真空腔體是一種封閉的空間,內(nèi)部的氣壓低于大氣壓,通常是通過抽取空氣或其他氣體來實現(xiàn)的。真空腔體通常由金屬或玻璃等材料制成,具有良好的密封性能,以防止氣體泄漏進(jìn)入或從中逸出。真空腔體在許多領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。在科學(xué)研究中,真空腔體常用于實驗室中的物理、化學(xué)和生物學(xué)實驗,以提供無氧或低氧環(huán)境,或者用于研究高真空條件下的物質(zhì)性質(zhì)。在工業(yè)領(lǐng)域,真空腔體常用于制造半導(dǎo)體器件、光學(xué)元件和電子設(shè)備等高精度產(chǎn)品,以確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能。此外,真空腔體還用于航天器、核反應(yīng)堆和高能物理實驗裝置等領(lǐng)域。在航天器中,真空腔體可以提供太空中的真空環(huán)境,以確保航天器的正常運行。在核反應(yīng)堆中,真空腔體可以用于控制核反應(yīng)程中的...
焊接是真空腔體制作中非常重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)作化學(xué)反應(yīng)從而影響焊接質(zhì)量,一般選用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴發(fā)保護(hù)氣體氬氣,以避免熔化后的高溫金屬發(fā)作氧化反應(yīng)。超高真空腔體的氬弧焊接,原則上有必要選用內(nèi)焊,即焊接面是在真空一側(cè),避免存在死角而發(fā)作虛漏。真空腔體不允許內(nèi)外兩層焊接和兩層密封。真空腔體的壁外表吸附大量的氣體分子或其他有機物,成為影響真空度的放氣源。為完成超高真空,要對腔體進(jìn)行150~250℃的高溫烘烤,以促使材料外表和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤方法有在腔體外壁環(huán)繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳子中。比較經(jīng)濟簡...
真空是指低于大氣壓力的氣體的給定空間,真空是相對于大氣壓來說的,并非空間沒有物質(zhì)存在。真空是物理學(xué)里面的一個概念,反映的是空無一物的狀況,即真空并不是無物而是有實物粒子和虛粒子轉(zhuǎn)化的,但整體對外是不顯示物理特點的宏觀整體,真空就像是一個能量海,不斷振動并且充滿著巨大能量,真空的特點確實是需要用空間來描繪,是為了便利研究才引入的參量,并不是說真的性質(zhì)取決于空間。真空腔體是建立在低于大氣壓力的環(huán)境下,以及在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制作、科學(xué)試驗和物理丈量等所需要的技能。用現(xiàn)代抽氣方法取得的很低壓力,每立方厘米的空間里仍然會有數(shù)百個分子存在。氣體淡薄程度是對真空的一種客觀量度直接的物理量度是單位體積中的氣體...
真空腔體按使用功能可分為過渡腔、傳輸腔和反應(yīng)腔:?過渡腔:是設(shè)備中晶圓真空環(huán)境入口,晶圓從外部運輸至設(shè)備入口,經(jīng)過前端模塊(EFEM)后進(jìn)入過渡腔,方從大氣環(huán)境轉(zhuǎn)換為真空環(huán)境,后續(xù)再進(jìn)入真空環(huán)境的傳輸腔、反應(yīng)腔進(jìn)行工藝反應(yīng)。過渡腔以鋁合金為主,技術(shù)相對簡單。?傳輸腔:是晶圓在過渡腔和反應(yīng)腔之間進(jìn)行轉(zhuǎn)移的中間平臺。傳輸腔材料主要是不銹鋼,腔體需要保證密封性和真空度,同時由于傳輸腔需要與不同工藝的反應(yīng)腔連接,也需要采用不同的表面處理工藝來保證潔凈度和耐腐蝕性。傳輸腔主要由腔體、中部的真空機械手、傳輸腔與反應(yīng)腔連接處的門閥,以及各種真空密封件組成。?反應(yīng)腔:是晶圓加工和生產(chǎn)的工作空間,由于多種工藝氣...
