據SEMI數(shù)據統(tǒng)計，2020年及2021年，全球半導體測試設備市場規(guī)模或將分別達到52.2億美元及56.1億美元。隨著國內半導體技術的發(fā)展，多個晶圓廠及實驗室的建立，國內探針臺市場規(guī)模2019年約為10.25億元，2022年將增長到15.69億元。隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展，半導體產品的加工面積成倍縮小，復雜程度與日俱增，生產半導體產品所需的制造設備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術，具有技術壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備，在整個半導體產業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要作用，是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設備之一。隨著自動化技術的飛速發(fā)展，市場對自動化探針臺需...

關于探針：探針實現(xiàn)同軸到共面波導轉換，探針需要保證一致性和兼容性，同時需要嚴格的控制其阻抗。板手動探針臺在測試中非常受歡迎。它是精密和靈活性的獨特組合，可實現(xiàn)PCB的橫板或豎板的測量，并能擴展成雙面PCB板測試系統(tǒng)，也可以根據客戶的PCB板尺寸定制可調式夾具。搭配相應探針座與高精度電源或網絡分析儀后，能夠輕松實現(xiàn)FA級別的直流參數(shù)提取或67G內的射頻參數(shù)測量。探針臺可根據用戶實驗，選配DC、微波或光纖探針臂等。上海勤確科技有限公司。某些針尖位置低的扎傷AL層，對后續(xù)封裝壓焊有影響。重慶自動探針臺價格探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來，在進入后序工序前予以剔除，極大降低器件的制造成本。探針...

錸鎢探針的針尖尖部經過特殊工藝加工而成，針錐精度高，具有厲害度和彈性模量，產品更耐磨、更耐腐蝕，表面光滑無傷，光潔度可達到Ra0.25以下，幾乎為鏡面。錸鎢探針有不同的針尖類型，即不同的尖部形狀，例如，針尖帶平臺，針尖完全尖以及針尖為圓弧；探針直徑為0.05-1.2mm，長度為15-300mm，尖部為0.08-100μm。錸鎢探針主要應用于半導體、LED、LCD等行業(yè)，應用于探針卡、探針臺、芯片測試、晶圓測試和LED芯片測試等領域。上海勤確科技有限公司。重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命。陜西溫控探針臺廠家相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結構的工作臺...

晶圓測試基本的一點就是：晶圓測試必須能夠辨別芯片的好壞，并使合格芯片繼續(xù)進入下面的封裝工藝。為了確保芯片功能和成品率的有效測試，封裝廠商和設備制造者需要不斷探索，進而找到高精度、高效率和低成本的測試方法，并運用新的組裝工藝要求對晶圓片進行探測，這些要求將引起設備和工藝過程的重大變化。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動，從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺（低溫探針臺），RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。探針卡使芯片與封裝后成品管腳焊接質量差，容易引起短路。北京芯片測試探針臺哪里有通常，參數(shù)測試系統(tǒng)將電流或電壓輸入被測器件（DUT），然后測量該器件對于...

關于探針：探針實現(xiàn)同軸到共面波導轉換，探針需要保證一致性和兼容性，同時需要嚴格的控制其阻抗。板手動探針臺在測試中非常受歡迎。它是精密和靈活性的獨特組合，可實現(xiàn)PCB的橫板或豎板的測量，并能擴展成雙面PCB板測試系統(tǒng)，也可以根據客戶的PCB板尺寸定制可調式夾具。搭配相應探針座與高精度電源或網絡分析儀后，能夠輕松實現(xiàn)FA級別的直流參數(shù)提取或67G內的射頻參數(shù)測量。探針臺可根據用戶實驗，選配DC、微波或光纖探針臂等。上海勤確科技有限公司。焊針時，應憑自己的經驗,把針尖離壓點中心稍微偏一點。直流探針臺多少錢晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結構中獲得大部分有關器件性...

晶圓探針測試臺是半導體工藝線上的中間測試設備，與測試儀連接后，能自動完成對集成電路及各種晶體管芯電參數(shù)和功能的測試。隨著對高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低價格的電子產品的需求日益增長，這就要求在一個芯片中集成更多的功能并進一步縮小尺寸，從而大片徑和高效率測試將是今后晶圓探針測試臺發(fā)展的主要方向。因此，傳統(tǒng)的手動探針測試臺和半自動探針測試臺已經不能滿足要求，取而代之的是高速度，高精度，高自動化，高可靠性的全自動晶圓探針測試臺。探針卡焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應檢查針尖的位置，檢查針的牢固性。四川高溫探針臺哪里有為什么要射頻探測？由于器件小形化及高頻譜的應用，電路尺寸不斷...

