探針臺市場逐年增長:半導(dǎo)體測試對于良率和品質(zhì)控制至關(guān)重要,是必不可少的環(huán)節(jié),主要涉及兩種測試(CP測試、FT測試等)、三種設(shè)備(探針臺、測試機(jī)、分選機(jī)等)。根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)線投資配置規(guī)律,測試設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備投資的占比約為8%,次于晶圓制造裝備,其中測試機(jī)、分選機(jī)...
伴隨著光纖通信技術(shù)的快速發(fā)展,小到芯片間,大到數(shù)據(jù)中心間的大規(guī)模數(shù)據(jù)交換處理,都迫切需求高速,可靠,低成本,低功耗的互聯(lián)。目前,主流的光互聯(lián)技術(shù)分為兩類。一類是基于III-V族半導(dǎo)體材料,另一類是基于硅等與現(xiàn)有的成熟的微電子CMOS工藝兼容的材料?;贗II-...
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。晶圓測試是芯片制造產(chǎn)業(yè)中一個重要組成部分,是主要的芯片良品率統(tǒng)計方法之一。隨著晶圓片直徑的逐漸...
平臺和面包板設(shè)計還可以采用大半徑圓角,這樣能減少實驗室中的尖銳邊緣,提高安全性。光學(xué)平臺包括剛性、無隔振支撐架,被動式隔振支撐架,主動式自動調(diào)平支撐架。光學(xué)平臺其他配件還包括貨架、安裝座、桌下擱板、振動隔離配件、可安裝支桿的光學(xué)平臺配件、可調(diào)式光學(xué)爬升架安裝座...
目前,基于SOI(絕緣體上硅)材料的波導(dǎo)調(diào)制器成為當(dāng)前的研究熱點(diǎn),也取得了許多的進(jìn)展,但在硅光芯片調(diào)制器的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中,面臨著一系列的問題,波導(dǎo)芯片與光纖的有效耦合就是難題之一。從懸臂型耦合結(jié)構(gòu)出發(fā),模擬設(shè)計了懸臂型倒錐耦合結(jié)構(gòu),通過開發(fā)相應(yīng)的有效地耦合工藝來...
伴隨著光纖通信技術(shù)的快速發(fā)展,小到芯片間,大到數(shù)據(jù)中心間的大規(guī)模數(shù)據(jù)交換處理,都迫切需求高速,可靠,低成本,低功耗的互聯(lián)。當(dāng)前,我們把主流的光互聯(lián)技術(shù)分為兩類。一類是基于III-V族半導(dǎo)體材料,另一類是基于硅等與現(xiàn)有的成熟的微電子CMOS工藝兼容的材料?;贗...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)組件裝夾完成后,通過校正X,Y和Z方向的偏差來進(jìn)行的初始光功率耦合,圖像處理軟件能自動測量出各項偏差,然后軟件驅(qū)動運(yùn)動控制系統(tǒng)和運(yùn)動平臺來補(bǔ)償偏差,以及給出提示,繼續(xù)手動調(diào)整角度滑臺。當(dāng)三個器件完成初始定位,同時確認(rèn)其在Z軸方向的相對位置關(guān)...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)中的硅光與芯片的耦合方法及其硅光芯片,方法包括以下步驟:1、使用微調(diào)架將光纖端面與模斑變換器區(qū)域精確對準(zhǔn),調(diào)節(jié)至合適耦合間距后采用紫外膠將光纖分別與固定塊和墊塊粘接固定;2、將硅光芯片粘貼固定在基板上,硅光芯片的端面耦合波導(dǎo)為懸臂梁結(jié)構(gòu),具...
基于設(shè)計版圖對硅光芯片進(jìn)行光耦合測試的方法及系統(tǒng)進(jìn)行介紹,該方法包括:讀取并解析設(shè)計版圖,得到用于構(gòu)建芯片圖形的坐標(biāo)簇數(shù)據(jù),驅(qū)動左側(cè)光纖對準(zhǔn)第1測試點(diǎn),獲取與第1測試點(diǎn)相對應(yīng)的測試點(diǎn)圖形的第1選中信息,驅(qū)動右側(cè)光纖對準(zhǔn)第二測試點(diǎn),獲取與第二測試點(diǎn)相對應(yīng)的測試點(diǎn)...
目前,基于SOI(絕緣體上硅)材料的波導(dǎo)調(diào)制器成為當(dāng)前的研究熱點(diǎn),也取得了許多的進(jìn)展,但在硅光芯片調(diào)制器的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中,面臨著一系列的問題,波導(dǎo)芯片與光纖的有效耦合就是難題之一。從懸臂型耦合結(jié)構(gòu)出發(fā),模擬設(shè)計了懸臂型倒錐耦合結(jié)構(gòu),通過開發(fā)相應(yīng)的有效地耦合工藝來...
光學(xué)平臺精密隔振系統(tǒng)設(shè)計需要考慮的環(huán)境微振動干擾是復(fù)雜的,包括:大型建筑物本身的擺動、地面或樓層間傳來的振動、電動儀器和設(shè)備的振動、各類機(jī)械振動、聲音引起的振動、外界街道交通引起的振動,甚至包括人員走動所引起的振動等。精密的光學(xué)實驗依賴于可靠的定位穩(wěn)定性,工作...