表面改性類方法·噴丸噴丸是一種借助丸粒高速轟擊工件表面,進(jìn)而植入殘余壓應(yīng)力,提升工件疲勞強度的冷加工工藝。經(jīng)噴丸處理后,工件表面的污物被清理,表面保持完整且表面積有所增加。由于加工過程中工件表面未遭破壞,加工產(chǎn)生的多余能量促使工件基體表面強化,同時能夠有效去除零件表面的氧化層?!娚皣娚笆抢脡嚎s空氣作為動力源,將噴料(如銅礦砂、石英砂、金剛砂、鐵砂、海南砂等)以高速噴射束的形式噴射到工件表面,以此實現(xiàn)對基體表面的清理與粗化。在操作時,需特別注意對腔室的密封面及刀口等關(guān)鍵部位進(jìn)行妥善包裝,防止噴上沙子。具體操作流程為:首先按用戶要求,將120鉬砂子及80鉬碗按2:1的比例混合后對腔室進(jìn)行噴砂處...
真空技術(shù)在現(xiàn)代科學(xué)和工業(yè)領(lǐng)域中占據(jù)著至關(guān)重要的地位,而真空腔體作為真空系統(tǒng)的首要部件,其表面處理質(zhì)量直接影響著真空系統(tǒng)的性能和可靠性。真空腔體的表面處理不僅要確保良好的氣密性、耐腐蝕性,還要盡量減少放氣和吸附等現(xiàn)象,以維持高真空環(huán)境。常見的真空腔體表面處理方法。清洗:溶劑清洗使用合適的有機溶劑,如乙醇等,去除真空腔體表面的油脂、污垢等污染物。這種方法簡單易行,但對于一些頑固污漬果有限。酸洗利用酸性溶液,如鹽酸等,去除金屬表面的氧化物和銹跡等。需要注意調(diào)制酸液濃度和處理時間,以避免過度腐蝕。堿洗對于一些油脂類污染物,堿洗可以起到較好的去除效果。同時,堿洗也有助于改善金屬表面的微觀結(jié)構(gòu)。清洗方法的...
真空技術(shù)在現(xiàn)代科學(xué)和工業(yè)領(lǐng)域中占據(jù)著至關(guān)重要的地位,而真空腔體作為真空系統(tǒng)的首要部件,其表面處理質(zhì)量直接影響著真空系統(tǒng)的性能和可靠性。真空腔體的表面處理不僅要確保良好的氣密性、耐腐蝕性,還要盡量減少放氣和吸附等現(xiàn)象,以維持高真空環(huán)境。常見的真空腔體表面處理方法。清洗:溶劑清洗使用合適的有機溶劑,如乙醇等,去除真空腔體表面的油脂、污垢等污染物。這種方法簡單易行,但對于一些頑固污漬果有限。酸洗利用酸性溶液,如鹽酸等,去除金屬表面的氧化物和銹跡等。需要注意調(diào)制酸液濃度和處理時間,以避免過度腐蝕。堿洗對于一些油脂類污染物,堿洗可以起到較好的去除效果。同時,堿洗也有助于改善金屬表面的微觀結(jié)構(gòu)。清洗方法的...
真空腔體:航天航空、集成電路、粒子加速、高速列車、核聚變等技術(shù)領(lǐng)域發(fā)展,對真空腔體的性能要求提升到一個新的高度。真空腔體需要滿足復(fù)雜結(jié)構(gòu)造型,高、低溫循環(huán),、高真空循環(huán),低泄漏、超潔凈,輻照損傷,高溫?zé)g,砂礫侵蝕,化學(xué)腐蝕等應(yīng)用條件。我國天和空間站迎來了高速建設(shè)階段,航天員長期在軌停留反映了我國空間技術(shù)的發(fā)展。但是,在現(xiàn)有工業(yè)體系下,空間站的服役水平難以現(xiàn)跨越式發(fā)展,需要加強科技力量,取得顛覆性技術(shù)成果。粒子加速的真空管長度可達(dá)幾十公里,涉及眾多學(xué)科領(lǐng)域,是超高真空和高真空技術(shù)的典型作品。作為粒子理論的研究平臺,科學(xué)裝置發(fā)展了半個多世紀(jì)。除用于基礎(chǔ)研究外,加速的各種束線已廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、高分...