晶圓是制作硅半導體積體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。半導體工業(yè)對于晶圓表面缺陷檢測的要求，一般是要求高效準確，能夠捕捉有效缺陷，實現(xiàn)實時檢測。較為普遍的表面檢測技術主要可以分為兩大類：針接觸法和非接觸法，接觸法以針觸法為象征；非接觸法又可以分為原子力法和光學法。在具體使用時，又可以分為成像的和非成像的。探針尖接觸電阻即探針尖與焊點之間接觸時的層間電阻。遼寧直流探針臺配件廠家半導體生產過程中的探測，可略分為三大類：1.參數(shù)探測：提供制造期間的裝置特性測量；2.晶圓探...

定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進精度及設備使用壽命，損壞嚴重將造成設備無法使用而報廢。由于平面電機的定子及動子是完全暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗。...

探針臺工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態(tài)，所以對需要調整的工作臺應有專業(yè)生產廠家或經過培訓的專業(yè)人員完成。自動探針測試臺和以采...

精細探測技術帶來新優(yōu)勢：先進應力控制技術亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷，在銅質墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負面效應。以先進工藝驅動在有效區(qū)域上墊片的測試，以低沖擊的探針卡，避免接觸所產生阻抗問題。另一個可能損害到晶圓的來源是探針力道過猛或不平均，因此能動態(tài)控制探針強度也是很重要的；若能掌握可移轉的參數(shù)及精細的移動控制，即可提升晶圓翻面時的探測精確度，使精細的Z軸定位接觸控制得到協(xié)調，以提高精確度，并縮短索引的時間。探針卡使用一段時間后，由于探針加工及使用過程中的微小差異導致所有探針不能在同一平面上會造成。湖北磁場探針臺服務探針卡沒焊好：1．探針卡針焊得不到位；2．...

以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài)，測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發(fā)展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生，利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來，便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節(jié)旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動，移動范圍12mm，移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材，一般客戶自己準備)，探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸...

“精確度”是探測儀器基本的指針，涵蓋定位、溫度及生產率等三個層面。首先，必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片，載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅動晶圓托盤，并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位；其次，必須具備動態(tài)監(jiān)控機制，確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性；后，必須對高產出的進階移動做動態(tài)控制才能擁有佳的終結果。整體而言，針腳和墊片之間的相應精確度應在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮，為了強化更小晶粒定位的精確性，需要動態(tài)的Z軸輔助校正工作，以避免無謂的產出損失。探針尖接觸電阻即探針尖與焊點之間接觸時的層間電阻。芯片探針臺生產廠家晶圓測試是在半導體器件制造過程中執(zhí)行的一個步驟。在此步驟...

以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài)，測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發(fā)展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生，利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來，便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節(jié)旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動，移動范圍12mm，移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材，一般客戶自己準備)，探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸...

滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養(yǎng)：由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃，濕度≤70％，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態(tài)，所以對需要調整的工作臺應有專業(yè)生產廠家或經過培訓的專業(yè)人員完成。上海勤確科技有限公司會為您提供專業(yè)培訓，科學管理與運營。磁場探針臺價格平面電...

探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類：探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動。從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺（低溫探針臺），RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。經濟手動型根據客戶需求定制：chuck尺寸：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選）；X-Y移動行程：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選）；chuckZ軸方向升降10mm（選項）方便探針與樣品快速分離；顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯...

錸鎢探針指的是采用含錸3%的錸鎢合金絲打造而成的探針。中鎢在線提供好的錸鎢探針產品。鎢作為一種硬度強、耐高溫的金屬材料，常被用于燈絲、電極、熱電偶或者探測針等等，但鎢本身存在易脆和可塑性低的問題，這減小了其使用過程中的壽命。為降低鎢的脆性以及提高其可塑性，傳統(tǒng)的方法通過在鎢內添加稀有金屬形成鎢基合金增加其性能。在鎢內添加錸，可以發(fā)生“錸塑化效應”，增加鎢的可塑性。錸鎢合金具有高熔點、厲害度、高硬度、高塑性、高再結晶溫度、高電阻率，低蒸氣壓、低電子逸出功和低塑性脆性轉變溫度等一系列優(yōu)良性能。上海勤確科技有限公司以完善的服務和改變?yōu)橹辽献非?。遼寧直流探針臺加工廠家射頻測試探針必須具有與測試點相匹配...