目前,基于SOI(絕緣體上硅)材料的波導(dǎo)調(diào)制器成為當(dāng)前的研究熱點(diǎn),也取得了許多的進(jìn)展,但在硅光芯片調(diào)制器的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中,面臨著一系列的問題,波導(dǎo)芯片與光纖的有效耦合就是難題之一。從懸臂型耦合結(jié)構(gòu)出發(fā),模擬設(shè)計了懸臂型倒錐耦合結(jié)構(gòu),通過開發(fā)相應(yīng)的有效地耦合工藝來...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)中硅光芯片與激光器的封裝結(jié)構(gòu),封裝結(jié)構(gòu)包括基座,基座設(shè)置與硅光芯片連接的基座貼合面,與激光器芯片和一體化反射鏡透鏡連接的基座上表面;基座設(shè)置通孔,通孔頂部開口與一體化反射鏡透鏡的出光面連接,通孔底部開口與硅光芯片的光柵耦合器表面連接;激光器...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)系統(tǒng)的測試設(shè)備主要是包括可調(diào)激光器、偏振控制器和多通道光功率計,通過光矩陣的光路切換,每一時刻在程序控制下都可以形成一個單獨(dú)的測試環(huán)路。光源出光包含兩個設(shè)備,調(diào)光過程使用ASE寬光源,以保證光路通過光芯片后總是出光,ASE光源輸出端接入1*...
首先我們要了解光學(xué)平臺的的類型,光學(xué)平臺,又稱光學(xué)面包板、光學(xué)桌面、科學(xué)桌面、實驗平臺,供水平、穩(wěn)定的臺面,一般平臺都需要進(jìn)行隔震等措施,保證其不受外界因素干擾,使科學(xué)實驗正常進(jìn)行。有主動與被動兩大類,而被動又有橡膠與氣浮兩大類。 ...
光學(xué)平臺平面度,對于隔振性能,沒有任何影響,甚至若為了追求高平面度,往往會去除掉光學(xué)平臺的隔振性能,原因如下:我們知道,光學(xué)平臺臺面,若為達(dá)到高平面度,通常需要反復(fù)磨削,在加工過程中,多次磨削容易使材料產(chǎn)生形變,為了減少形變,通常要加厚臺面,但我們通過振動恢復(fù)...
探針卡沒焊好:1.探針卡針焊得不到位;2.基板上銅箔剝落,針焊接不牢固,或焊錫沒有焊好而造成針虛焊;3.探針卡布線斷線或短路;背面有突起物,焊錫線頭針尖磨平:1.針在使用很長時間后尖正常損耗;2.操作工用過粗的砂子;3.砂針尖時用力過猛;4.砂得時間過長;針尖...
晶圓是制作硅半導(dǎo)體積體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。半導(dǎo)體工業(yè)對于晶圓表面缺陷檢測的要求,一般是要求高效準(zhǔn)確,能夠捕捉有效缺陷,...
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復(fù)雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用機(jī)械、光學(xué)、物理、化學(xué)等學(xué)科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn)。探針臺屬于重要的半導(dǎo)體測試裝備,在整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要...
在工藝方面,常用的測試探針是由針頭、針管、彈簧這三個組件構(gòu)成的,測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關(guān)鍵因素,電鍍處理過的彈簧使用壽命高,不會生銹,也能提高測試探針是持久性和導(dǎo)電性。因此,電鍍工藝是生產(chǎn)半導(dǎo)體測試探針的主要技術(shù),而國內(nèi)的電鍍工藝尚且有待突破。長...
精細(xì)探測技術(shù)帶來新優(yōu)勢:先進(jìn)應(yīng)力控制技術(shù)亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷,在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負(fù)面效應(yīng)。以先進(jìn)工藝驅(qū)動在有效區(qū)域上墊片的測試,以低沖擊的探針卡,避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題。另一個可能損害到晶圓的來源是探針力...
平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺:平面電機(jī)由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而...
有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。現(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng):平面電機(jī)由定...
通常,參數(shù)測試系統(tǒng)將電流或電壓輸入被測器件(DUT),然后測量該器件對于此輸入信號的響應(yīng)。這些信號的路徑為:從測試儀通過電纜束至測試頭,再通過測試頭至探針卡,然后通過探針至芯片上的焊點(diǎn),到達(dá)被測器件,并后沿原路徑返回測試儀器。如果獲得的結(jié)果不盡如人意,問題可能...
探針臺市場占有率及行業(yè)分析:針對于電學(xué)量測分析設(shè)備,探針臺則是眾多量測設(shè)備之一,探針臺也是不可或缺的一部分,就目前國內(nèi)探針臺設(shè)備的占有率來講,好的型產(chǎn)品主要集中在歐美以及日本品牌,中端設(shè)備主要集中在品牌,而對于量測精度而言,產(chǎn)設(shè)備具有一定的優(yōu)勢,我公司探針臺系...
隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成...
探針臺是檢測芯片的重要設(shè)備,在芯片的設(shè)計驗證階段,主要工作是檢測芯片設(shè)計的功能是否能夠達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo),在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設(shè)計驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)iT的測試代工廠進(jìn)行,主要用到的設(shè)備為測試機(jī)和探針臺。...
探針臺由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等,用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和...
晶圓探針器是用于測試集成電路的機(jī)器(自動測試設(shè)備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點(diǎn)或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢?,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。當(dāng)一個管芯(或管芯陣列)經(jīng)過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可...
如何判斷探針卡的好壞:1.可以用扎五點(diǎn)來判斷,即上中下左右,五點(diǎn)是否扎在壓點(diǎn)內(nèi),且針跡清楚,又沒出氧化層,針跡圓而不長且不開叉.2.做接觸檢查,每根針與壓點(diǎn)接觸電阻是否小于0.5歐姆.3.通過看實際測試參數(shù)來判斷,探針與被測IC沒有接觸好,測試值接近于0??傊?..