真空腔室相比傳統(tǒng)的火箭推進(jìn)系統(tǒng)的另一個特殊特點是,是通過離子推進(jìn)器只在太空或在真空中工作。因此,在開發(fā)過程中測試離子推進(jìn)器的性能時,需要創(chuàng)造與太空類似的條件進(jìn)行相匹配。這就要求能夠產(chǎn)生與太空同樣壓力條件的測試系統(tǒng)。真空技術(shù)網(wǎng)()認(rèn)為這種系統(tǒng)必須能夠確保推進(jìn)器在壓力推tuido下工作時,都能持續(xù)模擬太空中的環(huán)境。這造就了對真空系統(tǒng)的大體積要:試驗艙必須大到足夠容納推進(jìn)器。干式前級泵系統(tǒng)抽速必須大于450m3/h,以便能夠在十分鐘內(nèi)形成1×10-2hPa的前級真空壓力。需要抽速約2900l/s(對于氮氣)和壓力的渦輪分子泵作為高真空泵系統(tǒng)。必須要能夠在不到三小時內(nèi)獲得≤1×10-6hPa的壓力。需...
真空腔使用注意事項:1、真空腔外殼必須有效接地,以確保使用安全。2、真空腔不需連續(xù)抽氣使用時,應(yīng)先關(guān)閉真空閥,再關(guān)閉真空泵電源,否則真空泵油要倒灌至腔內(nèi)。3、取出被處理物品撕,如處理的是易燃物品,必須待溫度冷卻到低于燃點后,才能放入空氣,以免發(fā)生氧化反應(yīng)引起燃燒。4、真空腔無防爆裝置,不得放入易爆物品干燥。5、真空腔與真空泵之間建議跨過濾器,以防止潮濕體進(jìn)真空泵。6、非必要時,請勿隨意拆開邊門,以免損壞電器系統(tǒng)。7、本設(shè)備應(yīng)裝適用空氣開關(guān)。8、電氣絕緣完好,設(shè)備外殼必須有可靠的保護(hù)接地或保護(hù)接零。選擇暢橋真空,享受高質(zhì)量產(chǎn)品與貼心服務(wù),讓您科研無憂。南京半導(dǎo)體真空腔體加工·超聲波拋光將工件放置...
表面改性類方法·噴丸噴丸是一種借助丸粒高速轟擊工件表面,進(jìn)而植入殘余壓應(yīng)力,提升工件疲勞強度的冷加工工藝。經(jīng)噴丸處理后,工件表面的污物被清理,表面保持完整且表面積有所增加。由于加工過程中工件表面未遭破壞,加工產(chǎn)生的多余能量促使工件基體表面強化,同時能夠有效去除零件表面的氧化層?!娚皣娚笆抢脡嚎s空氣作為動力源,將噴料(如銅礦砂、石英砂、金剛砂、鐵砂、海南砂等)以高速噴射束的形式噴射到工件表面,以此實現(xiàn)對基體表面的清理與粗化。在操作時,需特別注意對腔室的密封面及刀口等關(guān)鍵部位進(jìn)行妥善包裝,防止噴上沙子。具體操作流程為:首先按用戶要求,將120鉬砂子及80鉬碗按2:1的比例混合后對腔室進(jìn)行噴砂處...