手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。常見故障的排除當您使用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術參數(shù)。探針卡使用一段時間后，由于探針加工及使用過程中的微小差異導致...

探針臺的作用是什么？探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復雜，包括微電路的完整功能測試?？梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關哪些工藝步驟將缺陷引入終端產品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯，這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產品開發(fā)和故障分析應用。探針尖磨損和污染也會對測試結果造成極大的負面影響。廣東自動探針臺公司精細探測技術帶來新優(yōu)勢：先進應力控制...

探針臺為研究和工程實驗室在測試運行期間移動通過多個溫度點時，提供前所未有的自動化水平。這種新技術使探針系統(tǒng)能夠感知，學習和反應以多溫度和特征的極其復雜的環(huán)境。隨著集成電路產品不斷進入汽車應用等更高發(fā)熱量的環(huán)境，在越來越寬的溫度范圍內表征器件性能和耐用性變得越來越重要。以前，大多數(shù)芯片在兩個溫度點進行晶圓級測試，通常為20?C（室溫）和90?C?，F(xiàn)在，該范圍已經擴大到-40?C至125?C，并且可能需要在此范圍內的四個溫度步驟中進行一整套測試。某些情況下需要更普遍的范圍，如-55?C至200?C，晶圓可靠性測試可能要求高達300?C的溫度。上海勤確科技有限公司追求客戶的數(shù)量遠不是我們的目的。江蘇...

探針治具的校準：我們希望校準過程盡可能的把測試網絡中除DUT外所有的誤差項全部校準掉，當使用探針夾具的方式進行操作有兩種校準方法：1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進行校準，然后通過加載探針S2P文檔的方式進行補償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準板在探針的端面進行校準。是要告訴大家如果直接在SMA端面進行校準之后不補償探針頭，而直接進行測量的話會帶來很大的誤差。探針廠商一般都會提供探針的S2P文檔與校準片，校準片如下圖所示，上面有Open、Short、Load及不同負載的微帶線。探針卡虛焊和布線斷線或短路，測試時都要測不穩(wěn)。湖南全自動探針臺從功能上來區(qū)分有：高溫探針臺，低溫探針臺，RF...

針尖有鋁粉:測大電流時，針尖上要引起多AL粉，使電流測不穩(wěn)，所以需要經常用灑精清洗探針并用氮氣吹干，同時測試時邊測邊吹氮氣，以減少針尖上的AL粉。針尖有墨跡:測試時打點器沒有調整好，尼龍絲碰到針尖上，針尖上沾上墨跡,然后針尖與壓點接觸時，壓點窗口上墨跡沾污，使片子與AL層接觸不良，參數(shù)通不過，還有對后續(xù)封裝壓焊有影響，使芯片與封裝后成品管腳焊接質量差，所以平時裝打點器時，不要把打點器裝得太前或太后和太高或太低，而應該使尼龍絲與硅片留有一定距離，然后靠表面漲力使墨水打到管芯中心，如已經沾上墨跡，要立即用酒精擦干凈，并用氮氣吹干。上海勤確科技有限公司以滿足客戶要求為重點。吉林磁場探針臺供應商半導體...

下面我們來簡單講講選擇探針臺設備時需要注意事項：一、機械加工精度；二、電學量測精度三、環(huán)境要求，如：真空環(huán)境、高溫、低溫環(huán)境、磁場環(huán)境及其它。四、光學成像；五、自動化控制精度?？傮w而言，具有清晰并高景深的微觀成像，再通過準確的探針裝置對探針進行多方向移動，對準量測點，進行信號加載，通過高精度線纜將所需測試數(shù)據傳輸至量測儀表，以達到所需得到的分析數(shù)據，所以，如果想得到高質量的分析數(shù)據，從成像到點針，再到數(shù)據傳輸每項步驟都會起到重要的作用，另外振動對精度也有一定的影響。隨著探針開始接觸并逐漸深入焊點氧化物和污染物的表層，接觸電阻減小而電流流動迅速開始。貴州半自動探針臺生產滾珠絲杠副和導軌結構x-y...

