41a行駛的高架搬運(yùn)車50能夠相對于交接口12進(jìn)行物品2的交接。外繞軌道41a被配置于處理裝置tl的裝載端口lp的正上方。內(nèi)繞軌道41b被形成為環(huán)狀，被配置于外繞軌道41a的內(nèi)側(cè)。第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42具有外繞軌道42a以及內(nèi)繞軌道42b。外繞軌道42a被形成為環(huán)狀。梁溪區(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)服務(wù)梁溪區(qū)正規(guī)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
第二機(jī)架間軌道44與機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41以及第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42各自的一方的端部連結(jié)。機(jī)架間軌道43以及第二機(jī)架間軌道44分別使直線狀的兩根軌道并行地延伸，在兩根軌道之間設(shè)置有多個(gè)連接軌道。高架搬運(yùn)車50沿著高架搬運(yùn)車軌道40移動(dòng)，將物品2在處理裝置tl的裝載端口lp、與存儲庫區(qū)域10a、10b的交接口12之間進(jìn)行物品2的交接。另外，高架搬運(yùn)車50除了裝載端口lp以及交接口12之外，還在與沿著高架搬運(yùn)車軌道40(外繞軌道41a、42a等)設(shè)置的暫存區(qū)st之間進(jìn)行物品2的移載。處理裝置tl例如是曝光裝置、涂布機(jī)顯影載置、制膜裝置或者蝕刻裝置等，對被收納于搬運(yùn)系統(tǒng)100搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。圖5是表示高架搬運(yùn)車50的一個(gè)例子的圖。如圖5所示，高架搬運(yùn)車50具有搬運(yùn)車用行駛部51和主體部52。搬運(yùn)車用行駛部51與起重機(jī)用行駛部31相同，具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部以及多個(gè)車輪71a(參照圖6)，沿著高架搬運(yùn)車軌道40行駛。行駛驅(qū)動(dòng)部例如也可是被設(shè)置于搬運(yùn)車用行駛部51并驅(qū)動(dòng)車輪71a的電動(dòng)馬達(dá)，也可是使用高架搬運(yùn)車軌道40設(shè)置的線性馬達(dá)。主體部52經(jīng)由安裝部52a被安裝于搬運(yùn)車用行駛部51的下部。
第二保管部20b配置于相對于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的正下方在x方向錯(cuò)開的位置。在、第二保管區(qū)域sa1、sa2中，、第二保管部20a、20b在上下方向設(shè)置兩層。但是，、第二保管部20a、20b并不限定于兩層，可也以設(shè)置一層或者三層以上。另外，、第二保管部20a、20b也可以設(shè)置于地板面上，來代替從頂棚懸掛。交接端口30a設(shè)置于保管部20a的列。第二交接端口30b設(shè)置于第二保管部20b的列。、第二交接端口30a、30b具有與、第二保管部20a、20b相同的結(jié)構(gòu)，、第二保管部20a、20b中的一個(gè)或者多個(gè)作為、第二交接端口30a、30b使用。在本實(shí)施方式中，將沿上下方向和y方向排列的多個(gè)、第二保管部20a、20b中的上層且y方向的兩端的兩個(gè)作為、第二交接端口30a、30b，并將其他作為、第二保管部20a、20b使用。在圖1中對、第二交接端口30a、30b標(biāo)注影線。這樣，作為、第二交接端口30a、30b使用、第二保管部20a、20b的上層，由此能夠通過高架搬運(yùn)車50和、第二起重機(jī)40a、40b雙方進(jìn)行物品2的交接。此外，、第二交接端口30a、30b并不限定y方向的兩端的兩個(gè)，能夠?qū)⑸蠈拥?、第二保管?0a、20b的全部作為、第二交接端口30a、30b使用。此外。錫山區(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
高架搬運(yùn)車50根據(jù)來自控制裝置60等的信息，獲取接收到的物品2的搬運(yùn)目的地亦即第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b的位置信息(地址)。接下來，高架搬運(yùn)車50維持將物品2保持的狀態(tài)地在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11上沿順時(shí)針的方向行駛，從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a經(jīng)由第二連接軌道16的出口部16b(參照圖1)向第二區(qū)段間頂棚軌道14移動(dòng)。此外，第二連接軌道16的截面形狀與區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段間頂棚軌道14相同或者大致相同(參照圖6)，因此高架搬運(yùn)車50能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11無障礙地移動(dòng)至第二區(qū)段間頂棚軌道14。接下來，高架搬運(yùn)車50在第二區(qū)段間頂棚軌道14上朝向+x方向行駛，從第二區(qū)段間頂棚軌道14經(jīng)由第二連接軌道16的入口部16a向第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12移動(dòng)。其后，高架搬運(yùn)車50在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12上環(huán)繞行駛，并在與作為搬運(yùn)目的地的第二交接端口30b對應(yīng)的位置停止。接著，高架搬運(yùn)車50使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向+x方向或者-x方向突出，驅(qū)動(dòng)升降驅(qū)動(dòng)部54并通過保持部53將物品2載置于第二交接端口30b。通過以上的動(dòng)作，能夠?qū)⑽锲?從保管區(qū)域sa1搬運(yùn)至第二保管區(qū)域sa2。此外，在上述的實(shí)施方式中，示出將物品2在保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間進(jìn)行搬運(yùn)的例子。新吳區(qū)長途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。錫山區(qū)公司商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)
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驅(qū)動(dòng)部45b設(shè)置于上部支承體，進(jìn)行懸掛部件45a的抽出、卷繞。若驅(qū)動(dòng)部45b將懸掛部件抽出，則、第二升降臺43a、43b被、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而下降。另外，若驅(qū)動(dòng)部45b卷繞懸掛部件45a，則、第二升降臺43a、43b被、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而上升。驅(qū)動(dòng)部45b被控制裝置60等控制，使、第二升降臺43a、43b以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，驅(qū)動(dòng)部45b被控制裝置60等控制，將、第二升降臺43a、43b保持于目標(biāo)高度。雖然、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b設(shè)置于上部支承體47(、第二行駛部41a、41b)，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b例如也可以設(shè)置于、第二升降臺43a、43b。作為在、第二升降臺43a、43b設(shè)置、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b的結(jié)構(gòu)，例如可以利用搭載于、第二升降臺43a、43b的升降機(jī)等對從上部支承體47懸掛的帶狀物或者線材等進(jìn)行卷起或者抽出而使、第二升降臺43a、43b升降。另外，也可以在、第二升降臺43a、43b搭載用于驅(qū)動(dòng)小齒輪的電動(dòng)馬達(dá)等，在、第二桅桿42a、42b形成供該小齒輪嚙合的齒條，驅(qū)動(dòng)電動(dòng)馬達(dá)等而使小齒輪旋轉(zhuǎn)由此使、第二升降臺43a、43b升降。如圖4所示。品質(zhì)商鋪搬運(yùn)打包
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