真空腔體材料的幾點要求對真空腔體材料的主要要求如下:1一定的機械強度2氣密性好,不應(yīng)是多孔結(jié)構(gòu),不能有裂縫、小孔以及能造成漏氣的其他缺陷3較低的出氣率和滲透率4在工作溫度和烘烤溫度下的飽和蒸氣壓要足夠低5化學(xué)穩(wěn)定性好,不易氧化和腐蝕,不與系統(tǒng)中的工作液體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)6溫度穩(wěn)定性好,在一定溫度范圍內(nèi)能保持真空性能和機械強度7加工容易,有較好的焊接性能真空設(shè)備常用殼體材料有兩大類:金屬和玻璃。金屬的優(yōu)點是:機械強度好,容易實現(xiàn)高精度的加工。玻璃的優(yōu)點是:透明,便于觀察設(shè)備內(nèi)部情況,電絕緣,可對內(nèi)部的金屬零件用高頻加熱的方法除氣,能用高頻火花檢漏,加工方便等。玻璃的缺點是質(zhì)脆易碎。精湛工藝打造,細(xì)節(jié)...
·電解拋光電解拋光的基本原理與化學(xué)拋光相似,都是通過選擇性溶解材料表面微小凸出部分來使表面光滑。與化學(xué)拋光相比,電解拋光能夠消除陰極反應(yīng)的影響,效果更為出色。整個電化學(xué)拋光過程分為兩步:第一步是宏觀整平,溶解產(chǎn)物向電解液中擴散,使材料表面幾何粗糙度下降,此時Ra>1μm;第二步是微光平整,通過陽極極化,提高表面光亮度,使Ra<1μm。電解拋光具有諸多優(yōu)點:一是能極大提高表面耐蝕性,由于對元素的選擇性溶出,在表面生成一層致密堅固的富鉻固體透明膜,并形成等電式表面,有效消除和減輕微電池腐蝕;二是電解拋光后的微觀表面比機械拋光的更加平滑,反光率更高;三是不受工件尺寸和形狀的限制,對于不宜進(jìn)行機械拋光...
真空腔體:航天航空、集成電路、粒子加速、高速列車、核聚變等技術(shù)領(lǐng)域發(fā)展,對真空腔體的性能要求提升到一個新的高度。真空腔體需要滿足復(fù)雜結(jié)構(gòu)造型,高、低溫循環(huán),、高真空循環(huán),低泄漏、超潔凈,輻照損傷,高溫?zé)g,砂礫侵蝕,化學(xué)腐蝕等應(yīng)用條件。我國天和空間站迎來了高速建設(shè)階段,航天員長期在軌停留反映了我國空間技術(shù)的發(fā)展。但是,在現(xiàn)有工業(yè)體系下,空間站的服役水平難以現(xiàn)跨越式發(fā)展,需要加強科技力量,取得顛覆性技術(shù)成果。粒子加速的真空管長度可達(dá)幾十公里,涉及眾多學(xué)科領(lǐng)域,是超高真空和高真空技術(shù)的典型作品。作為粒子理論的研究平臺,科學(xué)裝置發(fā)展了半個多世紀(jì)。除用于基礎(chǔ)研究外,加速的各種束線已廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、高分...
真空腔體:航天航空、集成電路、粒子加速、高速列車、核聚變等技術(shù)領(lǐng)域發(fā)展,對真空腔體的性能要求提升到一個新的高度。真空腔體需要滿足復(fù)雜結(jié)構(gòu)造型,高、低溫循環(huán),、高真空循環(huán),低泄漏、超潔凈,輻照損傷,高溫?zé)g,砂礫侵蝕,化學(xué)腐蝕等應(yīng)用條件。我國天和空間站迎來了高速建設(shè)階段,航天員長期在軌停留反映了我國空間技術(shù)的發(fā)展。但是,在現(xiàn)有工業(yè)體系下,空間站的服役水平難以現(xiàn)跨越式發(fā)展,需要加強科技力量,取得顛覆性技術(shù)成果。粒子加速的真空管長度可達(dá)幾十公里,涉及眾多學(xué)科領(lǐng)域,是超高真空和高真空技術(shù)的典型作品。作為粒子理論的研究平臺,科學(xué)裝置發(fā)展了半個多世紀(jì)。除用于基礎(chǔ)研究外,加速的各種束線已廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、高分...