探針臺市場逐年增長：半導體測試對于良率和品質控制至關重要，是必不可少的環(huán)節(jié)，主要涉及兩種測試（CP測試、FT測試等）、三種設備（探針臺、測試機、分選機等）。根據半導體產線投資配置規(guī)律，測試設備在半導體設備投資的占比約為8%，次于晶圓制造裝備，其中測試機、分選機、探針臺的占比分別為63.10%、17.40%、15.20%。中國半導體市場飛速增長。在全球貿易摩擦背景下，半導體行業(yè)國產化率提高成為必然趨勢，國內半導體產業(yè)的投資規(guī)模持續(xù)擴大。上海勤確科技有限公司您的滿意就是對我們的支持。重慶磁場探針臺配件廠家探針測試臺x-y工作臺的分類：縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y...

高精度探針臺：目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關技術，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。特性1：OTS-近的位置對正系統(tǒng)（光學目標對準）OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術，來源于精密的度量技術。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學對準系統(tǒng)。特性2：QPU-高剛性的硅片承載臺（四方型系統(tǒng)）為了有效的達到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉換裝置（QPU），達到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。探針臺是檢測芯片的重要設備，在芯片的設計驗證階段。遼寧芯片探針臺加...

探針臺為研究和工程實驗室在測試運行期間移動通過多個溫度點時，提供前所未有的自動化水平。這種新技術使探針系統(tǒng)能夠感知，學習和反應以多溫度和特征的極其復雜的環(huán)境。隨著集成電路產品不斷進入汽車應用等更高發(fā)熱量的環(huán)境，在越來越寬的溫度范圍內表征器件性能和耐用性變得越來越重要。以前，大多數(shù)芯片在兩個溫度點進行晶圓級測試，通常為20?C（室溫）和90?C?，F(xiàn)在，該范圍已經擴大到-40?C至125?C，并且可能需要在此范圍內的四個溫度步驟中進行一整套測試。某些情況下需要更普遍的范圍，如-55?C至200?C，晶圓可靠性測試可能要求高達300?C的溫度。探針卡使用一段時間后，由于探針加工及使用過程中的微小差異...

隨著電子技術的不斷發(fā)展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生，利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來，便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節(jié)旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動，移動范圍12mm，移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材，一般客戶自己準備)，探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機上，從而得到電性能的參數(shù)。對于重復測試同種器件，多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。主...

半導體生產過程中的探測，可略分為三大類：1.參數(shù)探測：提供制造期間的裝置特性測量；2.晶圓探測：當制造完成要進行封裝前，在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能；3.以探針臺為基礎的晶圓處理探測(FinalTest)：在出貨給顧客前，對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后，即進入晶圓探測階段，此時需要用復雜的機器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶，精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應的晶圓后，探針臺會將晶圓向上挪動，使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸，以進行探測。當測試完成，則會自動將下一個待測晶圓替換...

晶圓測試基本的一點就是：晶圓測試必須能夠辨別芯片的好壞，并使合格芯片繼續(xù)進入下面的封裝工藝。為了確保芯片功能和成品率的有效測試，封裝廠商和設備制造者需要不斷探索，進而找到高精度、高效率和低成本的測試方法，并運用新的組裝工藝要求對晶圓片進行探測，這些要求將引起設備和工藝過程的重大變化。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動，從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺（低溫探針臺），RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。上海勤確科技有限公司敢于承擔、克難攻堅。上海手動探針臺服務探針卡沒焊到位，是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮，使針尖偏離壓點區(qū)，而針虛焊和布線斷線或短路，...

平面電機的定子及動子是完全暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時應先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95％的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用專門工具撬起動子，方法同前，輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓...

“精確度”是探測儀器基本的指針，涵蓋定位、溫度及生產率等三個層面。首先，必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片，載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅動晶圓托盤，并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位；其次，必須具備動態(tài)監(jiān)控機制，確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性；后，必須對高產出的進階移動做動態(tài)控制才能擁有佳的終結果。整體而言，針腳和墊片之間的相應精確度應在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮，為了強化更小晶粒定位的精確性，需要動態(tài)的Z軸輔助校正工作，以避免無謂的產出損失。探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。遼寧自動探針臺生產盡管半導體測試探針國產化...