超高真空和高真空閥門是按照真空度范圍進(jìn)行劃分的。不同的應(yīng)用場景,還需要從不同維度對閥門的特征屬性進(jìn)行描述限定。高氣體壓力、強磁場、低泄漏、無顆粒(獲得的顆粒數(shù)狀態(tài))、閥板冷卻、閥體加熱、閥體導(dǎo)電、耐腐蝕、金屬粉塵、高溫照射等附加條件,對閥門性能提出了更高要求。集成電路制程領(lǐng)域的真空閥門具有典型性。VAT、MKS、VTES等公司的閥門產(chǎn)可滿足沉積和刻蝕真空應(yīng)用裝備的使用要求:“無顆?!碑a(chǎn)生(極少量的橡膠和金屬的顆粒)、不引起振動(高精密傳動)、精確操控(無泄漏、流導(dǎo)調(diào)節(jié))。無顆粒閥門是真空應(yīng)用裝備的基礎(chǔ),區(qū)別于常規(guī)的真空閥門:金屬閥體采用高真空釬焊和脫氫工藝;傳動密封采用金屬波紋管;橡膠與閥板牢...
真空系統(tǒng)是一種非常特殊的系統(tǒng),其可以通過將系統(tǒng)中的氣體抽出以及添加吸附劑等方式創(chuàng)建真空環(huán)境。這種環(huán)境在各行各業(yè)中都有著普遍的應(yīng)用,尤其在高科技領(lǐng)域中得到了普遍的使用。暢橋真空小編將會討論真空系統(tǒng)在哪些行業(yè)中被普遍應(yīng)用,并且為你詳細(xì)介紹每一種應(yīng)用領(lǐng)域。生物科技領(lǐng)域:在生物科技領(lǐng)域中,真空技術(shù)也具有重要的應(yīng)用。例如,在生物實驗中,我們需要使用真下對細(xì)胞進(jìn)行處理。在基因工程研究中,真空技術(shù)在制造過程中也起到了重要的作用。真空技術(shù)使得人們能夠更好地控制細(xì)胞中的溫度、壓力、氧氣和濕度,從而提高了實驗成果的可靠性和精度。醫(yī)療衛(wèi)生領(lǐng)域:在醫(yī)療衛(wèi)生領(lǐng)域中,真空技術(shù)也是一項非常重要的技術(shù)。例如,在牙科領(lǐng)域,利用...
實驗室小型不銹鋼真空腔體的功能劃分集中,主要為生長區(qū),傳樣測量區(qū),抽氣區(qū)三個部分。對于分子束外延生長腔,重要的參數(shù)是其中心點A的位置,即樣品在生長過程中所處的位置。所以蒸發(fā)源,高能電子衍射(RHEED),高能電子衍射屏,晶體振蕩器,生長擋板,CCD,生長觀察視窗的法蘭口均對準(zhǔn)中心點。暢橋真空科技(浙江)有限公司是一家專業(yè)從事真空設(shè)備的設(shè)計制造以及整合服務(wù)的提供商。公司經(jīng)過十余年的發(fā)展,積累了大量真空設(shè)備設(shè)計制造驗以及行業(yè)內(nèi)專業(yè)技術(shù)人才。目前主要產(chǎn)品包括非標(biāo)真空腔體、真空鍍膜腔體、真空大型設(shè)備零組件等各類高精度真空設(shè)備,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航空航天、電子信息、光學(xué)產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、冶金、醫(yī)藥、鍍膜、科研部...
真空腔室相比傳統(tǒng)的火箭推進(jìn)系統(tǒng)的另一個特殊特點是,是通過離子推進(jìn)器只在太空或在真空中工作。因此,在開發(fā)過程中測試離子推進(jìn)器的性能時,需要創(chuàng)造與太空類似的條件進(jìn)行相匹配。這就要求能夠產(chǎn)生與太空同樣壓力條件的測試系統(tǒng)。真空技術(shù)網(wǎng)()認(rèn)為這種系統(tǒng)必須能夠確保推進(jìn)器在壓力推tuido下工作時,都能持續(xù)模擬太空中的環(huán)境。這造就了對真空系統(tǒng)的大體積要:試驗艙必須大到足夠容納推進(jìn)器。干式前級泵系統(tǒng)抽速必須大于450m3/h,以便能夠在十分鐘內(nèi)形成1×10-2hPa的前級真空壓力。需要抽速約2900l/s(對于氮氣)和壓力的渦輪分子泵作為高真空泵系統(tǒng)。必須要能夠在不到三小時內(nèi)獲得≤1×10-6hPa的壓力。需...
腔體按使用功能可分為過渡腔、傳輸腔和反應(yīng)腔:過渡腔:是設(shè)備中晶圓真空環(huán)境入口,晶圓從外部運輸至設(shè)備入口,經(jīng)過前端模塊(EFEM)后進(jìn)入過渡腔,方從大氣環(huán)境轉(zhuǎn)換為真空環(huán)境,后續(xù)再進(jìn)入真空環(huán)境的傳輸腔、反應(yīng)腔進(jìn)行工藝反應(yīng)。過渡腔以鋁合金為主,技術(shù)相對簡單。傳輸腔:是晶圓在過渡腔和反應(yīng)腔之間進(jìn)行轉(zhuǎn)移的中間平臺。傳輸腔材料主要是不銹鋼,腔體需要保證密封性和真空度,同時由于傳輸腔需要與不同工藝的反應(yīng)腔連接,也需要采用不同的表面處理工藝來保證潔凈度和耐腐蝕性。傳輸腔主要由腔體、的真空機械手、傳輸腔與反應(yīng)腔連接處的門閥,以及各種真空密封件組成。反應(yīng)腔:是晶圓加工和生產(chǎn)的工作空間,由于多種工藝氣體會流入反應(yīng)腔...
真空不達(dá)到的原因:1、真空泵沒啟動。首先檢查真空泵是否通電;然后找到真空泵的真空油位觀察窗,觀察是否還有真空油,如果沒有真空油就需要在真空泵停止時往里面加熱真空油;看真空泵的按鈕開關(guān)是否打開。2、門密封不嚴(yán)漏氣。真空干燥箱的門密封硅膠條因為長時間使用后導(dǎo)致老化,它無法和外玻璃門壓緊產(chǎn)生了縫隙,出現(xiàn)此故障只能聯(lián)系廠家購買同類型號的密封條然后換上即可。3、真空箱焊接處漏氣。關(guān)閉真空箱門,打開真空泵讓其抽真空,然后用礦泉水瓶裝肥皂水在真空干燥箱的焊接處擠上肥皂泡,觀察肥皂泡是否有被吸到真空箱的內(nèi)腔體里面。如果有,就采用氬弧焊的方式焊接此處。4、真空表故障。真空表不適合自行維修,建議直接更換同類型號的...
真空腔體檢修過程中的要求:真空腔體工作時間久了,總會出現(xiàn)點問題,因此它在操作過程中需要注意的問題有很多。同時,還需要定期對其進(jìn)行檢修,檢修過程中應(yīng)滿足以下要求:一、要定期檢查下攬拌軸的擺動里,如果發(fā)現(xiàn)擺動里較大,應(yīng)及時拆開按照結(jié)構(gòu)圖拆換軸承及軸套。它所采用復(fù)合軸套或石墨軸套設(shè)計壽命為1—2年。為保障設(shè)備正常運轉(zhuǎn),廠家建議每年拆換1次。二、拆卸以前應(yīng)排盡真空腔體內(nèi)的反應(yīng)物料,并用對人無害的氣波介質(zhì)清洗干凈。三、高溫高轉(zhuǎn)速磁力攬拌器上部留有注油孔,是在停車時為軸承注入油脂設(shè)置的。只有待設(shè)備內(nèi)卸去壓力后才能使用,每次加入30—50CC。四、檢修真空腔體時,則不需打開釜,只要松開與釜蓋聯(lián)接的螺母。拆卸...
真空是指低于大氣壓力的氣體的給定空間,真空是相對于大氣壓來說的,并非空間沒有物質(zhì)存在。真空是物理學(xué)里面的一個概念,反映的是空無一物的狀況,即真空并不是無物而是有實物粒子和虛粒子轉(zhuǎn)化的,但整體對外是不顯示物理特點的宏觀整體,真空就像是一個能量海,不斷振動并且充滿著巨大能量,真空的特點確實是需要用空間來描繪,是為了便利研究才引入的參量,并不是說真的性質(zhì)取決于空間。真空腔體是建立在低于大氣壓力的環(huán)境下,以及在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制作、科學(xué)試驗和物理丈量等所需要的技能。用現(xiàn)代抽氣方法取得的很低壓力,每立方厘米的空間里仍然會有數(shù)百個分子存在。氣體淡薄程度是對真空的一種客觀量度直接的物理量度是單位體積中的氣體...
真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器,真空腔體的制作要考慮容積、材質(zhì)和形狀。不銹鋼是目前超高真空系統(tǒng)的主要結(jié)構(gòu)材料。具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率和導(dǎo)熱率低、能夠在-270—900℃工作等優(yōu)點,在高真空和超高真空系統(tǒng)中,應(yīng)用普遍。近年來,為了降低真空腔體的制作成本,采用鑄造鋁合金來制作腔體也逐漸普及。另外,采用鈦合來制作特殊用途真空腔體的例子也不少。暢橋真空科技(浙江)有限公司是一家專業(yè)從事真空設(shè)備的設(shè)計制造以及整合服務(wù)的提供商。公司經(jīng)過十余年的發(fā)展,積累了大量真空設(shè)備設(shè)計制造經(jīng)驗以及行業(yè)內(nèi)專業(yè)技術(shù)人才。目前主要產(chǎn)品包括非標(biāo)真空腔體、真空鍍膜腔體、真空大型設(shè)備零組件等各類...
超高真空和高真空閥門是按照真空度范圍進(jìn)行劃分的。不同的應(yīng)用場景,還需要從不同維度對閥門的特征屬性進(jìn)行描述限定。高氣體壓力、強磁場、低泄漏、無顆粒(獲得的顆粒數(shù)狀態(tài))、閥板冷卻、閥體加熱、閥體導(dǎo)電、耐腐蝕、金屬粉塵、高溫照射等附加條件,對閥門性能提出了更高要求。集成電路制程領(lǐng)域的真空閥門具有典型性。VAT、MKS、VTES等公司的閥門產(chǎn)可滿足沉積和刻蝕真空應(yīng)用裝備的使用要求:“無顆?!碑a(chǎn)生(極少量的橡膠和金屬的顆粒)、不引起振動(高精密傳動)、精確操控(無泄漏、流導(dǎo)調(diào)節(jié))。無顆粒閥門是真空應(yīng)用裝備的基礎(chǔ),區(qū)別于常規(guī)的真空閥門:金屬閥體采用高真空釬焊和脫氫工藝;傳動密封采用金屬波紋管;橡膠與閥板牢...
焊接是真空腔體制作中非常重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)作化學(xué)反應(yīng)從而影響焊接質(zhì)量,一般選用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴發(fā)保護(hù)氣體氬氣,以避免熔化后的高溫金屬發(fā)作氧化反應(yīng)。超高真空腔體的氬弧焊接,原則上有必要選用內(nèi)焊,即焊接面是在真空一側(cè),避免存在死角而發(fā)作虛漏。真空腔體不允許內(nèi)外兩層焊接和兩層密封。真空腔體的壁外表吸附大量的氣體分子或其他有機物,成為影響真空度的放氣源。為完成超高真空,要對腔體進(jìn)行150~250℃的高溫烘烤,以促使材料外表和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤方法有在腔體外壁環(huán)繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳子中。比較經(jīng)濟簡...
真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器,真空腔體的制作要考慮容積、材質(zhì)和形狀。不銹鋼是目前超高真空系統(tǒng)的主要結(jié)構(gòu)材料。具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率和導(dǎo)熱率低、能夠在-270—900℃工作等優(yōu)點,在高真空和超高真空系統(tǒng)中,應(yīng)用普遍。近年來,為了降低真空腔體的制作成本,采用鑄造鋁合金來制作腔體也逐漸普及。另外,采用鈦合來制作特殊用途真空腔體的例子也不少。暢橋真空科技(浙江)有限公司是一家專業(yè)從事真空設(shè)備的設(shè)計制造以及整合服務(wù)的提供商。公司經(jīng)過十余年的發(fā)展,積累了大量真空設(shè)備設(shè)計制造經(jīng)驗以及行業(yè)內(nèi)專業(yè)技術(shù)人才。目前主要產(chǎn)品包括非標(biāo)真空腔體、真空鍍膜腔體、真空大型設(shè)備零組件等各類...
表面改性類方法·噴丸噴丸是一種借助丸粒高速轟擊工件表面,進(jìn)而植入殘余壓應(yīng)力,提升工件疲勞強度的冷加工工藝。經(jīng)噴丸處理后,工件表面的污物被清理,表面保持完整且表面積有所增加。由于加工過程中工件表面未遭破壞,加工產(chǎn)生的多余能量促使工件基體表面強化,同時能夠有效去除零件表面的氧化層?!娚皣娚笆抢脡嚎s空氣作為動力源,將噴料(如銅礦砂、石英砂、金剛砂、鐵砂、海南砂等)以高速噴射束的形式噴射到工件表面,以此實現(xiàn)對基體表面的清理與粗化。在操作時,需特別注意對腔室的密封面及刀口等關(guān)鍵部位進(jìn)行妥善包裝,防止噴上沙子。具體操作流程為:首先按用戶要求,將120鉬砂子及80鉬碗按2:1的比例混合后對腔室進(jìn)行噴砂處...
真空腔體是一種封閉的空間,內(nèi)部的氣壓低于大氣壓,通常是通過抽取空氣或其他氣體來實現(xiàn)的。真空腔體通常由金屬或玻璃等材料制成,具有良好的密封性能,以防止氣體泄漏進(jìn)入或從中逸出。真空腔體在許多領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。在科學(xué)研究中,真空腔體常用于實驗室中的物理、化學(xué)和生物學(xué)實驗,以提供無氧或低氧環(huán)境,或者用于研究高真空條件下的物質(zhì)性質(zhì)。在工業(yè)領(lǐng)域,真空腔體常用于制造半導(dǎo)體器件、光學(xué)元件和電子設(shè)備等高精度產(chǎn)品,以確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能。此外,真空腔體還用于航天器、核反應(yīng)堆和高能物理實驗裝置等領(lǐng)域。在航天器中,真空腔體可以提供太空中的真空環(huán)境,以確保航天器的正常運行。在核反應(yīng)堆中,真空腔體可以用于控制核反應(yīng)程中的...
真空腔室相比傳統(tǒng)的火箭推進(jìn)系統(tǒng)的另一個特殊特點是,是通過離子推進(jìn)器只在太空或在真空中工作。因此,在開發(fā)過程中測試離子推進(jìn)器的性能時,需要創(chuàng)造與太空類似的條件進(jìn)行相匹配。這就要求能夠產(chǎn)生與太空同樣壓力條件的測試系統(tǒng)。真空技術(shù)網(wǎng)()認(rèn)為這種系統(tǒng)必須能夠確保推進(jìn)器在壓力推tuido下工作時,都能持續(xù)模擬太空中的環(huán)境。這造就了對真空系統(tǒng)的大體積要:試驗艙必須大到足夠容納推進(jìn)器。干式前級泵系統(tǒng)抽速必須大于450m3/h,以便能夠在十分鐘內(nèi)形成1×10-2hPa的前級真空壓力。需要抽速約2900l/s(對于氮氣)和壓力的渦輪分子泵作為高真空泵系統(tǒng)。必須要能夠在不到三小時內(nèi)獲得≤1×10-6hPa的壓力。需...